（1）集(jí)中送(sòng)風方(fāng)式
這種送(sòng)風方式一(yī)般(bān)是數台(tái)大型新風處理機(jī)組和淨化(huà)循環機組集中設(shè)置在空調(tiáo)機(jī)房(fáng)內，空(kōng)調機組可位於(yú)潔淨(jìng)室的側麵或頂部。經過溫濕度(dù)處理和(hé)過(guò)濾(lǜ)後的空氣由離(lí)心(xīn)風(fēng)機或軸流風機加壓(yā)後通過(guò)風道送入送(sòng)風(fēng)靜(jìng)壓(yā)箱，再由空(kōng)氣(qì)過(guò)濾(lǜ)器(qì)或超(chāo)空(kōng)氣過(guò)濾器(qì)過(guò)濾後送入潔淨(jìng)室。回(huí)風經格柵地板係統，流(liú)入回風靜(jìng)壓箱再(zài)回(huí)到淨(jìng)化循環係(xì)統，如此反復循環運行(háng)。
（2）隧道潔淨室(shì)送(sòng)風(fēng)方(fāng)式(shì)
這種(zhǒng)送(sòng)風方式一般將(jiāng)潔淨室(shì)劃(huá)分為(wéi)生(shēng)產核心區和(hé)維(wéi)護區，生產核(hé)心區(qū)要(yào)求(qiú)高潔(jié)淨度(dù)和(hé)嚴格(gé)的(dí)溫(wēn)濕(shī)度控製，設(shè)在單向流送風區內(nèi)；維(wéi)護區(qū)要(yào)求較低，設置在(zài)生產(chǎn)輔助(zhù)設備或無潔淨要求的生產(chǎn)設備的尾(wěi)部(bù)或(huò)配(pèi)管配綫等。生產區(qū)為送風區，維(wéi)護區為回(huí)風區，構成空(kōng)氣循環(huán)係統。一般(bān)隧道式送風是由多個空氣(qì)循環係統組成(chéng)，所以(yǐ)其中一台(tái)循環機(jī)組(zǔ)出現故障不(bù)會(huì)影響(xiǎng)其(qí)他區(qū)域(yù)生產環(huán)境的潔(jié)淨(jìng)度，並(bìng)且各(gè)個(gè)循(xún)環係統(tǒng)可(kě)根據(jù)生產需要進行分區(qū)調控(kòng)。
（3）風(fēng)機(jī)過濾單元送風方式(shì)
在(zài)潔淨室的吊頂上安裝(zhuāng)多(duō)台(tái)風(fēng)機(jī)過濾(lǜ)單元(yuán)(FFU)機組，構成循環係統(tǒng)，不需要配置淨(jìng)化循(xún)環(huán)空調機房，送風(fēng)靜(jìng)壓(yā)箱為(wéi)負(fù)壓。空氣由FFU送(sòng)到潔(jié)淨室，從回風(fēng)靜(jìng)壓箱(xiāng)經兩側夾(jiā)道回(huí)至送(sòng)風(fēng)靜(jìng)壓箱(xiāng)。根據潔淨室(shì)的溫度(dù)調節需(xū)要(yào)，一(yī)般(bān)在回(huí)風夾道(dào)設(shè)幹(gān)式表冷器。新(xīn)風(fēng)處(chǔ)理機可(kě)集(jí)中(zhōng)設在空(kōng)調(tiáo)機(jī)房內(nèi)，處理後的(dí)新(xīn)風直(zhí)接送(sòng)入送(sòng)風(fēng)靜壓箱。因(yīn)送風靜(jìng)壓箱(xiāng)為負(fù)壓(yā)，有(yǒu)利於空氣過濾器(qì)頂棚的密封；但(dàn)由於(yú)FFU機組台數(shù)較多，在滿布率較(jiào)高時，一般投(tóu)資較大，運行(háng)費(fèi)用(yòng)也高(gāo)。有(yǒu)些(xiē)FFU噪(zào)聲較大(dà)，選用(yòng)時需(xū)要注意(yì)。
（4）模塊(kuài)式(shì)風(fēng)機單(dān)元送風方式(shì)
這(zhè)種送風(fēng)方式是(shì)送風機安裝(zhuāng)在空(kōng)氣過濾(lǜ)器(qì)或超空氣過(guò)濾器(qì)之(zhī)上，1台送(sòng)風(fēng)機可配(pèi)置數台(tái)過(guò)濾器的(dí)空氣(qì)循環(huán)係統。這種模塊(kuài)式風(fēng)機(jī)單元(yuán)循環係(xì)統(tǒng)屬(shǔ)無管道(dào)方(fāng)式，空(kōng)氣(qì)輸(shū)送(sòng)速度較(jiào)低，送風機和過濾(lǜ)器維(wéi)修較(jiào)方便(biàn)，能量消耗較(jiào)少(shǎo)。
（5）微環境+開放(fàng)式(shì)潔淨(jìng)室的送(sòng)風方式(shì)
這種方式(shì)可(kě)以(yǐ)確(què)保極為嚴格(gé)的半導(dǎo)體(tǐ)芯片生(shēng)產環境或設(shè)備(bèi)的微(wēi)環境控(kòng)製達到(dào)高潔(jié)淨度(dù)等(děng)級(jí)(如(rú)0.05~0. lμm, ISO 1級(jí))，而其周(zhōu)圍(wéi)的(dí)開放式(shì)大(dà)麵(miàn)積(jī)潔(jié)淨環境(jìng)僅(jǐn)保持在相對(duì)較差(chà)的(dí)潔(jié)淨度等級(jí)(如ISO 5級(jí)或(huò)ISO 6級)，微環境(jìng)內為潔淨度控製嚴(yán)格的(dí)單向流潔淨(jìng)環境(jìng)，而開(kāi)放式(shì)潔淨室為單(dān)向流(liú)或(huò)混(hùn)合(hé)流潔淨(jìng)室(shì)。這(zhè)種(zhǒng)方式的能量(liáng)消耗(hào)較(jiào)少，工(gōng)藝布(bù)置(zhì)靈活性好，建設投(tóu)資和運(yùn)行(háng)費用(yòng)都可以降低(dī)。