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潔淨室(shì)竣工(gōng)驗收(shōu)工作(zuò)完(wán)成(chéng)後,一般應由(yóu)具有相關(guān)資質或相(xiāng)關授權,具(jù)有(yǒu)潔淨室(shì)檢(jiǎn)測(cè)經驗(yàn),擁有完(wán)備的計量(liáng)檢定(dìng)合(hé)格的儀器,儀(yí)表的(dí)第三方(fāng)來主持潔淨室(shì)的檢測工作。建(jiàn)設方(fāng),設計,施(shī)工(gōng),監理單位(wèi)應在現場配(pèi)合,以(yǐ)完(wán)成對(duì)潔淨室的(dí)綜合性(xìng)能評(píng)價(jià)。
潔淨室綜(zōng)合性能評(píng)價具有(yǒu)兩(liǎng)方麵的(dí)功能:
(1)由(yóu)第(dì)三(sān)方(fāng)主(zhǔ)持驗(yàn)證(zhèng)新建或(huò)改(gǎi)建的潔(jié)淨室(shì)是否(fǒu)達到設計要求(qiú),能否正(zhèng)常運(yùn)行並(bìng)滿足(zú)所規(guī)定的(dí)汙染控(kòng)製標準,其結(jié)論(lùn)較(jiào)竣(jùn)工驗收報告更具有(yǒu)公正性。
(2)所測定的(dí)潔(jié)淨(jìng)室(shì)的初始(shǐ)性能,將(jiāng)作為該潔淨(jìng)室性能(néng)的(dí)“基準(zhǔn)”。將(jiāng)來(lái)不(bù)論(lùn)是(shì)例(lì)行(háng)檢測還(huán)是出現問(wèn)題時(shí)進行(háng)的(dí)測試(shì),均(jūn)可(kě)得到(dào)與初始測試(shì)結果的(dí)偏差(chà)。由此便於找出(chū)潔淨室(shì)性(xìng)能不達標或出(chū)現其它(tā)問(wèn)題(tí)的原因。
1,ISO-14644所規(guī)定(dìng)的檢測項目(mù)
2,NEBB所規(guī)定(dìng)的檢測(cè)項目(mù)
美國(guó)國家(jiā)環(huán)境(jìng)平衡(héng)局(jú)NEBB關(guān)於潔淨室性能(néng)測試(shì)所(suǒ)規(guī)定(dìng)的測(cè)試(shì)項目(mù)如下:
(1)氣流速度和均匀(yún)性(xìng)測試(shì)。
(2)高(gāo)效空(kōng)氣過濾器(qì)裝置(zhì)的檢漏測(cè)試(shì)。
(3)房(fáng)間塵(chén)粒(lì)數測(cè)試。
(4)隔(gé)斷(duàn)壓(yā)差(chà)。
(5)溫(wēn),濕度(dù)均匀性(xìng)測試。
(6)噪(zào)聲(shēng)及(jí)振(zhèn)動測試。
(7)照(zhào)度(dù)及均(jūn)匀性測(cè)試。
(8)自(zì)淨測試(shì)。
(9)電(diàn)導率測試(shì)。
(10)粒(lì)子沉積(jī)測試。
(11)靜電測(cè)試。
3,國(guó)內相(xiāng)關標(biāo)準(zhǔn)所規定的測試項目(mù)
國(guó)家標(biāo)準GB 50073-2001《潔(jié)淨室廠(chǎng)房設計(jì)規範》及行業標準(zhǔn)JGJ71-90《潔淨室施(shī)工(gōng)及(jí)驗收(shōu)規範》所(suǒ)規定的潔淨(jìng)室(shì)測(cè)試項(xiàng)目(mù)如(rú)下(xià)表: