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無(wú)塵室是(shì)指可以將(jiāng)環境因(yīn)素(sù)控製在規定數(shù)值內的(dí)空間(jiān),稱(chēng)之為無塵(chén)室。室內環境因(yīn)素包括(kuò)空(kōng)氣(qì)中(zhōng):微生物,微(wēi)塵粒(lì),氣體(tǐ)分(fēn)子,溫度,濕度,氣(qì)流流型,風速,壓差,照度,噪(zào)音,微振(zhèn)動,靜電,風(fēng)量(liáng),電磁波等無塵室(shì)是指將(jiāng)一定(dìng)空間範(fàn)圍(wéi)內之空氣(qì)中(zhōng)的(dí)微(wēi)粒(lì)子,有(yǒu)害空氣(qì),細菌(jūn)等之(zhī)汙染(rǎn)物排除,並將室(shì)內之(zhī)溫度,潔(jié)淨度(dù),室內壓(yā)力(lì),氣(qì)流(liú)速(sù)度(dù)與氣流(liú)分布,噪音振(zhèn)動(dòng)及(jí)照(zhào)明,靜(jìng)電控製(zhì)在某一(yī)需(xū)求範(fàn)圍內,而所給予特別設計之房間(jiān)。亦(yì)即(jí)是(shì)不(bù)論外在之(zhī)空(kōng)氣條件如(rú)何(hé)變(biàn)化,其室內均(jūn)能(néng)俱(jù)有維持(chí)原先(xiān)所設定要(yào)求之潔(jié)淨度,溫濕度及(jí)壓力等(děng)性能之特(tè)性。
無塵室(shì)按用途可分為(wéi)兩大類(lèi):
(1)工業(yè)無塵室:以無生命(mìng)微粒的控製為對象。主(zhǔ)要控製空氣塵(chén)埃微(wēi)粒對工(gōng)作(zuò)對象(xiàng)的汙(wū)染,內部一(yī)般保持正(zhèng)壓狀(zhuàng)態(tài)。它(tā)適用於(yú)精(jīng)密機(jī)械(xiè)工(gōng)業,電子(zǐ)工業(半(bàn)導體,集成電(diàn)路(lù)等)宇航(háng)工業,高(gāo)純度(dù)化學工業,原子(zǐ)能工(gōng)業(yè),光磁產(chǎn)品工(gōng)業(光盤,膠片,磁帶生產(chǎn))LCD(液(yè)晶(jīng)玻璃),電(diàn)腦硬盤(pán),電腦(nǎo)磁頭(tóu)生(shēng)產(chǎn)等多行(háng)業(yè)。
(2)生(shēng)物無塵(chén)室:是以有生命(mìng)微粒(lì)的控(kòng)製為(wéi)對象。1999年標準(zhǔn)化技(jì)術協(xié)會(huì)公告(gào)發行ISO/TC209通(tōng)用(yòng)標準(zhǔn),將無(wú)塵(chén)室分成(chéng)9個等級,采(cǎi)用(yòng)SI製(zhì)單位,1k級即英(yīng)製(zhì)中的1000級,室內(nèi)環境中1 ft3,0.5um的(dí)微塵(chén)顆粒不超(chāo)過(guò)1000顆。 主(zhǔ)要控製有(yǒu)生(shēng)命微粒(細(xì)菌)與無生(shēng)命(mìng)微粒(lì)(塵埃(āi))對工(gōng)作對象的汙染。
無(wú)塵室又可分為:
A,一般(bān)生物無塵室:主要控(kòng)製微生物(細菌(jūn))對象的汙染(rǎn)。同時(shí)其內部材(cái)料要(yào)能經(jīng)受各種滅菌劑(jì)侵蝕(shí),內部(bù)一般保證(zhèng)正(zhèng)壓。實質上(shàng)其(qí)內部材料要能(néng)經(jīng)受(shòu)各種(zhǒng)滅菌處理(lǐ)的工業(yè)無塵(chén)室。例:製藥工(gōng)業(yè),醫院(yuàn)(手術(shù)室,無(wú)菌病房)食(shí)品,化(huà)妝(zhuāng)品(pǐn),飲料(liào)產品(pǐn)生產,動物實(shí)驗室(shì),理化(huà)檢(jiǎn)驗(yàn)室(shì),血(xiě)站(zhàn)等(děng)。
B,生物(wù)學(xué)安全(quán)無(wú)塵(chén)室:主(zhǔ)要(yào)控(kòng)製(zhì)工作(zuò)對(duì)象(xiàng)的(dí)有生(shēng)命微粒對外(wài)界(jiè)和人的汙(wū)染。內部要保持(chí)與大氣的(dí)負壓。例:細菌學,生物學(xué),潔(jié)淨實驗室(shì),物(wù)物工程(重(zhòng)組基(jī)因,疫苗製備(bèi))。
無塵室zui主要之(zhī)作(zuò)用(yòng)在於(yú)控製(zhì)產品(如矽芯(xīn)片(piàn)等)所接觸(chù)之大(dà)氣的潔淨度日(rì)及溫(wēn)濕度,使產品能(néng)在(zài)一(yī)個(gè)良(liáng)好之環境空(kōng)間(jiān)中(zhōng)生產,製造,此空間我們(mén)稱之(zhī)為無塵室。按(àn)照慣(guàn)例(lì),無(wú)塵淨化(huà)級(jí)別(bié)主(zhǔ)要(yào)是(shì)根據每立(lì)方(fāng)米空氣中粒(lì)子(zǐ)直徑大於劃(huá)分標(biāo)準(zhǔn)的粒子(zǐ)數量(liáng)來規定(dìng)。也就(jiù)是(shì)說所謂無塵(chén)並非100%沒有一點灰塵,而是控(kòng)製在一(yī)個非常微量的(dí)單(dān)位(wèi)上,當(dāng)然(rán)這個標準中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆(kē)粒相(xiāng)對於(yú)我們常(cháng)見(jiàn)的灰(huī)塵已經是小(xiǎo)的微乎其微(wēi),但(dàn)是對(duì)於(yú)光(guāng)學構造而(ér)言(yán),哪怕是一點點的(dí)灰(huī)塵都會產(chǎn)生非常(cháng)大的負麵(miàn)影響,所(suǒ)以在光(guāng)學構造(zào)產(chǎn)品的(dí)生(shēng)產(chǎn)上(shàng),無塵是必然的(dí)要求(qiú)。
每(měi)立方米(mǐ)將小於0.3um粒(lì)徑的微塵(chén)數(shù)量(liáng)控製在3500個以(yǐ)下(xià),就達到(dào)了(liǎo)無塵(chén)標(biāo)準的(dí)*。目前應用在芯片(piàn)級生產加工的無塵標(biāo)準對於(yú)灰塵的要(yào)求高(gāo)於(yú)*,這樣的(dí)高標(biāo)主(zhǔ)要(yào)被(bèi)應用在(zài)一(yī)些等級較高(gāo)芯(xīn)片生產上。5um及(jí)以下(xià)的微(wēi)塵(chén)數量被嚴格(gé)控(kòng)製在每立方米(mǐ)1000個(gè)以內(nèi),這(zhè)也就(jiù)是(shì)業(yè)內俗稱的1K級別。