1 ，概述
壓(yā)差(chà)控(kòng)製在(zài)淨化(huà)空調係統(tǒng)中是一個(gè)非(fēi)常(cháng)重要(yào)的(dí)環節。隻有通(tōng)過(guò)對淨(jìng)化區(qū)域的(dí)壓差進行控(kòng)製，保證(zhèng)合理的(dí)氣流(liú)組(zǔ)織(zhī)，才(cái)能達到淨(jìng)化和工藝的(dí)要(yào)求。例(lì)如(rú)潔淨廠房必(bì)須保(bǎo)持一定的(dí)正(zhèng)壓(yā)使(shǐ)外界未經淨化(huà)的空氣不(bù)會(huì)進人淨化(huà)區(qū)域(yù)，保(bǎo)證(zhèng)潔(jié)淨(jìng)級別(bié);並且通過對(duì)各淨(jìng)化(huà)區域的(dí)不同的壓差控製(zhì)，達到(dào)淨化(huà)分區的(dí)作(zuò)用(yòng)，在GMP中(zhōng)就要(yào)求(qiú)不同(tóng)淨(jìng)化(huà)級別(bié)區域的壓(yā)差應得(dé)到(dào)控(kòng)製不小於(yú)+5Pa。在生(shēng)物(wù)安全(quán)潔(jié)淨室中(zhōng)，壓差(chà)控製更是(shì)保證安(ān)全(quán)防(fáng)護屏障(zhàng)的關鍵指(zhǐ)標(biāo)，在《生物(wù)安全實(shí)驗(yàn)室建(jiàn)築技術(shù)規範》中指(zhǐ)出(chū)必(bì)須(xū)使(shǐ)實驗室(shì)的負(fù)壓梯度(dù)得(dé)到穩定可靠的控製。因(yīn)此對於淨化空調係統來說(shuō)，壓差(chà)控製是非常重(zhòng)要的。壓(yā)差控(kòng)製在實現中(zhōng)是比較(jiào)困難，特別(bié)是(shì)在生(shēng)物(wù)安(ān)全實驗室中，要得到並保持(chí)，穩(wěn)定的壓差(chà)對(duì)於控(kòng)製(zhì)工(gōng)程師而言是一件具有(yǒu)挑(tiāo)戰(zhàn)性的任務(wù)。因(yīn)此(cǐ)在(zài)設(shè)計壓(yā)差(chà)控製係統時，必須要(yào)根(gēn)據(jù)實(shí)際情況從以下幾個方(fāng)麵進行分析(xī)和確定：①風(fēng)險分析評估；②定風(fēng)量係(xì)統和(hé)變風量係(xì)統(tǒng)選(xuǎn)擇；③壓差控製和餘(yú)風(fēng)量(liáng)控(kòng)製方法；④控(kòng)製信號(hào)與(yǔ)噪聲(shēng)的影(yǐng)響；⑤製(zhì)穩(wěn)定(dìng)性及響(xiǎng)應速(sù)度(dù)；⑥建(jiàn)築結(jié)構對(duì)壓差(chà)控製(zhì)的(dí)影響(xiǎng)；風管泄漏(lòu)對(duì)壓力(lì)控製(zhì)的(dí)影響。首先，必須對壓(yā)差控製的(dí)風險進(jìn)行分析(xī)，例(lì)如(rú)對(duì)於(yú)高(gāo)等級的生物(wù)安(ān)全實(shí)驗室(shì)而(ér)言(yán)，因為它有生物(wù)汙染的高(gāo)風險(xiǎn)，各(gè)種(zhǒng)相關的標(biāo)準都對其有保持(chí)穩定(dìng)負壓(yā)梯度(dù)防(fáng)止(zhǐ)汙染(rǎn)泄(xiè)漏的嚴格要求，因此控(kòng)製係(xì)統(tǒng)就必(bì)須(xū)能夠(gòu)穩定(dìng)可靠的實現(xiàn)這樣(yàng)的控製目標。
2，壓差控製方(fāng)法
