一(yī)，潔(jié)淨廠房(fáng)內氣(qì)體(tǐ)動力管(guǎn)道的(dí)敷設
1，氣體(tǐ)動(dòng)力管道一般包括(kuò)蒸汽，壓縮空氣(qì)，氧氣，氮(dàn)氣，天(tiān)然氣，真空管道(dào)
，潔淨(jìng)廠房(fáng)是(shì)指(zhǐ)工藝有空氣(qì)潔淨(jìng)度(dù)要(yào)求(qiú)高的廠房(fáng)。氣體動(dòng)力管(guǎn)道一般屬於GC類壓力管道(dào)。氣(qì)體動(dòng)力管道的幹管一般(bān)布置(zhì)在技術(shù)夾(jiā)層內，技(jì)術(shù)夾(jiā)道(dào)內
，當有可燃(rán)，助燃和窒(zhì)息性(xìng)氣體(tǐ)時
，應有(yǒu)良(liáng)好(hǎo)的通(tōng)風(fēng)設施(shī)。氣(qì)體管(guǎn)道(dào)的幹管在(zài)廠房的(dí)進口處
，宜設(shè)置入(rù)口總閥(fá)，壓力表(biǎo)，真空表(biǎo)，超壓切斷，放散(sàn)管，計量裝(zhuāng)置，減壓裝(zhuāng)置及過濾器等(děng)。在室內(nèi)氣(qì)體(tǐ)幹管(guǎn)的末(mò)端應(yīng)當連接管徑(jìng)不(bù)小於DN20的管(guǎn)道
，並延伸(shēn)到走廊端頭或者(zhě)其他適當(dāng)的地方引下降管
，在(zài)下降(jiàng)管上(shàng)裝設吹(chuī)除(chú)閥(fá)
，同(tóng)時設置緩衝(chōng)箱(xiāng)。吹除時裝(zhuāng)設臨(lín)時軟管(guǎn)接至(zhì)排(pái)風(fēng)管(guǎn)或(huò)其他安(ān)全(quán)地方排出(chū)。摻雜(zá)氣(qì)體(tǐ)的主(zhǔ)管，支管及(jí)分(fēn)支管(guǎn)宜(yí)明裝敷設(shè)。主，支(zhī)管(guǎn)管(guǎn)末端(duān)可(kě)不設吹除閥(fá)。
2，高（超）純氣(qì)體(tǐ)管綫長度應(yīng)盡量短(duǎn)
，根(gēn)據(jù)氣(qì)體耗(hào)量確(què)定管徑
，不宜設(shè)預留(liú)口
，不應(yīng)出(chū)現(xiàn)“盲管(guǎn)”等不(bù)易吹除的部位；在氣(qì)體(tǐ)終端純(chún)化(huà)裝置(zhì)的(dí)進(jìn)，出口處
，關(guān)鍵工藝(yì)設(shè)備的入口處(chǔ)以(yǐ)及(jí)必須進行取(qǔ)樣的(dí)管段上(shàng)應設(shè)置取樣(yàng)口。
3，氣(qì)體(tǐ)管道(dào)穿過潔(jié)淨(jìng)室的牆壁(bì)，樓(lóu)板(bǎn)時(shí)
，在牆(qiáng)壁（或樓板）的(dí)孔洞內(nèi)管道不(bù)應(yīng)有(yǒu)焊縫
，在孔洞的(dí)兩側應(yīng)用不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)板(bǎn)封(fēng)蓋(gài)
，不鏽鋼(gāng)板(bǎn)與牆壁(bì)（或樓(lóu)板）之(zhī)間(jiān)應加(jiā)設橡膠墊
，不(bù)鏽鋼(gāng)板(bǎn)用(yòng)螺(luó)釘(dīng)固(gù)定在牆(qiáng)壁(bì)（或樓(lóu)板(bǎn)）之間
，均應(yīng)塗以(yǐ)矽膠(jiāo)密封劑(jì)進行密(mì)封(fēng)。
