1，潔(jié)淨室(shì)送風的(dí)過(guò)濾
潔淨室(shì)空調送風係統的末(mò)端(duān)裝(zhuāng)置(zhì)—高效空氣過濾器（HEPA）或(huò)超高效空(kōng)氣過(guò)濾器（ULPA），在(zài)正常情(qíng)況(kuàng)下(xià)能有(yǒu)效(xiào)過濾(lǜ)經空調(tiáo)機組(zǔ)處(chǔ)理的(dí)新(xīn)風(fēng)和(hé)回(huí)風中(zhōng)的(dí)顆粒汙染(rǎn)物。經(jīng)高(gāo)效，超高效空氣過濾(lǜ)器處理後(hòu)的潔淨空(kōng)氣(qì)送入室內，可(kě)有(yǒu)效排替，衝(chōng)淡室內(nèi)汙染物(wù)，以維持室內的潔淨度(dù)。但末級過(guò)濾器如有破(pò)損或(huò)過濾器與支(zhī)撐框架間的密(mì)封出(chū)現裂(liè)隙，氣密(mì)性(xìng)失效，那麼(mó)未(wèi)經高效(xiào)空氣過(guò)濾器(qì)過(guò)濾的空氣就(jiù)可(kě)能攜(xié)帶大量汙(wū)染粒子進入(rù)室(shì)內並(bìng)隨(suí)氣流擴(kuò)散，危害(hài)影響範(fàn)圍(wéi)較(jiào)大。因(yīn)此潔(jié)淨室(shì)投入(rù)使用(yòng)前(qián)的末(mò)級過濾器(qì)檢(jiǎn)漏(lòu)，堵漏(lòu)或(huò)更(gēng)換工作(zuò)十(shí)分(fēn)重(zhòng)要。運行過程(chéng)中(zhōng)防範(fàn)末級過濾(lǜ)器(qì)受損，也十(shí)分重(zhòng)要。高(gāo)效空氣過濾器達到使(shǐ)用(yòng)壽命後及時(shí)更換(huàn)也(yě)同(tóng)樣予(yú)以關(guān)注(zhù)。
2，不同級(jí)別相鄰(lín)潔淨室間的壓(yā)差
防(fáng)止(zhǐ)從(cóng)相鄰的潔(jié)淨(jìng)度(dù)較(jiào)低區域(yù)向(xiàng)潔(jié)淨(jìng)室傳(chuán)播汙(wū)染(rǎn)的主要方法是：維(wéi)持高潔(jié)淨(jìng)度區(qū)域相對於低(dī)潔淨度區(qū)域，低(dī)潔淨度區(qū)域(yù)相對(duì)於服(fú)務(wù)區(qū)域，服(fú)務區(qū)域(yù)相(xiāng)對於室外，有(yǒu)一個合適的(dí)正壓值(zhí)。根據(jù)不(bù)同的情況(kuàng)，不(bù)同(tóng)級別(bié)相鄰房(fáng)間的正壓值約為(wéi)5～10Pa。讓不同潔(jié)淨度的各級房間維持(chí)梯次的(dí)壓差，目的(dí)是當(dāng)房間門(mén)處(chǔ)於關閉(bì)情況時(shí)，通(tōng)過縫(féng)隙的氣(qì)流流向是由高級別(bié)潔淨(jìng)室流向低(dī)級別潔(jié)淨室，由低(dī)級別(bié)潔淨室(shì)流向走廊(láng)和(hé)服務(wù)區，再(zài)流向室外，這樣(yàng)就(jiù)可減少由(yóu)室(shì)外向服(fú)務(wù)區域(yù)，服(fú)務區域向低級別潔(jié)淨(jìng)室(shì)，低級(jí)別潔(jié)淨室向(xiàng)高級別潔淨室(shì)傳播(bō)空(kōng)氣中(zhōng)的(dí)懸浮(fú)汙染(rǎn)物(wù)。
正(zhèng)壓差值(zhí)並非越大越(yuè)好，研究和實(shí)踐(jiàn)證(zhèng)明，人(rén)員(yuán)物(wù)料通(tōng)過門時，即(jí)使門(mén)兩側(cè)關門(mén)壓差高(gāo)達50～60Pa，仍難避免隨(suí)人員，物料(liào)向內(nèi)移動時的(dí)攜帶(dài)氣流(liú)將汙染帶(dài)入室內(nèi)。特(tè)別是當門(mén)兩側(cè)存在溫度(dù)差別(bié)時(shí)，門敞開(kāi)後，即(jí)使無人(rén)走(zǒu)動，在開口斷(duàn)麵(miàn)部分(fēn)麵積上也存在(zài)逆向氣流(liú)，帶入空(kōng)氣的懸(xuán)浮(fú)汙染(rǎn)物。