對於壓差控(kòng)製係(xì)統(tǒng)來說，其所(suǒ)達到(dào)的結果實(shí)質(zhì)上(shàng)是(shì)對滲人或滲(shèn)出空氣的控製，就其(qí)控製策略(lüè)而言(yán)可(kě)分(fēn)為被(bèi)動(dòng)式和主動(dòng)式控(kòng)製。定(dìng)風量(liáng)（CAV）是一(yī)種(zhǒng)被(bèi)動式(shì)的(dí)控(kòng)製方(fāng)法，它使用(yòng)手(shǒu)動風量(liáng)調(tiáo)節(jié)閥，通過(guò)簡(jiǎn)單的(dí)送(sòng)風和(hé)排(pái)風平衡(héng)，送(sòng)風(fēng)比排風少（或多）一定(dìng)的量(liáng)（餘(yú)風量(liáng)），來達到(dào)所期望(wàng)的(dí)壓(yā)差(chà)。在選擇定(dìng)風量這樣(yàng)的控製策(cè)略時(shí)必(bì)須認(rèn)真(zhēn)的考慮(lǜ)，因(yīn)為定風量係統(tǒng)有突(tū)出(chū)的局限性。主要有以下幾點：
（1）所有(yǒu)時(shí)間(jiān)，設備必(bì)須(xū)保(bǎo)持恒定(dìng)的送風(fēng)量和(hé)排風(fēng)量。
（2）不(bù)能有任(rèn)何(hé)排(pái)風(fēng)設備（如生物安(ān)全(quán)櫃(guì)等(děng)）增加或減少，靈活(huó)性差。未(wèi)來的擴展會由於係統容(róng)量(liáng)限(xiàn)製而受限。
（3）必(bì)須按(àn)全(quán)負荷設(shè)計，要有(yǒu)較大的(dí)餘(yú)量來彌(mí)補由於過(guò)濾(lǜ)器等造(zào)成的送(sòng)風(fēng)和(hé)排風(fēng)係統(tǒng)性(xìng)能的(dí)下(xià)降(jiàng)，連續(xù)的(dí)全負(fù)荷運行使能耗極大，因(yīn)此運行成(chéng)本非常高(gāo)。
（4）由於風機係統(tǒng)，過濾器係統(tǒng)等(děng)性能(néng)下降或風(fēng)閥(fá)位(wèi)置改(gǎi)變等情(qíng)況(kuàng)下，係統(tǒng)經常要(yào)重新進行風(fēng)平衡調試，需(xū)要大量的維護(hù)。
（5）由(yóu)於(yú)在所有時(shí)間都(dū)是大(dà)風量運(yùn)行，噪音(yīn)會過(guò)高。因(yīn)此如(rú)果不(bù)能接受以上(shàng)的(dí)局限性時(shí)，就不應選(xuǎn)取這樣的控(kòng)製(zhì)策略。 目(mù)前 ，通(tōng)過在送(sòng)風管(guǎn)和排(pái)風管(guǎn)上采(cǎi)用(yòng)壓力(lì)無關(guān)型(xíng)的定風量控製裝置(zhì)（如(rú)文丘裏閥）的(dí)定風量(liáng)係統，在一定(dìng)程(chéng)度(dù)上可以主動的，動態的調節流(liú)量，消(xiāo)除係(xì)統靜壓波動造(zào)成的(dí)對流量(liáng)的(dí)影響(xiǎng)，從(cóng)而保(bǎo)證(zhèng)流(liú)量(liáng)的恒(héng)定和控製的穩(wěn)定(dìng)。變風量(liáng)係(xì)統（VAV）是(shì)一種(zhǒng)主(zhǔ)動(dòng)式的壓力(lì)控(kòng)製(zhì)策略(lüè)，它通過電(diàn)動(dòng)風量調節閥連續不(bù)斷的對送風量或排(pái)風(fēng)量進行調(tiáo)節，以保(bǎo)持希望的壓(yā)力(lì)。
