潔淨室要獲得良好(hǎo)的(dí)潔淨效(xiào)果，不(bù)僅要(yào)著重采取合理的空(kōng)調淨化(huà)措(cuò)施(shī)，而且也要求工藝(yì)，建(jiàn)築及(jí)其他(tā)專(zhuān)業采取相應(yīng)的措施：不但要(yào)有合(hé)理(lǐ)的設計，而(ér)且還要精心的符(fú)合規範的施工(gōng)安裝，以(yǐ)及(jí)正確(què)的使用潔淨(jìng)室和科學的維護管理。為使潔(jié)淨室(shì)獲得良好(hǎo)的(dí)效果(guǒ)，國(guó)內(nèi)外已有(yǒu)不少文獻從不同的角(jiǎo)度作過闡(chǎn)述(shù)。實際(jì)上(shàng)，不同(tóng)專業(yè)之(zhī)間很難做(zuò)到理想(xiǎng)地配(pèi)合(hé)，而且設計者(zhě)很難(nán)把(bǎ)握施工安裝質量以(yǐ)及使(shǐ)用和管(guǎn)理情(qíng)況，尤其(qí)後(hòu)者(zhě)。就潔(jié)淨(jìng)室(shì)淨(jìng)化(huà)措施(shī)而言，許(xǔ)多設(shè)計者，或(huò)者還有施(shī)工(gōng)方，往(wǎng)往對(duì)其(qí)必(bì)要(yào)條件未予(yú)足(zú)夠(gòu)重視(shì)，造成潔淨(jìng)效果(guǒ)不理想。本(běn)文僅(jǐn)就潔(jié)淨室(shì)淨化(huà)措施中(zhōng)達(dá)到潔(jié)淨度要求的(dí)四個(gè)必要(yào)條(tiáo)件(jiàn)簡(jiǎn)要論(lùn)述。
一，送風(fēng)潔淨度
要保證送(sòng)風(fēng)潔淨度符(fú)合(hé)要(yào)求(qiú)，關鍵是淨化(huà)係(xì)統末級(jí)過濾器(qì)的性能和安(ān)裝。
淨化係統末級(jí)過(guò)濾(lǜ)器一(yī)般采用(yòng)過濾器或亞過濾器。按我國標準(zhǔn)規(guī)定過(guò)濾器效率(shuài)分四檔：A類為≥99.9%，B類為(wéi)≥99.9%，C類(lèi)為≥99.999%，D類(lèi)為(wéi)（對≥0.1μm粒(lì)子）≥99.999%（亦稱(chēng)超(chāo)過(guò)濾(lǜ)器）；亞過濾器為（對≥0.5μm粒(lì)子）95~99.9%。效率越(yuè)高，過(guò)濾器(qì)的價(jià)格也越貴(guì)。所以選擇(zé)過濾(lǜ)器時應本著(zhuó)既要滿足(zú)送(sòng)風潔淨度(dù)要求，又(yòu)要考(kǎo)慮(lǜ)經濟合理(lǐ)。從(cóng)潔淨(jìng)度(dù)要(yào)求(qiú)考(kǎo)慮，以(yǐ)低級別潔(jié)淨室選用低(dī)性能過(guò)濾器(qì)，別潔(jié)淨(jìng)室(shì)選用(yòng)高性能(néng)過(guò)濾器為原則。一(yī)般說(shuō)來(lái)：100萬級可選用高(gāo)中(zhōng)效(xiào)過濾(lǜ)器；低於(yú)1萬級可選用亞或(huò)A類過濾器；1萬~100級選(xuǎn)用B類過(guò)濾(lǜ)器；100~1級選用C類過(guò)濾器。這裏每個(gè)潔淨度級別(bié)似乎都(dū)有(yǒu)兩類過(guò)濾器(qì)可(kě)供(gōng)選擇(zé)，選擇高性能(néng)的還是低性能的，要視(shì)具體(tǐ)情(qíng)況(kuàng)而(ér)定(dìng)：當(dāng)環(huán)境(jìng)汙(wū)染嚴(yán)重，或室內(nèi)排風(fēng)比(bǐ)例(lì)很大，或該(gāi)潔淨室特別重要，需要(yào)較大安(ān)全係(xì)數(shù)，在這(zhè)些(xiē)或其(qí)中(zhōng)之一(yī)情(qíng)況下，均要選擇高一(yī)類(lèi)過(guò)濾器;反之(zhī)可(kě)選(xuǎn)擇(zé)較(jiào)低(dī)性能過濾器。