1，管(guǎn)路係(xì)統(tǒng)的(dí)試運(yùn)轉(zhuǎn)應包括管(guǎn)路(lù)吹掃(sǎo)，氣密性，泄漏(lòu)性試驗(yàn)和純度測試。
2，高純(chún)氣體，特種氣(qì)體供應設施安(ān)裝前，應(yīng)按工(gōng)程(chéng)設(shè)計(jì)文(wén)件(jiàn)和(hé)產品說明(míng)書或合約(yuē)的(dí)要(yào)求，檢查設備（包括填充的純化材料(liào)等），閥(fá)門(mén)和(hé)管件的完整性，密(mì)封(fēng)性，並(bìng)作檢查記錄(lù)。
3，純(chún)化(huà)設(shè)備，特氣(qì)櫃的搬運(yùn)，就位(wèi)應(yīng)符(fú)合(hé)下列規定(dìng)：
（1） 搬入潔(jié)淨(jìng)室(shì)（區(qū)）前，應進行(háng)認(rèn)真的(dí)清(qīng)潔，符合(hé)要求後(hòu)從規定的設備搬入(rù)口(kǒu)運(yùn)入(rù)；
（2） 整體設(shè)備(bèi)搬運(yùn)時，應按設備(bèi)的構造，管道(dào)及閥門等(děng)附(fù)件的(dí)配置狀(zhuàng)況(kuàng)安(ān)全運(yùn)輸，不得倒(dǎo)置(zhì)，並(bìng)可靠固定；
（3）設備就位時，應按(àn)工(gōng)程設計文(wén)件和(hé)產(chǎn)品說明書要(yào)求，準確做(zuò)好(hǎo)接管(guǎn)，接(jiē)綫定位(wèi)；
（4）就位(wèi)後，水，電接口(kǒu)應按工程(chéng)設計文件(jiàn)要(yào)求連接；
（5）氣體管(guǎn)道(dào)接口(kǒu)，應在(zài)分係統(tǒng)的氣(qì)體輸送管道(dào)安裝試運轉(zhuǎn)合(hé)格後(hòu)才(cái)能連(lián)接。
4，高(gāo)純氣(qì)體(tǐ)，特種氣(qì)體(tǐ)係(xì)統的(dí)閥(fá)門(mén)箱(xiāng)，吹(chuī)掃(sǎo)盤的(dí)安裝，應符合(hé)下列(liè)要(yào)求(qiú)：
（1）檢查箱(xiāng)體(tǐ)及(jí)箱(xiāng)內(nèi)閥門，儀(yí)表和附(fù)件的完(wán)整(zhěng)性，密(mì)封性和合格(gé)證書等，並作好記錄；
（2）安裝位置應按工程設(shè)計文件(jiàn)，產(chǎn)品說明(míng)書要求進行，並(bìng)檢(jiǎn)查接(jiē)管(guǎn)，接綫方(fāng)位(wèi)的正確性(xìng)；
（3）氣體(tǐ)管道(dào)接口，應(yīng)在所在係統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合(hé)格後(hòu)才能(néng)連接。
5，高純氣體(tǐ)，特種氣體(tǐ)設施(shī)施(shī)工安(ān)裝試(shì)運轉(zhuǎn)的純(chún)度(dù)測(cè)試(shì)，應(yīng)符(fú)合下(xià)列要(yào)求：
（1）純(chún)度測試介(jiè)質(zhì)，宜(yí)采用工(gōng)作氣(qì)體進行(háng)；
（2）測試(shì)氣體(tǐ)的壓力，宜與輸(shū)送介質的(dí)設計壓力相同；
（3）測試(shì)氣(qì)體的檢(jiǎn)測取樣口(kǒu)或(huò)排(pái)氣接口，應設(shè)在供氣係(xì)統中要(yào)求氣體(tǐ)純度(dù)及(jí)其(qí)雜質(zhì)含量(liáng)zui嚴格且距離(lí)zui長的用氣設備處；