2.1 ，純壓差控製方法：純壓差控製(zhì)方法相對而言(yán)簡(jiǎn)單(dān)明了(liǎo)。其控製原(yuán)理(lǐ)為：壓差傳(chuán)感(gǎn)器(qì)測量室(shì)內與參(cān)照(zhào)區(qū)域(yù)的壓差（OP），與(yǔ)設定點(diǎn)（即期望(wàng)的壓差）比較(jiào)後，控(kòng)製器(qì)根據偏差(chà)按PID調節算法對(duì)送風量（或(huò)排(pái)風量）進(jìn)行控製，從(cóng)而達到(dào)要求的(dí)壓差。可以看出(chū)，送風量(liáng)（或(huò)排(pái)風(fēng)量）是壓差(chà)（Δp），設定點(diǎn)以(yǐ)及(jí)PID常數（α，β）的函(hán)數。另(lìng)外一(yī)種相(xiāng)似的壓(yā)差控(kòng)製方法則(zé)是根據伯(bó)努(nǔ)利(lì)原(yuán)理，利(lì)用一個(gè)裝(zhuāng)在小管內的風速探頭，將小(xiǎo)管(guǎn)置於(yú)潔(jié)淨室與(yǔ)參照區(qū)之間的(dí)開(kāi)孔(kǒng)中，由(yóu)於(yú)潔(jié)淨(jìng)室內與參照區的壓力(lì)差將(jiāng)使空(kōng)氣從此小管(guǎn)中流(liú)過(guò)，管中的風速探(tàn)頭就(jiù)可(kě)傳感潔淨室內(nèi)與參照(zhào)區(qū)之間的(dí)空氣流(liú)速，從而(ér)根據伯(bó)努(nǔ)利原理利用風(fēng)速(sù)計(jì)算(suàn) 出潔淨(jìng)室與參照區(qū)的壓(yā)差(chà)，根(gēn)據此(cǐ)壓(yā)差信(xìn)號(hào)，按照上(shàng)述(shù)的方(fāng)法，控製器對(duì)潔(jié)淨室(shì)的(dí)送風或排風(fēng)量進行控(kòng)製，達到所期(qī)望(wàng)的壓差(chà)值(zhí)，這(zhè)樣的方法稱(chēng)為“偽壓差”控製方(fāng)法。
2.2 ，餘(yú)風量（氣(qì)流(liú)追蹤）控製方法：潔(jié)淨室(shì)的送風(fēng)量(liáng)與排(pái)風量之間(jiān)保(bǎo)持(chí)一(yī)定的風(fēng)量差（稱為餘(yú)風(fēng)量），必然(rán)會導致潔淨(jìng)室產(chǎn)生(shēng)一定(dìng)的壓(yā)差。餘風量(liáng)（氣流(liú)追(zhuī)蹤(zōng)）控(kòng)製(zhì)即(jí)控製(zhì)係統實(shí)時(shí)測(cè)量風量（送風和排風(fēng)量(liáng)）變(biàn)化，通過調節送風(fēng)量或排風(fēng)量，動(dòng)態的達(dá)到相(xiāng)應的(dí)風(fēng)量(liáng)平衡，使送風量和(hé)排(pái)風(fēng)量(liáng)之間(jiān)保持(chí)恒(héng)定(dìng)的風量差(chà)，從而維持恒(héng)定(dìng)的(dí)壓差。
控(kòng)製(zhì)係(xì)統利(lì)用氣流測量裝置實(shí)時測(cè)量(liáng)送風量(liáng)和排(pái)風(fēng)量(liáng)，排(pái)風量可(kě)以在排風(fēng)主管上測(cè)量，或如(rú)圖中在各個單(dān)獨的(dí)排風上進(jìn)行測(cè)量並(bìng)求(qiú)和(hé)，控製(zhì)器據此(cǐ)調節(jié)送風量，使其追(zhuī)蹤排風量(liáng)的變(biàn)化(huà)，保(bǎo)持一(yī)定的餘(yú)風量，從(cóng)而達到所(suǒ)希(xī)望(wàng)的(dí)壓(yā)差(chà)值。