對0.1μm粒子(zǐ)要(yào)求控(kòng)製的(dí)潔(jié)淨室(shì)，不論(lùn)控製的粒子濃度高低均(jūn)要(yào)選擇D類(lèi)過濾器。以上所述(shù)僅從過濾器(qì)角度出發，實際(jì)上要選擇(zé)好過濾(lǜ)器還要全麵(miàn)考慮(lǜ)潔淨(jìng)室特性，過濾器特(tè)性和(hé)淨(jìng)化係統特(tè)性。
要(yào)保(bǎo)證送風(fēng)潔淨(jìng)度(dù)，僅有(yǒu)合格的過濾器(qì)是不夠(gòu)的，還要(yào)保證(zhèng)：運(yùn)輸，安裝過程(chéng)不損(sǔn)壞(huài)過(guò)濾器；安(ān)裝(zhuāng)嚴密。其(qí)次，安(ān)裝(zhuāng)嚴密性問(wèn)題，主(zhǔ)要(yào)取(qǔ)決(jué)於(yú)安(ān)裝結構(gòu)型(xíng)式優(yōu)劣(liè)。對於(yú)單個(gè)過(guò)濾器采(cǎi)用(yòng)明(míng)裝型(xíng)式，這樣(yàng)即便發(fā)生滲漏，也不(bù)致漏(lòu)到室(shì)內(nèi)；采(cǎi)用(yòng)成品送風口(kǒu)，嚴密(mì)性(xìng)也(yě)比較(jiào)容易(yì)得到(dào)保證(zhèng)。近(jìn)幾年常采(cǎi)用液(yè)槽密封和(hé)負壓密封(fēng)。液(yè)槽密封(fēng)必(bì)須(xū)保證液槽接縫(féng)嚴密和整(zhěng)體(tǐ)框架(jià)都處於同一水(shuǐ)平麵上。負壓密(mì)封(fēng)就是(shì)使(shǐ)過(guò)濾(lǜ)器(qì)與(yǔ)靜壓(yā)箱(xiāng)和(hé)框(kuàng)架接(jiē)縫(féng)的外周(zhōu)邊(biān)處於負壓(yā)狀態，與(yǔ)明(míng)裝型(xíng)式一樣(yàng)即使滲(shèn)漏也(yě)不會漏到(dào)室內。實際上隻(zhī)要(yào)做到安裝(zhuāng)框架(jià)平(píng)整，過濾器端麵與安(ān)裝框(kuàng)架(jià)接觸均匀，任何(hé)安裝型式使(shǐ)過(guò)濾器達到安(ān)裝嚴密(mì)性(xìng)要(yào)求應該(gāi)說是不難的(dí)。
二，氣流組織
潔(jié)淨室(shì)的(dí)氣(qì)流組(zǔ)織與一(yī)般空(kōng)調房間有所不同，它(tā)要(yào)求將zui幹淨的空(kōng)氣(qì)首先送(sòng)到(dào)操作(zuò)部(bù)位，它的作用(yòng)在於(yú)限製和減少對(duì)加(jiā)工(gōng)物(wù)的汙染(rǎn)。為此，在(zài)設(shè)計氣(qì)流組織(zhī)時(shí)應(yīng)考(kǎo)慮(lǜ)這(zhè)些(xiē)原則:盡量(liáng)減少(shǎo)渦(wō)流，避免將(jiāng)工作(zuò)區以外的汙染帶入(rù)工作區;盡量(liáng)防止(zhǐ)灰塵的二次飛揚以(yǐ)減(jiǎn)少灰塵(chén)對工件的汙(wū)染機會(huì)；工作(zuò)區的氣流(liú)要盡(jìn)量均匀(yún)，且其風(fēng)速要滿(mǎn)足(zú)工(gōng)藝和衛生要求，當(dāng)氣流向回(huí)風(fēng)口流(liú)動時(shí)要使空氣中(zhōng)的灰塵能(néng)有(yǒu)效的(dí)帶走。根(gēn)據(jù)不同(tóng)的潔淨度(dù)要求(qiú)，選擇不同的(dí)送，回(huí)風(fēng)方(fāng)式。
不同(tóng)的氣(qì)流(liú)組織，各(gè)有其(qí)特(tè)點(diǎn)和範(fàn)圍：
