按照ISO 14644-5的建議，需(xū)要對參與清(qīng)潔(jié)工(gōng)作的(dí)所有(yǒu)人員，製定(dìng)一(yī)個專門的培訓計劃(huá)，而(ér)且清(qīng)潔計劃中的(dí)各個(gè)部(bù)門(mén)都要指(zhǐ)派專(zhuān)人負責。一般(bān)是由專業化的清潔(jié)人員負責潔淨室(shì)的全麵清(qīng)潔(jié)工作，而(ér)工(gōng)作台麵(miàn)，操作(zuò)部(bù)位(wèi)等(děng)，則(zé)指派(pài)經過(guò)適當培(péi)訓(xùn)的潔淨室操作(zuò)人員(yuán)自(zì)行(háng)清潔各(gè)自所使用的範圍(wéi)。
製(zhì)定(dìng)清潔(jié)計(jì)劃(huá)時(shí)，應該充(chōng)分(fēn)了解不同類型(xíng)潔(jié)淨室(shì)表(biǎo)麵(miàn)的分類及其受汙染(rǎn)的速(sù)率，所(suǒ)安排的清(qīng)潔(jié)計劃及時(shí)間表應(yīng)確保潔(jié)淨室(shì)保持(chí)所(suǒ)要(yào)求的潔淨(jìng)度(dù)。應該(gāi)了解(jiě)潔(jié)淨(jìng)室(shì)中(zhōng)的工(gōng)藝(yì)和產品(pǐn)是(shì)在當(dāng)日還(huán)是一(yī)周(zhōu)或其它時間間隔內完成(chéng)的(dí)。這也(yě)影(yǐng)響到清潔計(jì)劃(huá)的製定。進行表麵汙染的測試和評估有(yǒu)助於(yú)清潔計劃(huá)時間表(biǎo)的製定。
1，清潔計劃的製定(dìng)
ISO 14644-5“運行篇”對潔淨室清潔計劃的確(què)定給(gěi)出了(liǎo)如下建(jiàn)議(yì)：
（1）將潔淨(jìng)室內的(dí)所(suǒ)有表(biǎo)麵(miàn)按關鍵(jiàn)，一(yī)般或(huò)其它(tā)表麵進行分類(lèi)。
（2）確定達(dá)到(dào)相應(yīng)潔淨(jìng)度級別(bié)要求的(dí)清潔(jié)和表麵處(chǔ)理方法。
（3）確(què)定(dìng)每一種(zhǒng)表麵維持需要潔(jié)淨(jìng)度(dù)水平所需清潔的頻(pín)率(shuài)。
（4）確定(dìng)在正(zhèng)常(cháng)工作(zuò)時(shí)間內(nèi)可以(yǐ)完成(chéng)哪種(zhǒng)清潔作(zuò)業。
（5）準備清(qīng)潔(jié)工作日程安排表(biǎo)。
（6）確定(dìng)安排(pái)表中哪些(xiē)部分由潔淨室操(cāo)作人(rén)員完(wán)成(chéng)。
（7）按(àn)規(guī)定的方(fāng)法選擇正(zhèng)確的材(cái)料，設備(bèi)，清潔(jié)液(yè)和表麵處(chǔ)理方法。
（8）按清潔計劃(huá)中的不(bù)同參(cān)與(yǔ)程(chéng)度(dù)，對(duì)各(gè)種人員進行(háng)相(xiāng)應(yīng)的培訓(xùn)。
（9）為所(suǒ)需(xū)用的(dí)清(qīng)潔材(cái)料提(tí)供(gōng)適(shì)用(yòng)的存(cún)放(fàng)裝置(zhì)。
（10）決定(dìng)如何(hé)監(jiān)測(cè)清潔的效果，以(yǐ)及(jí)對偏(piān)差如何處理。
（11）匯總(zǒng)全部相關文(wén)件和安(ān)排表，以(yǐ)便對(duì)清(qīng)潔工作進(jìn)行(háng)有(yǒu)效(xiào)的(dí)審(shěn)核和管理。
2，清(qīng)潔(jié)的(dí)頻率(shuài)和監測
大(dà)部分清潔(jié)工作(zuò)都應按(àn)正規(guī)的時間安(ān)排(pái)定(dìng)期，頻繁的進行(háng)，隻有小部(bù)分清(qīng)潔作(zuò)業雖(suī)按(àn)正(zhèng)規(guī)的時間安(ān)排(pái)定期(qī)進行(háng)，但(dàn)無(wú)需(xū)過(guò)於(yú)頻繁(fán)。有些(xiē)清潔工作(zuò)是(shì)針對汙染產生(shēng)的特殊情況來安(ān)排(pái)的(dí)，而不是按正常的(dí)時間(jiān)表進(jìn)行的(dí)。總體來說(shuō)，清潔(jié)的頻(pín)率應(yīng)符(fú)合潔淨室的(dí)需求(qiú)，在實踐(jiàn)中要根據(jù)工(gōng)藝的風險(xiǎn)評定和清潔效果的評(píng)估進行必要的調整(zhěng)。清潔頻(pín)率可概(gài)括為(wéi)以(yǐ)下(xià)幾種(zhǒng)情(qíng)況(kuàng)：
（1）每日(rì)清(qīng)潔(jié)