可以(yǐ)看出(chū)餘(yú)風量控製(zhì)是一個開(kāi)環控製(zhì)係統(tǒng)。在這裏，餘風量就是達(dá)到所希望壓(yā)差時滲人或(huò)滲(shèn)出潔淨室(shì)的空氣(qì)流量(liáng)（單位(wèi)為(wéi)CFM ）。負(fù)的餘(yú)風量(liáng)即總(zǒng)排風量(liáng)大(dà)於總送(sòng)風量(liáng)，它(tā)將導(dǎo)致負壓(yā)的(dí)產生(shēng)，而正的餘風量(liáng)則(zé)是總(zǒng)送風量大(dà)於總(zǒng)排風(fēng)量(liáng)，它將導(dǎo)致(zhì)正(zhèng)壓產生。在圖2中(zhōng)的風量等式中(zhōng)，餘風量是定(dìng)值。但(dàn)在(zài)實際(jì)情況(kuàng)下(xià)，它(tā)是(shì)變(biàn)化(huà)的，例(lì)如當流(liú)量(liáng)傳(chuán)感器(qì)發(fā)生偏移時(shí)，實(shí)際(jì)的餘(yú)風(fēng)量(liáng)也將(jiāng)發生變化(huà)。因此，應(yīng)該考慮選擇(zé)足夠(gòu)大的餘風(fēng)量(liáng)來(lái)彌補由於(yú)圍(wéi)護(hù)結(jié)構(gòu)氣(qì)密程度，風(fēng)管(guǎn)泄漏(lòu)以及流量測量裝(zhuāng)置精(jīng)度(dù)誤(wù)差(chà)等(děng)造(zào)成的影響(xiǎng)。上述(shù)的兩種壓差(chà)控製(zhì)方法，在實際(jì)運用中(zhōng)都(dū)必(bì)須按照預定的頻(pín)率進(jìn)行驗證。例如(rú)對(duì)餘風量(liáng)控製，每半年就應(yīng)該進(jìn)行對設(shè)定(dìng)的(dí)餘風(fēng)量(liáng)進(jìn)行校正(zhèng)。
2.3 ，混(hùn)合控(kòng)製係(xì)統：由於生物安全等級3或(huò)4級的生(shēng)物安全實(shí)驗(yàn)室的研(yán)究(jiū)和(hé)實驗對象(xiàng)非常危險(xiǎn)，實(shí)驗(yàn)室的(dí)壓差控(kòng)製以及氣(qì)流方向控(kòng)製(zhì)更加重(zhòng)要(yào)，必須(xū)確保(bǎo)壓差(chà)和(hé)氣(qì)流方(fāng)向得(dé)到穩(wěn)定可靠的控製(zhì)。對(duì)於這樣(yàng)壓差控製非常關鍵(jiàn)的地方，采(cǎi)用純(chún)壓(yā)差控製和餘風(fēng)量(liáng)控(kòng)製(zhì)兩種方(fāng)法(fǎ)，混(hùn)合(hé)的(dí)控製係統(tǒng)是(shì)很(hěn)好(hǎo)的選擇，它可以(yǐ)確保對(duì)實驗室壓差(chà)穩(wěn)定(dìng)可(kě)靠(kào)的(dí)控(kòng)製(zhì)。通常(cháng)的做(zuò)法(fǎ)是采(cǎi)用餘風(fēng)量(liáng)控製作(zuò)為基(jī)本控製方(fāng)法(fǎ)，同(tóng)時加人壓差(chà)傳(chuán)感器(qì)和(hé)控(kòng)製器(qì)對(duì)餘風量控製(zhì)係(xì)統的餘風量(liáng)進(jìn)行設定。當(dāng)房(fáng)間特(tè)性發(fā)生(shēng)變化時，如(rú)風管(guǎn)的泄漏以(yǐ)及(jí)圍護結構(gòu)的(dí)氣密(mì)性(xìng)等發生(shēng)變化，餘(yú)風(fēng)量也會發生(shēng)變化(huà)（通常(cháng)是變(biàn)大），此時壓差控(kòng)製(zhì)係統可(kě)以動態的(dí) 計(jì)算 出一個(gè)合(hé)適的(dí)餘風量，以(yǐ)保(bǎo)持穩(wěn)定的(dí)壓(yā)差(chà)控(kòng)製。