此外(wài)，過高(gāo)的(dí)正壓差(chà)還(huán)會(huì)造成(chéng)潔(jié)淨室的(dí)門既(jì)難(nán)開(kāi)啟(qǐ)又難關嚴(yán)，門縫氣(qì)流(liú)造成哨(shào)聲噪(zào)聲，以(yǐ)及因氣(qì)流(liú)外(wài)溢過(guò)量而(ér)補風(fēng)量增加，浪費能(néng)源(yuán)和(hé)加(jiā)重(zhòng)各級(jí)過濾(lǜ)器負擔。
潔(jié)淨(jìng)室合理(lǐ)的(dí)氣(qì)流組織方案(àn)是減(jiǎn)弱開(kāi)門(mén)時汙染(rǎn)物(wù)侵入的(dí)輔助手(shǒu)段之一。通常在靠近(jìn)低級別潔淨室一側的門(mén)口設置一些回風口(kǒu)，以(yǐ)形(xíng)成部(bù)分(fēn)潔淨(jìng)室氣流向(xiàng)門一(yī)側運(yùn)動(dòng)的趨(qū)勢，與(yǔ)潔淨室在關(guān)門狀態(tài)下(xià)的(dí)正(zhèng)壓(yā)外(wài)溢(yì)氣(qì)流匯成一股向(xiàng)門(mén)內(nèi)側(cè)運(yùn)動的氣(qì)流流型。一(yī)旦(dàn)門(mén)開敞(chǎng)後，侵入(rù)的汙(wū)染(rǎn)物(wù)向潔(jié)淨室進深(shēn)擴散的(dí)範圍(wéi)將會明(míng)顯縮小。了解(jiě)開(kāi)門時(shí)汙(wū)染侵入的(dí)風(fēng)險，使(shǐ)一些(xiē)潔淨(jìng)室的關鍵(jiàn)工(gōng)序或(huò)汙(wū)染敏感(gǎn)工藝與門保持(chí)合(hé)理的(dí)距離，也是(shì)必(bì)要(yào)措(cuò)施之一。
此(cǐ)外，設(shè)置(zhì)帶有(yǒu)不能同時開啟的兩道門的(dí)緩衝(chōng)間(jiān)或氣閘室，也是減(jiǎn)少開門時傳入空氣中懸(xuán)浮(fú)汙(wū)染物的(dí)手(shǒu)段之一。一些常規程序，如(rú)進(jìn)入(rù)潔(jié)淨室穿鞋(xié)套，使(shǐ)用(yòng)地(dì)麵(miàn)粘(nián)墊(diàn)等也是(shì)減(jiǎn)少(shǎo)帶(dài)入外部(bù)汙(wū)染(rǎn)的必要(yào)手段(duàn)。
3，合理(lǐ)的氣流(liú)組織
潔淨(jìng)室的送(sòng)，回風係統，既是清(qīng)除空氣中懸(xuán)浮汙染物(wù)的(dí)重要手(shǒu)段(duàn)，但也可能(néng)成(chéng)為(wéi)傳(chuán)播汙(wū)染的途徑。因此，合理的氣流(liú)組織對於(yú)潔淨室十分(fēn)重(zhòng)要(yào)。
除上麵提到的在與較低(dī)級(jí)別潔(jié)淨室(shì)相(xiāng)鄰的門內兩(liǎng)側設(shè)置回風(fēng)口，以縮減開門時(shí)室外空(kōng)氣中汙染物侵入的範圍(wéi)的(dí)方法外，還(huán)有許多(duō)可以改善潔(jié)淨室通風(fēng)效果(guǒ)的措(cuò)施。
例如(rú)，對(duì)那些對空氣中(zhōng)懸(xuán)浮汙(wū)染物(wù)敏感的(dí)工序或工(gōng)藝，在非單(dān)向流(liú)潔淨(jìng)室(shì)中盡(jìn)可能在其上方設(shè)置送風(fēng)口(kǒu)，使其(qí)處(chǔ)於潔淨空(kōng)氣的(dí)籠(lóng)罩(zhào)下和處在潔淨氣流的上(shàng)風向(xiàng)。而(ér)在那些(xiē)可能產(chǎn)生汙染的(dí)工(gōng)藝附(fù)近設(shè)置回風口，使它(tā)們處於下風(fēng)向(xiàng)，以減少(shǎo)汙染(rǎn)物在潔(jié)淨室(shì)的擴(kuò)散。產(chǎn)生汙染(rǎn)物(wù)較為(wéi)嚴(yán)重的(dí)工序(xù)，如(rú)半(bàn)導(dǎo)體工(gōng)業(yè)中(zhōng)單(dān)晶(jīng)矽的切片，磨片，製(zhì)藥行業(yè)中的粉碎工藝(yì)，壓(yā)片，糖(táng)衣成型工序(xù)等，則宜於(yú)在工(gōng)藝上采(cǎi)取隔離，屏(píng)蔽措(cuò)施並(bìng)適當的(dí)排(pái)風，將所(suǒ)產生(shēng)的(dí)懸浮(fú)汙染物直(zhí)接(jiē)排(pái)除室外(wài)，減(jiǎn)少它們(mén)向室內空(kōng)氣(qì)的(dí)擴(kuò)散量。
