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潔淨室檢測(cè)常(cháng)用的儀器儀表

發(fā)表時間:2020/5/5  |  點(diǎn)擊率(shuài):2127

一般(bān)計(jì)量儀表(biǎo)的(dí)精確(què)度是分級的,對於1級儀表,其誤(wù)差限(xiàn)是(shì)大量程的1%。例(lì)如(rú):對(duì)於(yú)大量(liáng)程為(wéi)100℃的溫度計,其誤(wù)差(chà)為±1℃;對(duì)於大(dà)量程為30℃的溫度計,其(qí)誤差為(wéi)±0.3℃。如(rú)果被測量的溫(wēn)度(dù)是20℃,使用大量程(chéng)為100℃的1級(jí)溫度(dù)計(jì),測(cè)得(dé)值的相對誤差為±5%;使用大(dà)量程(chéng)為30℃的1級溫度計(jì),測得值(zhí)的相對誤(wù)差(chà)為±1.5%。由(yóu)此(cǐ)可見(jiàn),使用精確(què)度等級相(xiāng)同的(dí)儀表(biǎo),由於(yú)大(dà)量程不同,其(qí)測得值的相(xiāng)對(duì)誤差的(dí)差別(bié)很大。因(yīn)為同等(děng)精確(què)度下大(dà)量程(chéng)越大誤差越(yuè)大(dà),所以(yǐ)在可(kě)能的(dí)條(tiáo)件(jiàn)下應盡(jìn)量選(xuǎn)用(yòng)量程(chéng)較(jiào)小的儀(yí)表。
1,溫度(dù)計
溫度計(jì)有多(duō)種,其中(zhōng)玻璃溫度(dù)計的(dí)可靠(kào)性較好。如果潔(jié)淨室內(nèi)使(shǐ)用(yòng)其他類型(xíng)的(dí)溫(wēn)度計(jì),應該另外準(zhǔn)備一(yī)個(gè)精確(què)度較(jiào)高的(dí)玻璃溫(wēn)度計(jì),作(zuò)為校(xiào)準其(qí)他(tā)溫度(dù)計的比對性(xìng)標準器(qì)。
(1)玻璃溫(wēn)度計。玻(bō)璃(lí)溫(wēn)度(dù)計(jì)是根據液體熱脹(zhàng)冷縮(suō)原(yuán)理製造(zào)的(dí)。常(cháng)用(yòng)的液體(tǐ)是酒精或水印(yìn)。這(zhè)種溫(wēn)度計雖然(rán)準確(què)可靠(kào),但(dàn)反(fǎn)應較慢,讀(dú)數(shù)不(bù)直觀(guān),不適合用於(yú)自動(dòng)控(kòng)製。玻璃溫(wēn)度計讀數時應注意不能(néng)用手(shǒu)直接接觸液體球的外(wài)壁,讀(dú)數時眼(yǎn)睛應(yīng)該(gāi)平(píng)視(shì)。
(2)數字溫度計。數字溫度計的(dí)原理有多種(zhǒng),優點(diǎn)是(shì)讀(dú)數直觀,適合(hé)於自動控(kòng)製,但有時(shí)可靠性較差。
2,濕度計
(1)幹濕球(qiú)濕度計(jì)。液(yè)體揮發(fā)會吸收熱量(liáng),致使溫(wēn)度下降;濕度越(yuè)低(dī),液體揮(huī)發(fā)得越(yuè)快,溫(wēn)度(dù)下降得(dé)越(yuè)多(duō)。根(gēn)據這個原(yuán)理(lǐ)製造出幹(gān)濕球(qiú)濕度計(jì)。幹濕(shī)球(qiú)濕(shī)度計具(jù)有結構簡單(dān),價格(gé)低廉的優點(diǎn),但(dàn)讀數比較麻煩,不適(shì)合(hé)用(yòng)於自(zì)動控製(zhì)。
(2)毛(máo)發(fā)濕(shī)度計(jì)。毛發(fā)濕(shī)度計(jì)是(shì)根據脫脂毛(máo)發隨濕度變化而(ér)變化的(dí)原(yuán)理(lǐ)製(zhì)造出來(lái)的。指針(zhēn)式(shì)的毛發(fā)濕度計(jì)結構(gòu)簡單,價格低(dī)廉,但(dàn)不(bù)適合(hé)用於自動控(kòng)製(zhì)。