同時，一(yī)旦餘風(fēng)量增加(jiā)到(dào)一(yī)個預定值時(shí)，係統將發出(chū)報(bào)警，此時可(kě)能需要(yào)對流量(liáng)測(cè)量(liáng)裝置進(jìn)行(háng)校正，或(huò)者對(duì)風(fēng)管(guǎn)和圍護(hù)結構(gòu)的泄漏(lòu)進行處理，使(shǐ)係(xì)統狀態回(huí)到正(zhèng)常(cháng)範(fàn)圍內(nèi)。因此(cǐ)這(zhè)樣(yàng)的係(xì)統(tǒng)可(kě)以(yǐ)通過對餘風量(liáng)的監視實現(xiàn)對整個實驗室(shì)的控(kòng)製(zhì)係(xì)統(tǒng)，風(fēng)管係統，圍護結(jié)構(gòu)完整性(xìng)的監(jiān)視。
3，穩定(dìng)性(xìng)與響應速度
一(yī)般(bān)建(jiàn)築技術構成的房間，它(tā)能夠(gòu)達到的控製(zhì)壓差約為2. 5Pa，對(duì)於測(cè)量來說(shuō)這(zhè)是一(yī)個非常小的(dí)壓(yā)差(chà)（信號），同樣(yàng)對(duì)於(yú)測量傳感(gǎn)器(qì)的校正來說也是非常(cháng)困難(nán)的(dí)。由(yóu)於門(mén)的(dí)開關，生物(wù)安全櫃調節(jié)門(mén)的移動，人員(yuán)的運動等(děng)很(hěn)多(duō)因(yīn)素造(zào)成(chéng)的(dí)擾(rǎo)動(dòng)（噪聲）約(yuē)可達到25Pa。因此(cǐ)對於(yú)純(chún)壓差控(kòng)製而(ér)言，其(qí)測(cè)量信(xìn)號(hào)與(yǔ)噪(zào)聲之(zhī)比為1:10。這樣的(dí)情形(xíng)就如同(tóng)測(cè)量一個湖(hú)泊(bó)的液(yè)位(wèi)，要(yào)求(qiú)精度(dù)在(zài)1厘(lí)米，而湖泊(bó)的(dí)波浪(làng)卻有(yǒu)10厘(lí)米(mǐ)高，如果(guǒ)希(xī)望(wàng)得到(dào)的測量值，就(jiù)需要很長(cháng)的(dí)時間(jiān)來平均(jūn)波(bō)峰(fēng)和波穀。在這(zhè)樣的情況下(xià)，如(rú)果希(xī)望快速的響(xiǎng)應(yīng)就不(bù)可能保證(zhèng)精(jīng)度，精(jīng)度(dù)與速(sù)度（或響應時間）是(shì)矛(máo)盾的。對(duì)於純(chún)壓差控製(zhì)係統(tǒng)，響應時間一般(bān)要(yào)求在數分(fēn)鐘(zhōng)以內。因(yīn)此(cǐ)，很多(duō)這(zhè)樣的控製係統(tǒng)都是(shì)犧(xī)牲(shēng)穩(wěn)定(dìng)性來達到響(xiǎng)應時間(jiān)的要(yào)求，它(tā)在達到(dào)穩(wěn)定控製(zhì)之(zhī)前需要在設定點(diǎn)附(fù)近(jìn)波動(dòng)相(xiāng)當長的時間。不(bù)幸的是，係(xì)統達(dá)到(dào)穩定控製(zhì)的時間往往比擾動(dòng)發生的頻(pín)率長(cháng)，因(yīn)此係統可(kě)能整天都(dū)在(zài)波動，直(zhí)到人員下班(bān)，工作(zuò)結束，不再有(yǒu)擾動發生(shēng)，係統才能(néng)夠達(dá)到穩(wěn)定(dìng)狀(zhuàng)態(tài)。