1，人(rén)工擦(cā)拭法(fǎ)
：即(jí)人(rén)用潔淨室擦布和純(chún)水對(duì)潔淨(jìng)室的地，牆，頂以及家(jiā)具(jù)和設備表麵進行擦(cā)拭。這(zhè)種(zhǒng)清掃方(fāng)法較為*。
2，分散(sàn)式真空吸塵法
：一般此方法(fǎ)隻適用(yòng)於低(dī)級別(bié)（1000級(jí)，10000級(jí)，100,000級）亂(luàn)流潔淨(jìng)室(shì)。方法(fǎ)簡單，靈活(huó)，方便，每(měi)天(tiān)下班(bān)後均(jūn)可采(cǎi)用此方(fāng)法(fǎ)清掃。但(dàn)由於移動(dòng)式(shì)真(zhēn)空(kōng)吸塵(chén)器(qì)內(nèi)的圓(yuán)筒形過濾(lǜ)器的效率比較低（≥99.5%，≥0.5µm），因(yīn)此(cǐ)不(bù)適用在(zài)別的潔淨室。一(yī)般情況500 m²潔(jié)淨室可(kě)設(shè)兩(liǎng)台(tái)吸塵器，每增(zēng)加(jiā)500 m²增(zēng)加一(yī)台(tái)，zui多不(bù)超過(guò)10台。
3，集中式真空吸塵法(fǎ)
：集中式真(zhēn)空(kōng)吸(xī)塵是一(yī)個(gè)由吸(xī)塵口，管網，集(jí)中(zhōng)吸塵泵，除塵器組成(chéng)的係統。吸(xī)塵泵和除(chú)塵(chén)器設(shè)在專門的機房(fáng)內，因噪(zào)聲極大，機(jī)房(fáng)不但(dàn)要(yào)遠離(lí)廠(chǎng)房和(hé)辦公區，而且還要適當(dāng)地作隔(gé)聲消(xiāo)聲(shēng)處(chǔ)理。吸(xī)塵(chén)泵(bèng)應有備(bèi)用不應(yīng)少於(yú)2台。係(xì)統的管道宜用無縫(féng)鋼管焊(hàn)接(jiē)聯接暗裝敷設(shè)。其彎(wān)頭(tóu)曲率(shuài)半(bàn)徑為4 ~ 6d煨彎(wān)不得折(zhē)皺，三(sān)通夾角要小於45º，不(bù)應(yīng)有四(sì)通(tōng)（可由(yóu)2個三(sān)通組合(hé)），水(shuǐ)平管(guǎn)道的坡(pō)度(dù)為3‰，坡向立管(guǎn)和(hé)吸塵(chén)點，拐彎處(chǔ)宜(yí)設(shè)清掃(sǎo)口(kǒu)。係統(tǒng)末端為吸(xī)塵口，平(píng)時(shí)有蓋密封，使(shǐ)用(yòng)時開(kāi)蓋(gài)插入吸塵軟(ruǎn)管進行吸(xī)塵。一(yī)般(bān)吸(xī)塵(chén)軟管(guǎn)作用半徑為8米，每個係統同時工(gōng)作(zuò)的吸(xī)塵口(kǒu)為4~5個，每(měi)個(gè)吸塵口(kǒu)的風量為(wéi)150m³/時(shí)。
集中式(shì)真空(kōng)吸塵不會影(yǐng)響室(shì)內的(dí)潔(jié)淨度，因(yīn)此(cǐ)，集中式真(zhēn)空吸塵方法多用(yòng)在(zài)級(jí)別較高（100級，10級，1級(jí)），麵(miàn)積較大的潔(jié)淨室中(zhōng)。
潔淨(jìng)室的清(qīng)掃(sǎo)製(zhì)度(dù)在一般情(qíng)況下(xià)，每班（每天）小清(qīng)掃一(yī)次；每(měi)周中清掃一(yī)次(cì)，每月(yuè)大清掃一(yī)次。並且要(yào)設專(zhuān)人(rén)負責管理(lǐ)，監督和(hé)檢查。還(huán)要(yào)有一(yī)定(dìng)的(dí)培(péi)訓製(zhì)度。