又(yòu)例(lì)如，對(duì)那(nà)些關鍵工(gōng)序(xù)，如在凍(dòng)幹(gān)車(chē)間收粉(fěn)室(shì)的(dí)凍幹機開口(kǒu)處，大輸液的(dí)灌封部(bù)位，生物(wù)潔淨室手(shǒu)術室(shì)的(dí)手術區等(děng)，采用垂直或(huò)水(shuǐ)平單向流(liú)氣(qì)流流(liú)型(xíng)，用潔淨空(kōng)氣籠罩(zhào)與隔絕(jué)周(zhōu)邊環(huán)境(jìng)的(dí)汙(wū)染，都是合理(lǐ)利(lì)用(yòng)氣(qì)流組織的(dí)案例。
4，圍護(hù)結構(gòu)等(děng)表麵(miàn)的維護與(yǔ)清潔
首(shǒu)先是(shì)潔淨室的牆麵，地麵，頂(dǐng)棚(péng)等(děng)圍護(hù)結(jié)構，在設計，施工中要(yào)選用表(biǎo)麵光潔，質地堅實，不產塵，少積(jī)塵(chén)，耐清(qīng)洗等符合質(zhì)量(liáng)要求的材(cái)料。要(yào)求在(zài)被頻(pín)繁擦拭(shì)，洗滌等(děng)清潔，消(xiāo)毒(dú)的(dí)條件(jiàn)下，表(biǎo)麵不(bù)變粗(cū)糙(cāo)或(huò)多孔，否則會(huì)存(cún)留(liú)微粒(lì)和(hé)化學(xué)汙(wū)染物，或(huò)容(róng)易(yì)導致微生物(wù)汙(wū)染(rǎn)。
在(zài)設計(jì)，施(shī)工中(zhōng)應保證(zhèng)潔淨室(shì)內的牆麵，地麵(miàn)，頂(dǐng)棚(péng)，門(mén)，空氣擴散板和地(dì)漏等都是易(yì)於進(jìn)行(háng)表(biǎo)麵(miàn)清潔的(dí)。而(ér)且還應(yīng)把(bǎ)牆(qiáng)麵，地麵(miàn)，頂棚等的接縫處的細(xì)節(jié)考慮在內，特別要(yào)避(bì)免出(chū)現有(yǒu)可能積留(liú)水(shuǐ)分的(dí)地方或(huò)表(biǎo)麵。
傳(chuán)送設備的(dí)表麵易(yì)於(yú)清潔也(yě)十(shí)分重(zhòng)要(yào)。物(wù)料，零部(bù)件(jiàn)等(děng)的傳(chuán)送(sòng)帶往(wǎng)往(wǎng)是(shì)難於清(qīng)潔(jié)的(dí)部位，在工(gōng)藝設(shè)計時(shí)必須予以關注(zhù)。
在輪(lún)車(chē)，推車和(hé)攜帶材料(liào)的(dí)人員頻繁通行，極易碰到牆(qiáng)和(hé)門等的外露(lòu)表麵處，應(yīng)有(yǒu)耐(nài)磨損，耐衝撞的防(fáng)磨(mó)條或(huò)防護杠(gàng)，以保護易受(shòu)損(sǔn)的材料(liào)，如(rú)醫院手(shǒu)術室潔淨走廊的防(fáng)撞(zhuàng)帶就(jiù)是應用的實例。
在設計(jì)和施(shī)工等方麵符合要求(qiú)的基礎(chǔ)上，嚴格的清(qīng)潔製度(dù)是保證盡可能減(jiǎn)少圍護結構散發(fā)汙(wū)染(rǎn)的(dí)重(zhòng)要方麵。
5，控製(zhì)人(rén)員(yuán)散發的汙(wū)染(rǎn)