4，可燃(rán)性(xìng)氣體和氧氣(qì)管(guǎn)道的(dí)末端或(huò)高(gāo)點(diǎn)應裝設(shè)放(fàng)散管
，放(fàng)散管應高出屋(wū)脊2米。在(zài)可燃氣體支(zhī)管上(shàng)應設(shè)崗(gǎng)位水封(fēng)
，在放散管上應設(shè)置全(quán)天候阻火器(qì)。
5，在(zài)潔淨室(shì)內
，當使用可燃(rán)性氣體或(huò)有(yǒu)毒性(xìng)氣體的(dí)設備較多(duō)時(shí)
，應(yīng)設(shè)置氣(qì)體(tǐ)濃(nóng)度檢測報(bào)警裝置。
6，氫，氧氣或易燃(rán)易爆管道應(yīng)有可靠的防(fáng)靜電接地(dì)措(cuò)施。
二，氣(qì)體動力管道主(zhǔ)材(cái)和閥門(mén)的選用
管道材(cái)料(liào)應根據氣(qì)體純(chún)度(dù)的不(bù)同要(yào)求進行選擇
，高(gāo)（超(chāo)）純氣體管(guǎn)道材料(liào)應具有化(huà)學穩定(dìng)性好
，吸附(fù)性差
，滲(shèn)透(tòu)性小等(děng)特性(xìng)。
1，常用(yòng)高純氣體(tǐ)管(guǎn)道應根(gēn)據(jù)所輸(shū)送的不同(tóng)的氣(qì)體和用途(tú)選用(yòng)不同品種的奧(ào)氏(shì)體不鏽(xiù)鋼(gāng)管
，盡量(liáng)不用銅材(cái)質造的管道(dào)
，按純(chún)度要求≥99.9999應采用(yòng)不鏽鋼(gāng)管。≥99.99宜(yí)采用不鏽(xiù)鋼管(guǎn)。＜99.99可用無縫(féng)鋼(gāng)管。氣體終(zhōng)端純化(huà)裝(zhuāng)置(zhì)入(rù)口側的高純(chún)氣體管(guǎn)道一(yī)般選(xuǎn)用0Cr18Ni9
，0Cr19Ni10有縫(féng)或無縫(féng)不(bù)鏽(xiù)鋼管(guǎn)
，但對(duì)於(yú)不經過氣體終端純化處理(lǐ)而(ér)直接(jiē)通往(wǎng)用(yòng)氣點(diǎn)的(dí)高(gāo)純氣(qì)體管(guǎn)道宜(yí)采(cǎi)用無(wú)縫(féng)不鏽鋼管。氣體終端純(chún)化裝置出(chū)口(kǒu)側(cè)的超純(chún)氣體(tǐ)管道及摻雜氣(qì)體的管(guǎn)道(dào)一般選(xuǎn)用(yòng)0Cr17Ni11M02
，1Cr18Ni11Nb無(wú)縫(féng)不鏽(xiù)鋼管道。接至(zhì)工藝設備(bèi)的管(guǎn)道(dào)應(yīng)選用(yòng)不鏽鋼(gāng)管(guǎn)或(huò)不(bù)鏽(xiù)鋼波紋管道。不能使用(yòng)聚(jù)四氟(fú)乙(yǐ)烯管或其(qí)他軟管。
2，輸送(sòng)無毒無(wú)味(wèi)氣(qì)體管(guǎn)如淨化幹燥的壓縮空(kōng)氣管(guǎn)，真空管(guǎn)等一般(bān)選用熱軋(yà)鍍鋅鋼管(guǎn)。
3，高(gāo)（超）純氣(qì)體管道選(xuǎn)用閥(fá)門應選用密封性(xìng)良(liáng)好(hǎo)的(dí)針型(xíng)閥，球(qiú)閥，隔(gé)膜閥(fá)，真空(kōng)閥(fá)及(jí)角閥等；並注(zhù)意(yì)介質(zhì)的(dí)壓力(lì)要求
