1，機械(xiè)振(zhèn)動(dòng)的(dí)檢(jiǎn)測
（1）機械振(zhèn)動的(dí)來(lái)源(yuán)。機械(xiè)振動的(dí)來源主(zhǔ)要(yào)有以下幾個方(fāng)麵：大地(dì)固有(yǒu)的振動；潔(jié)淨室運行用(yòng)設(shè)備的(dí)振(zhèn)動；生產(chǎn)用(yòng)設(shè)備(bèi)的振(zhèn)動；交通工具的(dí)振動(dòng)；建築(zhù)設備的振(zhèn)動(dòng)；水(shuǐ)流引(yǐn)起(qǐ)的振動(dòng)；氣流引(yǐn)起的(dí)振(zhèn)動等(děng)。
（2）振動(dòng)的危害(hài)。其(qí)影響(xiǎng)精(jīng)密儀器的準(zhǔn)確度(dù)和(hé)精密加工的精確度。
（3）振動(dòng)的測(cè)量(liáng)。振動主(zhǔ)要(yào)有兩(liǎng)個技(jì)術參(cān)數(shù)：振(zhèn)動(dòng)頻率(shuài)和(hé)振(zhèn)幅。采用減振措施(shī)以(yǐ)後
，振動量(liáng)可以(yǐ)減小(xiǎo)。用(yòng)振(zhèn)動儀(yí)可以直接(jiē)測(cè)量振(zhèn)動(dòng)的強(qiáng)度。
2，靜(jìng)電的檢(jiǎn)測
（1）靜電檢(jiǎn)測的需求。靜(jìng)電(diàn)有(yǒu)可能(néng)損(sǔn)壞電(diàn)子設備，儀器(qì)儀表(biǎo)，甚(shèn)至傷害人體
，引發爆炸(zhà)或燃燒(shāo)。靜電對於(yú)集成(chéng)電(diàn)路的影(yǐng)響(xiǎng)較(jiào)大
，所(suǒ)以電(diàn)子(zǐ)行業對(duì)於(yú)靜電檢(jiǎn)測(cè)的要求(qiú)較高。《潔(jié)淨(jìng)廠房設計規範(fàn)》和(hé)《電子(zǐ)工(gōng)業(yè)潔淨(jìng)廠房設(shè)計規(guī)範(fàn)》兩個強製(zhì)性(xìng)的(dí)國家標準(zhǔn)都(dū)是中國(guó)電子(zǐ)工(gōng)程設計(jì)院負(fù)責起(qǐ)草的
，基(jī)本上代(dài)表(biǎo)了(liǎo)電(diàn)子行(háng)業(yè)的(dí)觀(guān)點。標準(zhǔn)中(zhōng)對於(yú)靜電(diàn)有比較具(jù)體(tǐ)的要求(qiú)。GB 50472-2008將(jiāng)靜電分為三個(gè)等(děng)級
，相應的靜(jìng)電點(diǎn)位(wèi)值為(wéi)：一(yī)級(jí)≤100V；二(èr)級(jí)≤200V；三級(jí)≤1000V。
（2）靜(jìng)電(diàn)的主(zhǔ)要(yào)檢(jiǎn)測參(cān)數：包括電(diàn)壓，電阻(zǔ)，電場(cháng)，離(lí)子等(děng)。
（3）檢(jiǎn)測方法(fǎ)。靜(jìng)電檢測可(kě)參(cān)照GB 50591-2010和電子行(háng)業(yè)標準(zhǔn)《電子產品和製造(zào)防靜(jìng)電係統(tǒng)測(cè)試方(fāng)法》（SJ/T10694）進行。
3，電磁場(cháng)的檢測(cè)
（1）電磁場(cháng)的來(lái)源。有(yǒu)交(jiāo)變(biàn)電(diàn)流就會(huì)有電磁場。高(gāo)頻電(diàn)流(liú)會產生電磁(cí)波(bō)。
（2）電(diàn)磁場的(dí)危害(hài)。一(yī)般(bān)的(dí)電磁場會影響(xiǎng)儀器(qì)儀(yí)表(biǎo)和(hé)自動(dòng)控製係(xì)統(tǒng)。強(qiáng)電(diàn)磁場(cháng)對(duì)人(rén)體有害(hài)。