對(duì)於(yú)“偽壓差”控製係統，其測(cè)量(liáng)對象是空氣流(liú)速，它相(xiāng)對於純壓差(chà)控(kòng)製更(gēng)穩(wěn)定，更快速一些，因為(wéi)流速(sù)信號(hào)和噪(zào)音信(xìn)號(hào)是(shì)與動壓(yā)的(dí)開平方成(chéng)比例關係，它(tā)大(dà)約能夠把信號(hào)與(yǔ)噪聲比提高到1:3。可以看(kàn)出(chū)，測(cè)量(liáng)對象(xiàng)的(dí)簡單改變就可以大(dà)大改(gǎi)善(shàn)係(xì)統的(dí)J性能(néng)。然而(ér)，即(jí)便如此(cǐ)，噪(zào)音依然達到了(liǎo)信(xìn)號的(dí)3倍(bèi)，當擾動發生(shēng)後，控製係(xì)統仍需(xū)要(yào)超(chāo)過60秒(miǎo)以上的(dí)時間達(dá)到穩定輸出(chū)。需(xū)要注(zhù)意的是，由於測(cè)量氣流速(sù)度需(xū)要(yào)在房間與(yǔ)參照區域開孔(kǒng)，因(yīn)此(cǐ)這(zhè)樣(yàng)的控製係(xì)統(tǒng)對於很多(duō)場(cháng)合(hé)的應用(yòng) 是不(bù)允許的，例如(rú)對潔(jié)淨度(dù)有較高(gāo)要求的場合(hé)，或高等(děng)級(jí)的生(shēng)物(wù)安(ān)全(quán)實(shí)驗(yàn)室也不應使用(yòng)。對(duì)於(yú)壓差和“偽壓差(chà)”係統來(lái)說，在(zài)某些條(tiáo)件(jiàn)下會(huì)造成嚴(yán)重(zhòng)的(dí)壓力 問題 ，如(rú)在進(jìn)行(háng)負壓(yā)控(kòng)製時，當(dāng)潔淨室(shì)門(mén)打開時(shí)，所(suǒ)有的測(cè)量(liáng)信號如壓差和(hé)流速都會(huì)消(xiāo)失。雖然(rán)一(yī)些控製器(qì)有按(àn)照(zhào)預(yù)定時間鎖(suǒ)定(dìng)輸(shū)出(chū)的功能(néng)來彌補(bǔ)這樣(yàng)的(dí)問題。然而，當門(mén)長時間打開時，壓(yā)力控(kòng)製係(xì)統就(jiù)會關(guān)閉送風，以便使(shǐ)房間回(huí)到負(fù)壓的(dí)設定點。此時，空(kōng)氣(qì)將會從過道（或(huò)相鄰區域）被(bèi)吸(xī)人(rén)打(dǎ)開的房(fáng)間，過(guò)道（或相鄰區(qū)域(yù)）的壓(yā)力(lì)必然(rán)下(xià)降(jiàng)。而(ér)如果(guǒ)其他潔淨室(shì)也(yě)是使用過(guò)道（或(huò)相(xiāng)鄰(lín)區域）作為壓(yā)差(chà)參照(zhào)點，那麼(mó)其(qí)他(tā)潔(jié)淨室(shì)的壓(yā)差(chà)控製(zhì)器也(yě)將(jiāng)關(guān)閉送(sòng)風，由(yóu)此(cǐ)發生(shēng)連(lián)鎖(suǒ)反(fǎn)應，更多(duō)的空氣被從(cóng)過道(dào)（或相(xiāng)鄰區域(yù)）吸入(rù)潔淨室(shì)排走，測(cè)量(liáng)壓差(chà)值一直不(bù)能達到設定，而實(shí)際(jì)壓(yā)力(lì)卻在(zài)不斷下降。同樣(yàng)對於正壓(yā)控製(zhì)也(yě)會(huì)產生類(lèi)似(sì)的問題(tí)。