一般區域(yù)按(àn)規定(dìng)應(yīng)每日(rì)清(qīng)潔，即至(zhì)少24h清潔一次。如(rú)氣(qì)閘(zhá)室(shì)，更衣區(qū)至少每(měi)日清(qīng)潔一次，這(zhè)些場所(suǒ)人員活(huó)動高(gāo)度(dù)頻繁，受到(dào)較嚴重(zhòng)的汙(wū)染。因此(cǐ)，要(yào)求(qiú)清(qīng)潔的頻率(shuài)高(gāo)於(yú)潔淨(jìng)室。這些(xiē)地(dì)方要按(àn)規定方(fāng)法進(jìn)行真(zhēn)空吸塵和(hé)拖擦(cā)等(děng)清潔(jié)工序(xù)，以(yǐ)防(fáng)止汙(wū)染物(wù)遷移到潔淨室。
（2）定期(qī)清潔(jié)
不是(shì)每日清潔的(dí)表麵應(yīng)該(gāi)定(dìng)期(qī)清潔，例如每周一次或兩(liǎng)次。清(qīng)潔時(shí)，產(chǎn)品(pǐn)可能需要覆(fù)蓋或從(cóng)該區(qū)內移(yí)走。風(fēng)險較小的表(biǎo)麵(miàn)可以安排較(jiào)少的(dí)清(qīng)潔次數，例如(rú)每個月或更長的(dí)時間(jiān)間(jiān)隔內清潔(jié)一次。例如潔(jié)淨(jìng)室的某(mǒu)些牆麵或頂棚，在(zài)清潔(jié)日(rì)程安排(pái)中也(yě)應(yīng)列入計劃。還(huán)應(yīng)在計(jì)劃中安排(pái)*清(qīng)潔(jié)整個潔(jié)淨室(shì)設(shè)施的(dí)內容，其範圍應(yīng)包(bāo)括貯(zhù)存(cún)區(qū)，服務(wù)區，管(guǎn)道和(hé)設備等的清掃(sǎo)工(gōng)作(zuò)，盡(jìn)量安排在潔(jié)淨(jìng)室(shì)較長(cháng)時間(jiān)停(tíng)止生產的(dí)周(zhōu)末，假日(rì)或(huò)計劃(huá)內(nèi)的生產設施(shī)停(tíng)止(zhǐ)期內進行。一(yī)般(bān)情況下，潔(jié)淨室(shì)都(dū)是連(lián)續運行的，能(néng)*清潔(jié)的次(cì)數(shù)一(yī)年(nián)中可(kě)能(néng)不多(duō)，更需要事(shì)先安排(pái)好，並(bìng)做好人(rén)力(lì)與(yǔ)物質的(dí)準備，一旦(dàn)生(shēng)產(chǎn)設施(shī)停(tíng)運，抓緊時間(jiān)做(zuò)好(hǎo)*清潔(jié)工(gōng)作。
（3）緊急情(qíng)況時(shí)的(dí)清(qīng)潔(jié)
除了(liǎo)上(shàng)述(shù)各種(zhǒng)常(cháng)規狀(zhuàng)態(tài)的(dí)清潔計劃外(wài)，還(huán)應製定一套應急措(cuò)施，並配備(bèi)相應所(suǒ)需的(dí)工(gōng)具，材料，以應對潔淨室在特(tè)殊意(yì)外情(qíng)況下，突(tū)發(fā)大(dà)量(liáng)汙染時，不至於(yú)危及(jí)到正(zhèng)在進行(háng)的生(shēng)產，工藝(yì)過(guò)程(chéng)和潔(jié)淨(jìng)室環境。在這(zhè)種情況下，在(zài)可(kě)能有風險的區(qū)域內，生(shēng)產(chǎn)應(yīng)在(zài)暫停(tíng)，直至(zhì)清潔(jié)恢(huī)復(fù)到(dào)可接(jiē)受的潔淨(jìng)度(dù)水平(píng)。
可(kě)能需要特(tè)殊清潔(jié)的(dí)情況通常(cháng)包括(kuò)：
1）環境(jìng)事故(gù)，如動力故(gù)障，主要(yào)設(shè)備故障，產品破損(sǔn)，生物危害(hài)物(wù)溢出(chū)等(děng)。
2）常規的清(qīng)潔程序失(shī)效(xiào)，導致潔(jié)淨室汙染達(dá)到(dào)不(bù)可接受(shòu)的(dí)水(shuǐ)平。
3）監(jiān)控(kòng)儀器(qì)顯示潔淨室設施發生了(liǎo)不可接(jiē)受的汙染(rǎn)。
（4）監(jiān)測(cè)及檢(jiǎn)測清潔工(gōng)作(zuò)的(dí)有(yǒu)效(xiào)性(xìng)
潔(jié)淨(jìng)室的(dí)設備(bèi)，器具及(jí)其(qí)它(tā)表麵，某些要(yào)求較高(gāo)的(dí)潔(jié)淨(jìng)室可能(néng)要求(qiú)在清潔後進行潔淨室(shì)測試，由潔(jié)淨(jìng)室用戶選(xuǎn)擇(zé)合適(shì)的(dí)潔(jié)淨(jìng)度檢測(cè)，驗證(zhèng)方法(fǎ)，由用(yòng)戶(hù)確定能保證(zhèng)潔淨室(shì)的產品和工藝質(zhì)量的(dí)可(kě)接(jiē)受(shòu)的潔淨度(dù)及其限製(zhì)範(fàn)圍(wéi)。ISO 14644標準建議(yì)在可(kě)能(néng)時，應(yīng)通(tōng)過實際(jì)測(cè)量來(lái)確(què)定限(xiàn)製(zhì)。