(3)露(lòu)點(diǎn)濕(shī)度(dù)計。露點濕(shī)度計的(dí)原(yuán)理(lǐ)是首先測定露點溫度(dù),根(gēn)據露(lòu)點(diǎn)溫(wēn)度對(duì)應的飽(bǎo)和(hé)水蒸氣分壓(yā)力與(yǔ)幹(gān)球(qiú)溫(wēn)度對(duì)應(yīng)的飽(bǎo)和(hé)水蒸氣(qì)分壓力計算(suàn)相對濕度(dù)。通(tōng)過直(zhí)接觀(guān)察(chá)確定是(shì)否結(jié)露(lòu)的準確(què)度(dù)較(jiào)差,根(gēn)據(jù)鏡麵反射光的(dí)強(qiáng)度確定是否結露(lòu)的準確度較高。所(suǒ)以(yǐ)有直觀(guān)的露點濕度(dù)計,還(huán)有光(guāng)電(diàn)式(shì)露點濕(shī)度計。使(shǐ)用溫度(dù)傳感器(qì)測(cè)定露點溫(wēn)度(dù)的(dí)光電(diàn)式露(lòu)點濕度(dù)計(jì)不僅精確度(dù)高,而(ér)且(qiě)可(kě)以(yǐ)實現數(shù)字顯示(shì)。
(4)電容濕度(dù)計。電(diàn)容濕度計的原(yuán)理是(shì):高(gāo)分子(zǐ)薄(báo)膜(mó)吸收(shōu)或釋放(fàng)水(shuǐ)分子(zǐ)的時候(hòu)電(diàn)容(róng)值發生變(biàn)化(huà),測定高分子(zǐ)薄膜的電(diàn)容值可以(yǐ)確(què)定(dìng)空(kōng)氣的(dí)濕(shī)度。常用(yòng)的高(gāo)分(fēn)子(zǐ)材料是(shì)丁(dīng)酸纖(xiān)維(wéi)素。電容濕(shī)度計可以(yǐ)用(yòng)數(shù)字(zì)顯示濕度(dù),便(biàn)於監測和控(kòng)製。
(5)電阻濕(shī)度計(jì)。電阻(zǔ)濕度(dù)計(jì)的原(yuán)理是(shì):金(jīn)屬氧(yǎng)化物(wù)燒結而成的多(duō)孔狀(zhuàng)陶瓷(cí)體或高分(fēn)子材(cái)料(liào)吸(xī)收或釋(shì)放(fàng)水分子的(dí)時候(hòu)電阻值發生變(biàn)化(huà),測定(dìng)該多孔狀(zhuàng)陶瓷體(tǐ)或高(gāo)分子材料的電(diàn)阻(zǔ)值(zhí)就可(kě)以(yǐ)確(què)定(dìng)空氣(qì)的濕(shī)度(dù)。用(yòng)氧化鎳(niè)陶(táo)瓷製造的濕度(dù)傳感器壽命長,穩定(dìng)性(xìng)好(hǎo),應(yīng)用較廣(guǎng)泛(fàn)。電阻(zǔ)濕(shī)度計(jì)也可以用數(shù)字(zì)顯(xiǎn)示(shì)濕(shī)度(dù),便於監(jiān)測(cè)和控製(zhì)。
3,氣(qì)壓計(jì)
(1)U形氣壓計(jì)。加入液體後,一頭(tóu)與大氣(qì)連(lián)通(tōng),另一頭(tóu)與被(bèi)測的氣(qì)體連通(tōng),利用兩個玻(bō)璃(lí)管(guǎn)中的液(yè)麵差測(cè)量氣壓差(chà)。結(jié)合(hé)已知的(dí)大(dà)氣壓(yā)數值,可得到(dào)被測(cè)的氣(qì)壓值。U形氣壓計中常(cháng)用的(dí)液體(tǐ)是純水,水(shuǐ)銀(yín),乙(yǐ)醇等(děng)。同(tóng)樣長(cháng)度(dù)的U形(xíng)氣壓(yā)計,液體的密度越大(dà),量(liáng)程越(yuè)大(dà),精確度(dù)越低(dī);液(yè)體的密度越(yuè)小(xiǎo),量程(chéng)越(yuè)小,精(jīng)確(què)度越(yuè)高。所以(yǐ),應該根(gēn)據(jù)量(liáng)程(chéng)和(hé)精(jīng)確度(dù)選用適(shì)當的(dí)液(yè)體。
(2)斜(xié)管微壓計。可(kě)以理解為U形氣(qì)壓(yā)計(jì)的變形(xíng)。一(yī)般情(qíng)況下(xià),U形(xíng)氣(qì)壓計的玻璃管垂直讀(dú)數(shù),斜管微壓計的(dí)玻璃管傾(qīng)斜讀數(shù)。玻(bō)璃管傾斜後(hòu),同(tóng)樣(yàng)的壓差(chà)在(zài)玻璃(lí)管(guǎn)中顯示的(dí)距離較(jiào)大(dà),讀(dú)數的(dí)精確(què)度(dù)較(jiào)高。所以與U形氣壓(yā)計比較,斜(xié)管微(wēi)壓計(jì)的讀(dú)數(shù)精確(què)度要高一些。
(3)精(jīng)密(mì)微(wēi)壓(yā)計。此(cǐ)儀器結(jié)構比(bǐ)較復(fù)雜,雖(suī)然(rán)也是用純(chún)水(shuǐ)顯示壓力(lì),然(rán)而采用放大鏡(jìng)瞄準(zhǔn),螺(luó)紋微(wēi)調(tiáo),遊標(biāo)讀(dú)數,可(kě)以達到更高(gāo)的精(jīng)確度。