可(kě)以想(xiǎng)像(xiàng)，這將(jiāng)會造成(chéng)整個(gè)潔(jié)淨室(shì)嚴(yán)重(zhòng)的壓(yā)力問(wèn)題。當(dāng)然，對(duì)於(yú)那(nà)些(xiē)不要(yào)求嚴(yán)格房間壓(yā)差控製(zhì)，或風(fēng)險評(píng)估(gū)對穩(wěn)定時間以(yǐ)及穩(wěn)定性(xìng)沒(méi)有(yǒu)較高(gāo)要求(qiú)的設(shè)施，並(bìng)在(zài)HVAC係(xì)統設計中(zhōng)采取了措(cuò)施(shī)（如(rú)采用(yòng)雙(shuāng)門互(hù)鎖的緩衝間進行(háng)隔離）能(néng)夠避免如上述問(wèn)題(tí)發生(shēng)的(dí)情況(kuàng)下(xià)，采用純壓(yā)差控製(zhì)也是可行的。相對(duì)而言，餘風量(liáng)（或流(liú)量追(zhuī)蹤）控製(zhì)係統的(dí)信號測量(liáng)是采用流(liú)量(liáng)測量裝置對送風量和排風(fēng)量進行測量。而(ér)送(sòng)風(fēng)量和(hé)排風量通(tōng)常都是(shì)比較大(dà)的測(cè)量值(zhí)，在這(zhè)樣(yàng)的情(qíng)況下，例(lì)如信號(hào)測(cè)量(liáng)為(wéi)1000CFM，而(ér)噪(zào)聲(shēng)（各(gè)種(zhǒng)擾(rǎo)動(dòng)）約能達(dá)到1000FM，信號噪聲(shēng)比可以(yǐ)高(gāo)達10 : 1。因此，在這樣的(dí)情況(kuàng)下，係統可(kě)以(yǐ)達到(dào)很(hěn)高的精(jīng)度，很(hěn)高(gāo)的穩定性(xìng)以及非(fēi)常(cháng)迅速(sù)的響應(yīng)。因(yīn)此在對(duì)壓(yā)差控製有(yǒu)較高要求(qiú)的(dí)運(yùn)用中(zhōng)，通常都推薦或要(yào)求使用(yòng)這(zhè)樣的(dí)控(kòng)製方法(fǎ)。對於餘(yú)風量(liáng)控(kòng)製係(xì)統來說，流量測(cè)量裝(zhuāng)置是影(yǐng)響 係統(tǒng)性能的(dí)關鍵裝(zhuāng)置(zhì)。一(yī)般(bān)常(cháng)用的流量測量裝置(zhì)為風(fēng)速(sù)傳感器(qì)陣(zhèn)列(liè)和畢(bì)托管陣列(liè)。這樣(yàng)的(dí)流(liú)量(liáng)測量(liáng)裝置(zhì)有很(hěn)高(gāo)的精度(dù).然(rán)而(ér)一(yī)旦有顆粒附著(zhuó)或堵塞在(zài)傳感(gǎn)器上，或(huò)傳(chuán)感器受到腐(fǔ)蝕(shí)的(dí)影(yǐng)響時，其(qí)測量就(jiù)會發(fā)生很大(dà)的偏差(chà)。對(duì)於(yú)畢托管(guǎn)陣列，還必(bì)須注意(yì)其(qí)在(zài)低風速時有很大(dà)的(dí)測(cè)量誤差，所以應考(kǎo)慮(lǜ)其應用(yòng)範圍。流量(liáng)測量裝置的(dí)安裝(zhuāng)位置同(tóng)樣(yàng)也需(xū)要(yào)嚴格(gé)按照其(qí)技術規(guī)格(gé)的(dí)說明(míng)進(jìn)行選(xuǎn)擇(zé)，否則(zé)同樣會(huì)造成(chéng)測量的誤(wù)差。另外，在(zài)目(mù)前 有一類流量控製裝(zhuāng)置出現在(zài)很多運用(yòng)中(zhōng)。