（1）垂直(zhí)單向流(liú)：均可(kě)獲(huò)得(dé)均(jūn)匀(yún)向(xiàng)下(xià)氣流，便於工藝(yì)設(shè)備布置(zhì)，自淨(jìng)能力(lì)強，可簡(jiǎn)化(huà)人身(shēn)淨化設(shè)施等共同設施(shī)等共(gòng)同優點外，四(sì)種(zhǒng)送(sòng)風(fēng)方式(shì)還有其(qí)各自(zì)優缺點(diǎn)：滿(mǎn)布過濾(lǜ)器(qì)具有阻力低，更換(huàn)過(guò)濾器(qì)周(zhōu)期長等優點，但頂棚結構復雜(zá)，造價高;側布過(guò)濾器頂送(sòng)，全(quán)孔(kǒng)板(bǎn)頂送與滿布過(guò)濾器頂送(sòng)的(dí)優缺(quē)點相反，其中全孔板(bǎn)頂(dǐng)送(sòng)在(zài)係統非連續運行時，孔板(bǎn)內(nèi)表麵(miàn)易(yì)積(jī)塵(chén)，維護不(bù)好，對(duì)潔(jié)淨(jìng)度(dù)有些(xiē)影響(xiǎng)；密集散(sàn)流(liú)器(qì)頂送(sòng)，因(yīn)需要(yào)一段混(hùn)和層，所以(yǐ)隻(zhī)適用於(yú)4m以(yǐ)上(shàng)高大(dà)潔淨室，其(qí)特(tè)點與全(quán)孔板頂(dǐng)送(sòng)相(xiāng)仿;對於相對(duì)兩側(cè)格柵(zhà)的(dí)板和相(xiāng)對(duì)兩側(cè)牆(qiáng)下部(bù)均匀(yún)布置回(huí)風口的回(huí)風方式(shì)僅(jǐn)適(shì)用兩側(cè)淨(jìng)間(jiān)距小(xiǎo)於(yú)6m的(dí)潔淨室(shì);單側(cè)牆(qiáng)下部布(bù)回(huí)風(fēng)口(kǒu)僅適用對(duì)牆(qiáng)間距較小(xiǎo)（如≤<2~3m）的(dí)潔淨室(shì)。
（2）水(shuǐ)平單向流(liú)：隻在*工作區達到(dào)100級潔(jié)淨度，當空(kōng)氣流向另一(yī)側(cè)的(dí)過(guò)程(chéng)中(zhōng)含塵(chén)濃度逐(zhú)漸升高(gāo)，所以僅適用(yòng)於(yú)同(tóng)一房(fáng)間(jiān)工藝(yì)過(guò)程(chéng)有(yǒu)不(bù)同(tóng)潔淨度要求的潔(jié)淨(jìng)室；送(sòng)風(fēng)牆局部(bù)布過濾器(qì)較滿布(bù)水平送可減(jiǎn)少(shǎo)過(guò)濾(lǜ)器用(yòng)量，節約(yuē)初投資，但(dàn)局(jú)部(bù)區域有渦流。
（3）亂流型氣(qì)流：孔板頂(dǐng)送(sòng)和(hé)密集散(sàn)流器(qì)頂(dǐng)送(sòng)的(dí)特點(diǎn)與(yǔ)前述相(xiāng)同(tóng)：側(cè)送的優(yōu)點易於(yú)管道布置，無需技術(shù)夾層，造(zào)價低，有利於(yú)舊廠(chǎng)房改造，缺點是(shì)工作(zuò)區風速較大(dà)，下風側比上風側(cè)含塵(chén)濃度(dù)高；過(guò)濾器風口(kǒu)頂送(sòng)具(jù)有(yǒu)係(xì)統(tǒng)簡單(dān)，過(guò)濾(lǜ)器後(hòu)無(wú)管道，潔淨(jìng)氣流(liú)直接送達工(gōng)作(zuò)區等優點，但潔(jié)淨氣流擴(kuò)散(sàn)緩慢(màn)，工作區(qū)氣流較均(jūn)匀；不過當(dāng)均匀地(dì)布(bù)置(zhì)多個風口(kǒu)或采用帶擴散板地(dì)過濾(lǜ)器(qì)風口時，也可(kě)使得(dé)工(gōng)作(zuò)區(qū)氣(qì)流(liú)較均匀；但(dàn)在係(xì)統非(fēi)連續(xù)運(yùn)行(háng)地情況(kuàng)下，擴散板易積(jī)塵(chén)。