(4)彈性(xìng)氣(qì)壓(yā)計(jì)。此儀器是利用(yòng)物(wù)體彈性(xìng)製造(zào)的(dí)氣壓計。彈(dàn)性(xìng)氣壓(yā)計種類繁(fán)多,應(yīng)用範圍廣(guǎng)泛。
(5)壓(yā)差(chà)計。壓差(chà)計與(yǔ)壓(yā)力計(jì)經常是(shì)可(kě)以通用的。有(yǒu)時可以測出(chū)壓力(lì)計(jì)算(suàn)出壓差,有時又(yòu)可以測(cè)出(chū)壓(yā)差計(jì)計(jì)算出壓力。U形氣壓計(jì)就是一(yī)種典(diǎn)型的通過(guò)測(cè)壓差(chà)計(jì)算壓(yā)力(lì)的(dí)儀(yí)器。
(6)電子壓(yā)力(lì)計。此儀(yí)表(biǎo)一器般是通(tōng)過(guò)壓(yā)力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器,電子(zǐ)綫(xiàn)路和顯示器直接用(yòng)數(shù)字顯(xiǎn)示(shì)壓(yā)力(lì)的(dí)數(shù)值(zhí)。
4,風速計
(1)熱效應(yīng)風速計。熱(rè)效應風(fēng)速(sù)計分(fēn)熱綫風(fēng)速計和(hé)熱球(qiú)風(fēng)速(sù)計兩種(zhǒng)。這(zhè)兩種風(fēng)速計的(dí)原(yuán)理(lǐ)和和結(jié)構(gòu)相似(sì),其特(tè)點是靈敏度較高(gāo),穩定(dìng)性(xìng)較(jiào)差(chà)。
(2)旋(xuán)翼式風速計(jì)。旋(xuán)翼式風速計有一(yī)定(dìng)的摩擦(cā)阻(zǔ)力(lì)。以前摩(mó)擦(cā)阻力較(jiào)大(dà),靈(líng)敏度(dù)較(jiào)低(dī),隨著(zhuó)技術的進步,阻(zǔ)力(lì)減(jiǎn)小(xiǎo),靈(líng)敏度提高,應(yīng)用範圍越來越大。
(3)氣(qì)壓(yā)風(fēng)速(sù)計。氣(qì)壓(yā)風(fēng)速(sù)計的原(yuán)理(lǐ)是根(gēn)據(jù)氣體(tǐ)的(dí)動(dòng)壓確定風(fēng)速。一(yī)般(bān)使用皮托(tuō)管(guǎn)和(hé)微(wēi)壓(yā)計測(cè)定氣(qì)流(liú)的靜壓和(hé)全(quán)壓(yā),用(yòng)全壓(yā)減去(qù)靜(jìng)壓得到(dào)動(dòng)壓(yā)。這(zhè)種(zhǒng)測(cè)定方法(fǎ)的可靠性(xìng)較高,但是比(bǐ)較(jiào)麻(má)煩(fán),而且(qiě)要(yào)求(qiú)壓力計的(dí)靈(líng)敏度較高(gāo)。
5,風(fēng)量計(jì)
(1)罩式(shì)風(fēng)量(liáng)計。可(kě)以使(shǐ)用(yòng)風速計測量(liáng)風向垂直截麵(miàn)上各(gè)點(diǎn)的(dí)風速(sù),取(qǔ)平均(jūn)值乘(chéng)以(yǐ)截麵積(jī)得到風量。根(gēn)據(jù)這(zhè)個原理(lǐ),將(jiāng)多(duō)個(gè)風速(sù)計組合在一(yī)起製造出罩式(shì)風量計(jì),可(kě)以(yǐ)直接測定(dìng)風量。
(2)浮子(zǐ)流量計。浮(fú)子(zǐ)流量(liáng)計(jì)也稱(chēng)為轉子流(liú)量計(jì),是一(yī)種常用的(dí)氣(qì)體流量(liáng)計(jì)。一(yī)般(bān)情況(kuàng)下,浮子流(liú)量計用於測量中(zhōng)等流(liú)量(liáng)的(dí)氣流,如(rú)10~500L/min。
(3)皂(zào)膜(mó)流量計。皂(zào)膜流(liú)量(liáng)計也是(shì)一種常(cháng)用的流(liú)量計。一般(bān)多用於測(cè)量(liáng)小流量的氣(qì)流。
6,聲級計
聲級計是根(gēn)據聲(shēng)音(yīn)振動的能量(liáng)確定噪(zào)聲(shēng)的聲(shēng)級(jí),其顯(xiǎn)示方(fāng)式有指(zhǐ)針(zhēn)式和數字(zì)式(shì)兩(liǎng)種(zhǒng),新製(zhì)造(zào)的(dí)多(duō)是(shì)數(shù)字(zì)式。
7,照(zhào)度(dù)計
照(zhào)度(dù)計(jì)根據照射到(dào)的(dí)光的能量確定照射光(guāng)的強(qiáng)度,一般用數(shù)字(zì)顯示照度值(zhí)。