人(rén)員的鼻腔，口腔(qiāng)，皮(pí)膚(fū)，頭發(fā)和身(shēn)上的服裝(zhuāng)都是(shì)散發汙(wū)染(rǎn)物(wù)。根(gēn)據(jù)試驗(yàn)，人(rén)員身(shēn)著(zhuó)一(yī)般工作服行走(zǒu)時(shí)，每(měi)分鐘散發的(dí)≥0.5um的顆(kē)粒數(shù)可高達(dá)2.9*10⁶pcs/人.min，穿(chuān)普通(tōng)手術服(fú)，做踏(tà)步動作時，散(sàn)發的(dí)微(wēi)生(shēng)物(wù)可(kě)達(dá)約2400CFU/人.min。
控製人員散發(fā)的汙(wū)染，首(shǒu)先是控製進入(rù)潔(jié)淨室的人員數量。與生產(chǎn)，科研無(wú)直(zhí)接(jiē)關(guān)係(xì)，未(wèi)經潔淨室(shì)工作人員守(shǒu)則(zé)培訓(xùn)的人員，一(yī)律(lǜ)不得進入潔淨室。進入的(dí)人(rén)員(yuán)要遵(zūn)循(xún)潔淨(jìng)室工作守則，整齊(qí)穿著潔淨室(shì)工作(zuò)服(fú)，戴(dài)工(gōng)作(zuò)手(shǒu)套，頭罩(zhào)，穿(chuān)靴子，經潔(jié)淨通道進入。
除(chú)盡可(kě)能降低(dī)人員(yuán)散(sàn)發(fā)的(dí)汙(wū)染物外(wài)，空(kōng)調淨(jìng)化(huà)送(sòng)風(fēng)的(dí)氣(qì)流(liú)也(yě)是有效(xiào)稀釋(shì)，疏(shū)導(dǎo)並(bìng)排出人員散(sàn)發(fā)的汙染(rǎn)物的重要(yào)手(shǒu)段(duàn)。例如人(rén)員行(háng)走的通道(dào)是散發(fā)汙染物的(dí)主要(yào)位置，在該(gāi)處設置回，排(pái)風(fēng)口，使其處(chǔ)於室內(nèi)下風(fēng)向，以盡(jìn)量(liáng)減(jiǎn)少人(rén)員所散(sàn)發(fā)的(dí)汙染物擴散到潔淨(jìng)車間的其它區(qū)域(yù)。又如關鍵工序部位設(shè)置在(zài)潔(jié)淨室(shì)中(zhōng)非操作(zuò)人員(yuán)不易(yì)到(dào)達之處，以減少(shǎo)額(é)外(wài)的(dí)人(rén)員汙染。
6，控製工藝(yì)設備及工藝的產(chǎn)塵
潔淨室內的工(gōng)藝設(shè)備(bèi)應選(xuǎn)料精良，光潔耐(nài)磨，轉動，滑(huá)動部(bù)位格外(wài)重要(yào)，要盡可能(néng)減少磨損(sǔn)及(jí)產塵(chén)。對(duì)於那(nà)些產塵的工(gōng)藝(yì)過程(chéng)要(yào)盡可(kě)能的(dí)將其(qí)封(fēng)閉或設(shè)置(zhì)圍擋，並輔(fǔ)以排(pái)風，形成局部範圍相(xiāng)對(duì)於潔淨室的負壓，以(yǐ)限製(zhì)汙染物向(xiàng)潔(jié)淨室其它區域(yù)擴散(sàn)。
對室(shì)內的(dí)機器設(shè)備定(dìng)期進(jìn)行清(qīng)潔，擦拭(shì)是必要的(dí)製(zhì)度(dù)，也是減少(shǎo)積塵(chén)二次飛(fēi)揚(yáng)的有效措(cuò)施。
7，進入潔淨(jìng)室的材料與部件(jiàn)的清潔
潔(jié)淨(jìng)室的產品(pǐn)和(hé)產品的(dí)原材(cái)料，產(chǎn)品(pǐn)的容(róng)器(qì)和包裝(zhuāng)材(cái)料(liào)都要使(shǐ)用(yòng)不(bù)產生汙(wū)染的(dí)材(cái)料。這些(xiē)材料的(dí)生產(chǎn)製造也(yě)應(yīng)在(zài)對產品汙染(rǎn)相對(duì)較小(xiǎo)的(dí)環(huán)境中進行。例(lì)如(rú)，大(dà)輸(shū)液塑料瓶(píng)的(dí)注(zhù)塑(sù)車間(jiān)等(děng)，宜維(wéi)持(chí)一(yī)定的潔淨(jìng)級別(bié)，以減(jiǎn)少大輸(shū)液灌(guàn)封工序環(huán)境的汙(wū)染負(fù)荷(hé)。