我(wǒ)國的空氣潔淨(jìng)技(jì)術起始於(yú)20世紀(jì)50年代(dài)中期，至今大致經(jīng)歷了四(sì)四(sì)個(gè)發展(zhǎn)階(jiē)段(duàn)：
（1）從(cóng)20世紀50年代中期到60年(nián)代中(zhōng)期，主要借(jiè)鑒(jiàn)前(qián)蘇聯的(dí)技術，服(fú)務於國防，航天，原子(zǐ)能(néng)工(gōng)業與科研(yán)。與現(xiàn)代潔淨(jìng)技(jì)術相比，在廠(chǎng)房，設備(bèi)，氣(qì)流(liú)組(zǔ)織(zhī)等各方麵還都(dū)比較原(yuán)始和粗糙(cāo)，屬於起(qǐ)步(bù)階(jiē)段(duàn)。
（2）從(cóng)20世紀60年(nián)代中期(qī)到(dào)70年代後期，由於(yú)國內(nèi)外的種種原(yuán)因，主(zhǔ)要(yào)靠(kào)自力(lì)更(gēng)生發展(zhǎn)。當時(shí)參照(zhào)了(liǎo)美(měi)國和日(rì)本的(dí)標(biāo)準和技(jì)術(shù)，逐步(bù)研(yán)製(zhì)成過濾(lǜ)器(qì)和(hé)納焰法(fǎ)試驗台，潔淨工(gōng)作(zuò)台(tái)，粒(lì)子計數(shù)器，裝配式潔(jié)淨(jìng)室及其他潔淨室附屬(shǔ)設(shè)備(bèi)（風(fēng)淋室，傳(chuán)遞(dì)窗，餘壓閥(fá)等），編製(zhì)了(liǎo)“空氣(qì)潔(jié)淨技術措施(shī)”，奠定了我國潔淨(jìng)技術的基礎(chǔ)。
（3）從20世紀(jì)70年代(dài)末(mò)到80年(nián)代(dài)末，由於實(shí)行(háng)了(liǎo)改革開放(fàng)的(dí)國策(cè)，發(fā)達國家的(dí)技術與設(shè)備開始(shǐ)進入我國市(shì)場，現代潔(jié)淨(jìng)技術在我國的(dí)大規(guī)模(mó)集成電(diàn)路(lù)，光(guāng)導(dǎo)纖(xiān)維(wéi)，彩(cǎi)色顯像(xiàng)管，液晶(jīng)顯示(shì)屏等工(gōng)業潔(jié)淨領(lǐng)域得(dé)到(dào)迅速發(fā)展(zhǎn)，裝備0.1um過濾(lǜ)器的10級潔淨(jìng)室和無隔板過濾器(qì)研製(zhì)成(chéng)功(gōng)。同時在醫療(liáo)，製藥(yào)，生(shēng)物，化(huà)妝(zhuāng)品(pǐn)與(yǔ)食(shí)品行業(yè)生物潔淨室也(yě)得到應(yīng)用(yòng)，一(yī)些(xiē)製(zhì)藥(yào)廠(chǎng)對(duì)原(yuán)有(yǒu)空(kōng)調(tiáo)係(xì)統的改造(zào)中開(kāi)始采(cǎi)用生物潔(jié)淨(jìng)技(jì)術，簡(jiǎn)易的水平(píng)“單向流”潔淨(jìng)室(shì)和裝配式(shì)無(wú)菌病房用(yòng)於醫院(yuàn)，生物安全工作(zuò)台(tái)和細菌(jūn)采樣(yàng)儀(yí)研(yán)製成功。1982年我國(guó)醫藥行(háng)業GMP公(gōng)布，1983年(nián)中國電子學(xué)會潔淨技術(shù)分會(huì)成立(lì)，1985年GBJ73-1984《潔(jié)淨廠(chǎng)房(fáng)設計(jì)規範》頒(bān)布(bù)，我國的潔(jié)淨技(jì)術進(jìn)入穩步(bù)發(fā)展(zhǎn)階段。
（4）20世(shì)紀(jì)80年代末至今，在大(dà)規(guī)模集(jí)成(chéng)電路領域全(quán)麵(miàn)引(yǐn)進境(jìng)外(wài)資金，技(jì)術與設(shè)備，形成(chéng)一批的(dí)品牌企業，潔淨室(shì)的(dí)規模(mó)越來越大(dà)，風(fēng)機過(guò)濾機組(zǔ)（FFU）和微環(huán)境(jìng)技術得(dé)到應用和推(tuī)廣。在(zài)醫療和(hé)製(zhì)藥(yào)領域(yù)潔淨技術趨向成熟(shú)與規範(fàn)，生物安全(quán)技術(shù)發展(zhǎn)迅速(sù)。包(bāo)括微環境，密(mì)褶(zhě)型(xíng)無隔板過濾器(qì)，微計(jì)算機控製過濾器性能測試(shì)台等潔淨(jìng)技術相(xiāng)關的技術(shù)設備(bèi)基(jī)本可以實現(xiàn)國(guó)產，同時還開(kāi)始了(liǎo)0.1um光刻(kè)機(jī)及相關環(huán)境(jìng)的(dí)研製(zhì)。