以(yǐ)上(shàng)論(lùn)述(shù)均屬(shǔ)於(yú)較(jiào)理想狀態，也是(shì)國(guó)家(jiā)有關(guān)規範，標(biāo)準或設計(jì)手冊(cè)所(suǒ)推(tuī)薦。實(shí)際(jì)工(gōng)程中或受限於(yú)客觀(guān)條(tiáo)件，或(huò)由(yóu)於設計者地主觀原(yuán)因(yīn)而未設(shè)計(jì)好(hǎo)氣流(liú)組織(zhī)，常見(jiàn)的有:垂直單向(xiàng)流采取相(xiāng)鄰(lín)兩側牆下部回風，局部(bù)百(bǎi)級采用上(shàng)送上(shàng)回（即局(jú)部送(sòng)風口下(xià)未加下垂(chuí)圍簾），亂流(liú)型潔(jié)淨(jìng)室(shì)采用過(guò)濾器風口(kǒu)頂送(sòng)上回或(huò)單側(cè)下回（對(duì)牆間距(jù)較(jiào)大）等，這(zhè)些(xiē)氣(qì)流組織方式(shì)經(jīng)實(shí)測(cè)，其(qí)潔(jié)淨(jìng)度大多(duō)數都(dū)達不到(dào)設計要求。由(yóu)於現行規範(fàn)規(guī)定(dìng)空態或(huò)靜(jìng)態(tài)驗收，個別(bié)的這(zhè)類(lèi)潔(jié)淨(jìng)室(shì)在空(kōng)態或靜(jìng)態(tài)下勉強達到設計的(dí)潔(jié)淨度級(jí)別，但抗(kàng)汙(wū)染(rǎn)幹擾能力(lì)很(hěn)低(dī)，一(yī)旦(dàn)潔(jié)淨室進入工(gōng)作狀態(tài)就(jiù)達(dá)不(bù)到要(yào)求。正(zhèng)確(què)的(dí)氣(qì)流組織局部(bù)區(qū)域(yù)應設(shè)圍簾下垂(chuí)至(zhì)工作區高度(dù)，10萬級也不(bù)應(yīng)采(cǎi)用(yòng)上(shàng)送上回(huí)。還(huán)有(yǒu)目前大(dà)多數(shù)工廠生產的帶(dài)擴散(sàn)板(bǎn)的(dí)送(sòng)風口(kǒu)，其擴(kuò)散板(bǎn)都隻是(shì)裝(zhuāng)飾性(xìng)孔(kǒng)板(bǎn)而(ér)不(bù)起(qǐ)擴(kuò)散氣流(liú)作用(yòng)，請(qǐng)設(shè)計者和(hé)用戶要(yào)特別注(zhù)意。
三(sān)，送風(fēng)量或風速
足夠(gòu)的(dí)通風換(huàn)氣量是(shì)為(wéi)了稀(xī)釋(shì)和排(pái)除(chú)室(shì)內汙染空氣(qì)，根據不同(tóng)的(dí)潔(jié)淨度要(yào)求，當(dāng)潔淨室淨(jìng)高較高時，適(shì)當增加(jiā)換氣次數。其(qí)中，100萬(wàn)級(jí)潔(jié)淨室的通風量是(shì)按高(gāo)中效淨(jìng)化係(xì)統(tǒng)考慮(lǜ)，其餘均按淨化係(xì)統考慮(lǜ);當10萬級(jí)潔淨室過濾(lǜ)器(qì)集中(zhōng)布置(zhì)在機(jī)房(fáng)或係統末端(duān)采(cǎi)用(yòng)亞過(guò)濾器時，可適當(dāng)提高換氣(qì)次(cì)數10-20%。