它是一(yī)種綫(xiàn)性(xìng)的，壓力無關(guān)的(dí)風量調(tiáo)節閥，能(néng)夠根據(jù)閥門位(wèi)置提(tí)供相應(yīng)流(liú)量反饋信號（例如文(wén)丘裏(lǐ)閥(fá)），其標定和(hé)校正在(zài)出廠(chǎng)時(shí)已(yǐ)經由專(zhuān)業供貨商完(wán)成。相對於單(dān)純的流量測量裝置(zhì)，這(zhè)種(zhǒng)裝(zhuāng)置功(gōng)能更(gēng)加(jiā)的集成，它(tā)在(zài)進行流量(liáng)控(kòng)製(zhì)的同時能(néng)夠(gòu)進行流(liú)量(liáng)測量(liáng)。在(zài)實(shí)際使用(yòng)時(shí)，這種壓力無關(guān)裝(zhuāng)置的流(liú)量反饋精(jīng)度(dù)，一般采用(yòng)備份的流(liú)量(liáng)測(cè)量裝置(zhì)進(jìn)行(háng)驗證(zhèng)。當(dāng)前這樣(yàng)的壓力無關型風量(liáng)調(tiáo)節閥(fá)，已(yǐ)經在(zài)很多(duō)要求(qiú)較高(gāo)壓差控(kòng)製中取(qǔ)得了(liǎo)成功(gōng)的應(yīng)用。
4，影(yǐng)響(xiǎng)壓差(chà)控製的其他因素(sù)
建(jiàn)築(zhù)技(jì)術(shù)對壓(yā)差(chà)控製的性能和效果(guǒ)有很大的(dí)影響(xiǎng)，不(bù)密閉的圍護結(jié)構(gòu)很難建(jiàn)立起穩定的壓力(lì)梯度。它需要有很大(dà)的餘風量(liáng)才(cái)能彌補(bǔ)很多(duō)的泄(xiè)漏，當使用(yòng)很大的(dí)餘(yú)風量(liáng)時，將向(xiàng)相鄰(lín)空間中(zhōng)抽取（或排(pái)出(chū)）大量(liáng)的二次空氣，因(yīn)此(cǐ)可能(néng)會(huì)造成溫(wēn)度(dù)，濕(shī)度控製(zhì)的(dí)問(wèn)題。因此(cǐ)必須使潔淨室有(yǒu)一(yī)個(gè)密閉的圍護(hù)結(jié)構，才(cái)能保(bǎo)證(zhèng)相應的壓差和(hé)合(hé)理的(dí)氣流方(fāng)向。風管(guǎn)的(dí)泄漏(lòu)也會對(duì)餘風量控製的(dí)精度(dù)和性能(néng)造成(chéng)影響。如果(guǒ)在(zài)流(liú)量(liáng)測量裝(zhuāng)置(zhì)和潔(jié)淨室(shì)圍護(hù)結構(gòu)之間(jiān)，有(yǒu)空(kōng)氣泄(xiè)漏出風管或(huò)進(jìn)人風(fēng)管，將會造成(chéng)流量測量(liáng)的(dí)誤差從而引(yǐn)起壓力控製顯著的偏(piān)差(chà)。如果(guǒ)是(shì)在定壓係統(tǒng)中，這個(gè)誤(wù)差(chà)相對(duì)恒定;但如果係統(tǒng)的靜(jìng)壓(yā)是(shì)波(bō)動的(dí)，這個誤差也將會波動，因(yīn)此控(kòng)製係(xì)統(tǒng)非(fēi)常(cháng)難(nán)以(yǐ)采取(qǔ)技(jì)術(shù)措施(shī)消(xiāo)除這樣(yàng)的誤(wù)差，從(cóng)而造(zào)成(chéng)控(kòng)製(zhì)性能的惡(è)化。因(yīn)此，必須要(yào)求對送風(fēng)和(hé)排(pái)風(fēng)管(guǎn)道進(jìn)行(háng)泄漏(lòu)檢(jiǎn)測，允許的zui大泄漏率zui大不(bù)應超過0.5。