（3）電(diàn)磁場的(dí)測量。電磁場(cháng)主(zhǔ)要有兩(liǎng)個(gè)技術指(zhǐ)標
，即頻率(shuài)和(hé)強度(dù)
，可以用(yòng)場(cháng)強儀(yí)進(jìn)行檢(jiǎn)測。
4，射(shè)綫的(dí)檢(jiǎn)測
（1）常見(jiàn)的射綫(xiàn)。常見(jiàn)的射綫有(yǒu)電(diàn)磁(cí)波，紫外(wài)綫，X射綫，γ射(shè)綫，α射(shè)綫(xiàn)，β射綫等(děng)。
（2）射(shè)綫(xiàn)的來(lái)源。交換變化的電(diàn)磁場會(huì)產生(shēng)電(diàn)磁波(bō)
，高頻(pín)的(dí)電磁(cí)波(bō)呈(chéng)現射綫特性
，可以(yǐ)稱(chēng)為電磁射(shè)綫。紫外綫(xiàn)多(duō)來源於(yú)紫(zǐ)外(wài)光源(yuán)和太陽(yáng)光。X射(shè)綫多來(lái)源(yuán)於被(bèi)高(gāo)能(néng)電子激發的物(wù)質。α射綫，β射(shè)綫多來源(yuán)於(yú)具有放射(shè)性的(dí)重元素(sù)。
（3）檢測方法。射綫一般可(kě)以用相(xiāng)應的射綫計(jì)數(shù)器(qì)檢(jiǎn)測(cè)
，射綫計(jì)數(shù)器一(yī)般(bān)都是直(zhí)讀(dú)儀器(qì)
，使(shǐ)用比(bǐ)較方便(biàn)。需要注(zhù)意(yì)射綫(xiàn)對(duì)人體(tǐ)危(wēi)害較(jiào)大
，檢測(cè)人員(yuán)需(xū)要注意自(zì)我保護(hù)。
5，有害氣(qì)體(tǐ)的(dí)檢測
（1）有害(hài)氣(qì)體的來源。潔(jié)淨(jìng)室(shì)有害氣體(tǐ)的(dí)來源主要(yào)有：通(tōng)風(fēng)帶(dài)進的有害氣體；室(shì)內(nèi)裝(zhuāng)飾材料散(sàn)發(fā)的(dí)有(yǒu)害氣體；室內設(shè)備散(sàn)發(fā)的有(yǒu)害氣(qì)體；工(gōng)作過(guò)程產生的(dí)有害氣體；人員散(sàn)發的有害氣(qì)體(tǐ)。
（2）有(yǒu)害氣(qì)體的種類(lèi)。不(bù)同(tóng)的來(lái)源有不同(tóng)的有(yǒu)害(hài)氣體(tǐ)
，不同(tóng)的對(duì)象有(yǒu)不同的(dí)有害氣體(tǐ)。有(yǒu)的氣(qì)體對(duì)人(rén)體有害(hài)
，有(yǒu)的(dí)氣體對(duì)儀(yí)器(qì)設(shè)備(bèi)有(yǒu)害
，有(yǒu)的氣體對產(chǎn)品(pǐn)有(yǒu)害。
（3）有(yǒu)害氣體的檢測(cè)方法。
1）用直(zhí)讀儀器(qì)直接讀(dú)出有害(hài)氣(qì)體的濃(nóng)度。直讀(dú)儀(yí)器主要(yào)由兩部(bù)分(fēn)組成：化學傳感器(qì)和電子(zǐ)放(fàng)大顯(xiǎn)示(shì)係(xì)統。此(cǐ)方(fāng)法(fǎ)的(dí)特點是快遞(dì)，方(fāng)便
，缺點(diǎn)是(shì)往往精(jīng)確(què)度(dù)較低，儀器(qì)的使(shǐ)用(yòng)壽命(mìng)較短。
2）采(cǎi)樣(yàng)後(hòu)帶回實(shí)驗室
，使(shǐ)用(yòng)光譜儀，色譜儀等分(fēn)析確(què)定有害氣體的濃度。此方(fāng)法(fǎ)的特點(diǎn)是(shì)精確度較(jiào)高，可(kě)靠(kào)性(xìng)較強(qiáng)
，缺點(diǎn)是測(cè)定程序(xù)較復雜，需(xū)要(yào)的時間較長(cháng)。