（1）單獨空調器(qì)係(xì)統
循環空氣通(tōng)過(guò)空(kōng)調(tiáo)器進(jìn)行溫(wēn)，濕度處理後以(yǐ)風管直接分(fēn)送至各(gè)HEPA過濾器(qì)，但不(bù)宜用於過濾器多(duō)的(dí)係統，空(kōng)調(tiáo)器的(dí)風(fēng)量一(yī)般(bān)不(bù)會(huì)太大(dà)。另一(yī)種方(fāng)式是用總(zǒng)風(fēng)管至靜壓(yā)箱，如(rú)有(yǒu)靜壓箱，宜用於(yú)過濾(lǜ)器多(duō)的係統，靜(jìng)壓箱要(yào)求密封(fēng)性好(hǎo)，以免汙(wū)染(rǎn)物通(tōng)過過(guò)濾(lǜ)器與靜(jìng)壓箱的安裝接縫處(chǔ)以有不(bù)嚴密處(chǔ)漏入(rù)至潔(jié)淨(jìng)室，這一(yī)點對要求(qiú)嚴的(dí)潔淨室(shì)是(shì)十分(fēn)重要(yào)的(dí)，常設在靜壓(yā)箱(xiāng)上一層(céng)屋(wū)頂(dǐng)層(céng)內，以減(jiǎn)少送風(fēng)管(guǎn)長度(dù)。一般每(měi)台空調(tiáo)器的風量30000-45000m3/h間(jiān)，以(yǐ)控(kòng)製噪聲過(guò)大(dà)，風壓（氣(qì)壓）一般控製在650-700Pa以內。
（2）軸流(liú)風機(jī)豎井(jǐng)式布(bù)置，有壓靜壓(yā)箱(xiāng)
這種(zhǒng)空氣循環係(xì)統(tǒng)主(zhǔ)要用於(yú)大的IC工廠(chǎng)的潔(jié)淨(jìng)室(shì)，由(yóu)於其風量大(dà)，過濾器多(duō)，每台(tái)軸流(liú)風(fēng)機的(dí)風壓(yā)常控(kòng)製在400Pa左(zuǒ)右，以(yǐ)適應(yīng)軸流風機低(dī)風壓，大流量(liáng)下的運(yùn)行效率佳並控(kòng)製(zhì)其(qí)噪(zào)音(yīn)。此係統的特(tè)點(diǎn)是綜合投資(zī)及運行費用較高，維(wéi)護管理(lǐ)方(fāng)便(biàn)，但(dàn)靈活性較(jiào)有(yǒu)效期，另外有壓靜箱的缺點同上。
（3）FFU係統
FFU是近(jìn)幾(jī)年發(fā)展(zhǎn)起(qǐ)來的(dí)，在使用壽命及(jí)維護上(shàng)已經實(shí)踐(jiàn)證(zhèng)明(míng)無(wú)可(kě)擔心(xīn)。其特點(diǎn)是靈(líng)活性大(dà)，便(biàn)於(yú)改造，擴(kuò)展；占用(yòng)建築物空(kōng)間較少(shǎo)；無壓回(huí)風靜壓室，潔淨(jìng)室(shì)內風壓大(dà)於它的，排除靜(jìng)壓(yā)室對(duì)潔淨(jìng)室漏(lòu)入(rù)汙(wū)染物(wù)。由(yóu)於(yú)運行(háng)時(shí)的靜壓(yā)一(yī)般(bān)皆在(zài)250Pa左右，因此(cǐ)要求(qiú)係(xì)統(tǒng)總阻力（過(guò)濾(lǜ)器為初(chū)阻(zǔ)力）控(kòng)製在(zài)165Pa左(zuǒ)右(yòu)，即(jí)整(zhěng)個(gè)回風阻力（包括(kuò)風道，各種局部阻(zǔ)力等）控製在65Pa左右，過濾器初(chū)阻力(lì)控製在約100Pa，融就(jiù)需(xū)再(zài)增設(shè)加壓風機(jī)係(xì)統，這(zhè)就(jiù)降(jiàng)低了FFU係統的綜(zōng)合優(yōu)點。
FFU單機(jī)風量一般在1000-2000m3/h，由於(yú)小風機所用(yòng)小容(róng)量（功率<1/2Hp）的交(jiāo)流電機，一般(bān)皆(jiē)為電容分相式或(huò)隱極(jí)式，其(qí)效率(shuài)僅40%左右(yòu)，因此(cǐ)運(yùn)行能(néng)效低，現多(duō)采用電子正流電機（無刷直(zhí)流(liú)電機(jī)）其效率(shuài)可達(dá)75-80%。解決(jué)了(liǎo)以往運行能(néng)效(xiào)低的(dí)問(wèn)題，在調(tiáo)整控製(zhì)上，可(kě)每(měi)台單(dān)獨(dú)或(huò)成(chéng)組(zǔ)以過(guò)濾(lǜ)器(qì)壓(yā)降進行控製(zhì)以進一步達到節(jié)能(néng)。FFU係(xì)統(tǒng)，可用於各行業的潔淨室(shì)，隻要(yào)回(huí)風係統(tǒng)阻力及(jí)過濾器阻力(lì)能合適控製，對(duì)小係統往(wǎng)往是可(kě)取(qǔ)的；對過(guò)濾器滿(mǎn)布(bù)率較低（如25%）左(zuǒ)右(yòu)的大(dà)麵積潔(jié)淨室亦(yì)采用較多；對過濾器滿布(bù)率較高時(shí)一般往往(wǎng)是不(bù)經濟的，滿(mǎn)布(bù)率高(gāo)，意(yì)味(wèi)著風(fēng)量(liáng)很(hěn)大(dà)，如(rú)控製係(xì)統阻(zǔ)力(lì)，回(huí)風道(dào)要很大，往(wǎng)往在綜合經(jīng)濟上不(bù)可取(qǔ)，亦較(jiào)難實現。