，對(duì)易(yì)燃(rán)易爆(bào)氣(qì)體使用閥(fá)門時(shí)壓(yā)力(lì)應提(tí)高1-2個(gè)等(děng)級。在(zài)潔淨(jìng)室內禁用(yòng)銅和銅合金的(dí)閥門(mén)。取(qǔ)樣閥應(yīng)選(xuǎn)用(yòng)不(bù)鏽(xiù)鋼波紋管(guǎn)密封閥。選(xuǎn)用閥(fá)門材料閥體，閥(fá)杆(gān)為0Cr18Ni9；波紋(wén)管為(wéi)1Cr18Ni11Nb；閥(fá)座(zuò)，填料為(wéi)聚(jù)四氟乙(yǐ)烯(xī)；密(mì)封墊可(kě)用不鏽鋼(gāng)有色(sè)金(jīn)屬或聚四氟乙烯。
4，視工藝生(shēng)產，潔淨室或局(jú)部潔(jié)淨設(shè)備(bèi)的(dí)潔淨(jìng)度等(děng)級(jí)要(yào)求合理選(xuǎn)用氣體管道的(dí)高效過濾器(qì)。
三，管道的連接
1，管(guǎn)道的(dí)連接(jiē)應(yīng)采用(yòng)特製的成(chéng)型管接(jiē)頭
，三通彎頭(tóu)等進行套管(guǎn)焊(hàn)接
，對於(yú)不(bù)鏽(xiù)鋼(gāng)管(guǎn)必(bì)須(xū)采用(yòng)氬弧焊(hàn)打(dǎ)底
，施焊時(shí)在(zài)管內通(tōng)入(rù)氬氣（以高純(chún)度氬(yà)為好）
，其管道附(fù)件(jiàn)的製作材料(liào)應(yīng)與其(qí)配管材料相同(tóng)。
2，管(guǎn)道(dào)與設備，閥門的連(lián)接應視具(jù)體情況采用法(fǎ)蘭，螺紋(wén)，卡套(tào)或其他密(mì)封(fēng)性(xìng)能優良(liáng)的連接(jiē)方(fāng)法(fǎ)
，螺紋連(lián)接宜采(cǎi)用錐(zhuī)螺(luó)紋連接為好
，這種連(lián)接方(fāng)式(shì)
，不(bù)需要(yào)密封墊(diàn)
，但(dàn)必須在螺(luó)紋部(bù)分(fēn)塗上(shàng)密封(fēng)劑後方能(néng)擰(níng)上(shàng)
，不能(néng)使(shǐ)用密封(fēng)帶(dài)。采(cǎi)用平(píng)螺紋(wén)連接(jiē)時
，必須(xū)加(jiā)密(mì)封墊
，其(qí)密封性(xìng)亞於錐螺紋連接方式。
3，高(gāo)（超）純氣體管(guǎn)與閥(fá)門(mén)
，附件(jiàn)連(lián)接用(yòng)的密(mì)封(fēng)墊材料應采用(yòng)不鏽鋼(gāng)
，有(yǒu)色(sè)金屬(shǔ)（如鎳等），聚四氟(fú)乙烯(xī)和(hé)氟(fú)橡膠等。
4，管子的(dí)切割(gē)不(bù)得使用(yòng)氧炔焰
，可采用手工活(huó)機械切割(gē)
，切口應(yīng)與管(guǎn)軸綫垂直(zhí)。管切(qiē)口(kǒu)表麵平整不(bù)得(dé)有裂(liè)紋。不鏽(xiù)鋼(gāng)管道粘有大量油脂(zhī)類灰(huī)塵(chén)
，應放入清洗槽清洗(xǐ)
，油(yóu)管道(dào)須(xū)按設計要求進行脫(tuō)脂(zhī)處理(lǐ)。脫脂方(fāng)法(fǎ)：脫(tuō)脂溶劑采用(yòng)四氯化碳，二氯(lǜ)乙(yǐ)烷(wán)或蒸餾(liù)乙醇。管道(dào)外表麵脫：用浸有(yǒu)溶(róng)液(yè)的抹布擦抹