（4）純(chún)度測(cè)試過程(chéng)，取(qǔ)樣(yàng)時(shí)間(jiān)的間隔宜(yí)為(wéi)4h左右(yòu)；氣(qì)體(tǐ)樣(yàng)品應采(cǎi)用與輸(shū)送(sòng)介(jiè)質純(chún)度及允許雜質(zhì)含量相應(yīng)的(dí)精(jīng)度等級的儀(yí)器(qì)進(jìn)行分析；
（5）當測試(shì)氣(qì)體的(dí)進，出口的純度(dù)及其(qí)雜(zá)質含量(liáng)（一(yī)般(bān)以氧痕量(liáng)濃(nóng)度(dù)，水痕量濃(nóng)度(dù)為代(dài)表(biǎo)）一致時(shí)，即認為純(chún)度(dù)測試合(hé)格(gé)。
6，管路係統(tǒng)的試驗應(yīng)符合(hé)下列(liè)要求：
（1）高純氣體，特(tè)種氣(qì)體(tǐ)供(gōng)應設施的強(qiáng)度試(shì)驗(yàn)，氣密性試(shì)驗(yàn)和(hé)泄漏(lòu)量(liáng)試驗及試驗壓(yā)力(lì)，均(jūn)應按(àn)工程設計文件(jiàn)要求(qiú)；
（2）試驗氣體(tǐ)宜(yí)采(cǎi)用(yòng)無(wú)油幹燥(zào)壓(yā)縮(suō)空氣或純(chún)氮或氦氣；試驗(yàn)氣體壓(yā)力(lì)按(àn)規定逐步升至係統(tǒng)強(qiáng)度(dù)試驗壓力後，保持(chí)10min，然後降壓至氣密(mì)性試(shì)驗壓力(lì)，檢(jiǎn)查接(jiē)口，焊縫是否(fǒu)泄(xiè)漏，以不漏(lòu)為合(hé)格；
（3）氣密(mì)性(xìng)試驗(yàn)合格後，進行(háng)泄(xiè)漏量試(shì)驗，試(shì)驗氣(qì)體為(wéi)純氮或(huò)無油幹燥壓縮(suō)空氣時(shí)，係統以(yǐ)設計(jì)壓力保(bǎo)持24h，檢查(chá)泄(xiè)漏率(shuài)不超過(guò)0.5％為(wéi)合(hé)格(gé)。采(cǎi)用氦氣(qì)為試(shì)驗(yàn)氣體時，係統以設計壓力(lì)保持1h，檢查泄漏(lòu)率(shuài)不(bù)超過0.5％為合格。若不(bù)合格，檢(jiǎn)查原因並進(jìn)行*後，再(zài)進(jìn)行泄漏(lòu)量試驗，直至合格為止(zhǐ)；
（4）管(guǎn)路係統的試驗，一般(bān)均不包含(hán)純(chún)化設(shè)備(bèi)，特(tè)氣(qì)櫃(guì)和閥(fá)門(mén)箱等(děng)。
7，管(guǎn)路(lù)吹(chuī)掃應(yīng)符合下列要求：
（1）應(yīng)按(àn)氣體品(pǐn)種，工作參數(shù)分係(xì)統(tǒng)分(fēn)別(bié)進(jìn)行吹(chuī)掃(sǎo)；
（2）管(guǎn)路(lù)係統(tǒng)應采用(yòng)0.3.0.5MPa的(dí)無(wú)油(yóu)幹(gān)燥壓(yā)縮(suō)空氣(qì)或純(chún)氮進行吹(chuī)掃(sǎo)，吹(chuī)掃(sǎo)氣(qì)體應設置過濾(lǜ)精(jīng)度嚴於(yú)0.31tm氣體過濾器(qì)去除(chú)微(wēi)粒(lì)；對(duì)輸(shū)送可燃氣體(tǐ)的管路宜采用純氮吹掃(sǎo)；
（3）在管路係統吹(chuī)掃氣(qì)體(tǐ)排(pái)出口(kǒu)設(shè)靶檢查(chá)，以靶上(shàng)未見(jiàn)微(wēi)粒為(wéi)合格(gé)；對輸(shū)送(sòng)可(kě)燃(rán)氣體的管(guǎn)路(lù)係統，應以(yǐ)排出(chū)口(kǒu)吹(chuī)掃氣體(tǐ)中(zhōng)含氧量(liáng)小於1％為合(hé)格。