潔淨(jìng)室(shì)的四(sì)種類型(xíng)
（1）非單向(xiàng)流(liú)潔淨(jìng)區
（2）單(dān)向(xiàng)流(liú)潔淨區
（3）混(hùn)合(hé)流潔淨區
（4）微環境/隔離(lí)裝置(zhì)
潔淨室(shì)按(àn)氣流型式(shì)過(guò)去(qù)分非單(dān)向(xiàng)流的及單(dān)向流的(dí)（垂直，水平單(dān)向(xiàng)流），90年(nián)代中後期(qī)ISO14644-4中又(yòu)提(tí)出了混合流(liú)的(dí)型式，即(jí)把實(shí)際(jì)早已(yǐ)存在的在非(fēi)單向(xiàng)流潔(jié)淨(jìng)室設(shè)置局(jú)部的單向流(liú)的潔淨(jìng)工作(zuò)台/站(zhàn)或(huò)層(céng)流(liú)罩(zhào)等(děng)對關(guān)鍵(jiàn)部(bù)位進(jìn)行(háng)“點”的(dí)“綫”的保(bǎo)護(hù)以(yǐ)減少單向(xiàng)流潔淨區(qū)的麵積(jī)。如手(shǒu)術(shù)室，製(zhì)藥(yào)廠(chǎng)，實(shí)驗室及小(xiǎo)批量(liáng)生(shēng)產的潔(jié)淨室中尚(shàng)采用這種“點”的保護。而半導體工廠(chǎng)常采(cǎi)用(yòng)“潔淨隧道(dào)”形式形(xíng)成“綫”的保護(hù)，即把較多(duō)工序的各台(tái)設(shè)備的關(guān)鍵加工(gōng)區置(zhì)於(yú)非單向流(liú)潔淨(jìng)室(shì)的(dí)層流罩內(nèi)，各台(tái)設備的(dí)關鍵加(jiā)工區(qū)一般都(dū)麵(miàn)對(duì)布(bù)置。微環(huán)境(jìng)/隔(gé)離裝(zhuāng)置，是80年代出現的，90年代(dài)以後(hòu)應用(yòng)逐漸(jiàn)廣(guǎng)泛(fàn)，它(tā)與(yǔ)潔(jié)淨(jìng)室(shì)的概(gài)念是(shì)不(bù)*相(xiāng)同的(dí)，它(tā)是(shì)無(wú)人在(zài)內的，是工藝(yì)加(jiā)工設(shè)備的關(guān)鍵(jiàn)加工部(bù)位*與(yǔ)周(zhōu)圍環(huán)境(jìng)隔(gé)離(lí)並進行加(jiā)工(gōng)，防(fáng)止(zhǐ)人等(děng)周(zhōu)圍(wéi)環(huán)境對其(qí)加工(gōng)的汙染。它(tā)必(bì)須是密切與工藝及工藝(yì)設(shè)備相結(jié)合(hé)的，實質(zhì)上(shàng)它已成為(wéi)工藝(yì)設備(bèi)的(dí)一個(gè)組成(chéng)部分。