，然(rán)後(hòu)自然(rán)風幹(gān)。管(guǎn)道內(nèi)表(biǎo)麵(miàn)脫脂：將(jiāng)溶(róng)液灌入管(guǎn)段(duàn)內(nèi)
，灌入(rù)量占管段(duàn)體積70%
，將管段(duàn)兩(liǎng)端堵(dǔ)嚴
，水平放置10-15分(fēn)鐘(zhōng)
，每(měi)5分(fēn)鐘(zhōng)滾(gǔn)動一次
，滾(gǔn)動(dòng)3-4次(cì)
，倒出溶液(yè)
，用氮氣吹幹
，吹至無溶(róng)液(yè)氣味(wèi)為止。繼續自(zì)然放置24小(xiǎo)時然後用(yòng)木塞(sāi)將管(guǎn)道兩段堵嚴備用。
四，係(xì)統(tǒng)實(shí)驗
1，係統安裝完(wán)畢後應作氣(qì)壓(yā)強度試驗
，不(bù)得作水(shuǐ)壓試驗
，氣壓強度試(shì)驗采用(yòng)含(hán)塵粒(lì)徑不(bù)大於(yú)0.5um的氮(dàn)氣等惰(duò)性(xìng)氣(qì)體(tǐ)
，以1.5倍(bèi)的(dí)工作壓力(lì)進(jìn)行試驗
，保(bǎo)壓10分鐘
，用(yòng)外塗(tú)肥皂水或(huò)檢漏液檢查(chá)
，以(yǐ)不漏(lòu)為合(hé)格。
2，氣壓(yā)強度(dù)試驗合格(gé)後作氣密(mì)性試驗
，用(yòng)以(yǐ)氣壓強度試驗相同(tóng)的氣體以(yǐ)1.05-1.10倍工作(zuò)壓(yā)力(lì)進行
，保壓(yā)30分鐘
，用(yòng)外塗肥皂(zào)水或(huò)檢(jiǎn)漏液(yè)檢(jiǎn)查
，以不(bù)漏為(wéi)合(hé)格。
3，氣(qì)密性試(shì)驗(yàn)合(hé)格(gé)後(hòu)再(zài)進行管(guǎn)道泄漏(lòu)量試(shì)驗(yàn)
，試驗(yàn)壓(yā)力(lì)為工作壓力
，保壓24小時
，以小時(shí)平均(jūn)泄(xiè)漏率小(xiǎo)於(yú)5‰為(wéi)合格(gé)。
4，吹(chuī)掃(sǎo)和(hé)檢(jiǎn)驗
（1）係統投入使用(yòng)前
，用(yòng)幹燥淨(jìng)化的(dí)壓縮(suō)空氣*吹掃(sǎo)
，吹(chuī)掃(sǎo)時間一般為24小時(shí)。
（2）吹掃後
，用(yòng)幹(gān)燥淨化的壓縮(suō)空氣進(jìn)行露(lòu)點(diǎn)和(hé)潔(jié)淨度(dù)檢(jiǎn)查。
a.露(lòu)點檢查：用兩(liǎng)台(tái)微(wēi)量(liáng)水(shuǐ)份分(fēn)析儀
，分別設在(zài)管(guǎn)道係統(tǒng)始(shǐ)，末端
，分析氣(qì)體中的水含(hán)量(liáng)
，管(guǎn)路末端的水含量不超(chāo)過管路始端(duān)的(dí)水含量(liáng)10%為合格(gé)。
b.潔(jié)淨度檢(jiǎn)查：用兩台粒(lì)子計數(shù)器分別設(shè)在管(guǎn)路係統(tǒng)的始(shǐ)，末(mò)端
，分析氣體中的(dí)粒子數(shù)
，管道末端(duān)大於(yú)3.5um的粒(lì)子數(shù)比管道始(shǐ)端的粒子(zǐ)數(shù)增量(liáng)每升不(bù)多於(yú)3.5粒(lì)為(wéi)合(hé)格。
五(wǔ)，驗收
工程驗收按(àn)現(xiàn)行(háng)國(guó)標《工(gōng)業(yè)管道工程施工及驗收(shōu)規範》的相關條款進(jìn)行(háng)。