單向流(liú)潔淨室(shì)通過(guò)房(fáng)間(jiān)截(jié)麵風速(sù)偏(piān)低(dī)，亂(luàn)流型潔淨(jìng)室(shì)是(shì)有較充(chōng)分安(ān)全係數的(dí)推薦值。垂直(zhí)單(dān)向流≥0.25m/s，水(shuǐ)平(píng)單向流(liú)≥0.35m/s，在空態或(huò)靜態下檢測潔(jié)淨(jìng)度(dù)，雖然(rán)能達到要求，但抗(kàng)汙(wū)染(rǎn)能力較(jiào)差，一(yī)旦室內(nèi)進入工作狀(zhuàng)態，潔淨度(dù)就可(kě)能(néng)達(dá)不到(dào)要求(qiú)，這(zhè)類實例已不屬於個(gè)別；同時，我國通(tōng)風機(jī)係列(liè)中尚未有(yǒu)較適(shì)合淨化係統用的風機(jī)，一般設計(jì)者(zhě)又往(wǎng)往(wǎng)對係統(tǒng)空(kōng)氣阻力(lì)未(wèi)作準(zhǔn)確計算(suàn)，或(huò)未(wèi)注意到所(suǒ)選用(yòng)的(dí)風機(jī)是否處於特(tè)性曲(qū)綫(xiàn)上(shàng)比較(jiào)有利的(dí)工(gōng)作(zuò)點，使(shǐ)得係(xì)統在投(tóu)入運行(háng)後不久，風(fēng)量或風速就達不到設計值。美國聯邦(bāng)標(biāo)準(zhǔn)（FS209A~B）在(zài)1987年(nián)10月27日之(zhī)前一直這樣(yàng)規定：單(dān)向流潔淨室通(tōng)過(guò)潔淨室截(jié)麵(miàn)的(dí)氣(qì)流(liú)速度(dù)通常保(bǎo)持在9Oft/min（0.45m/s），在整(zhěng)個房間(jiān)無幹擾的條(tiáo)件下，其速度(dù)不均(jūn)匀(yún)度(dù)在(zài)士(shì)20%以內，氣(qì)流(liú)速度任何明顯(xiǎn)的下(xià)降都會(huì)增加自(zì)淨時間和工(gōng)作(zuò)位置(zhì)之(zhī)間(jiān)汙染影(yǐng)響(xiǎng)的可能(néng)性（1987年(nián)10月FS209C頒布之(zhī)後(hòu)對含塵濃度(dù)以外的(dí)所(suǒ)有參數(shù)指(zhǐ)標均未(wèi)作(zuò)規(guī)定(dìng)）。為(wéi)此，宜(yí)適當提高(gāo)目(mù)前國(guó)內對(duì)單(dān)向流速度的(dí)設(shè)計值(zhí)，我們單(dān)位(wèi)在實(shí)際工程中(zhōng)照此(cǐ)做了(liǎo)，效果(guǒ)還(huán)是比(bǐ)較好(hǎo)的(dí)。亂流型潔淨室是有較充分(fēn)安全係數的(dí)推薦值，但許多設計者仍不放心(xīn)，在做具體設計時將10萬級潔淨室(shì)通風量(liáng)加(jiā)大到20~25次(cì)/h，1萬(wàn)級(jí)加大到30~40次/h，1000級加大到60~70次/h，這(zhè)樣做不僅(jǐn)加大了設(shè)備容量，加大了(liǎo)初(chū)投(tóu)資，也增(zēng)加(jiā)了日後(hòu)維護管理(lǐ)費(fèi)用，實(shí)際(jì)上也(yě)沒有必(bì)要這(zhè)樣(yàng)做。
四(sì)，靜壓(yā)差
潔淨室(shì)維持一定的正壓(yā)是(shì)保(bǎo)證潔淨(jìng)室不受(shòu)或少(shǎo)受(shòu)汙染，以(yǐ)維(wéi)持(chí)設(shè)計(jì)潔淨(jìng)度(dù)等級(jí)*地條(tiáo)件(jiàn)之一(yī)。即(jí)便是負(fù)壓潔(jié)淨室，它(tā)也必須有(yǒu)不低於(yú)它(tā)潔(jié)淨度(dù)級別(bié)地相(xiāng)鄰房間或套(tào)間(jiān)維(wéi)持(chí)一(yī)定(dìng)地正壓，負壓(yā)潔淨(jìng)室(shì)的潔淨度(dù)才能得(dé)以(yǐ)維(wéi)持。
潔(jié)淨室正(zhèng)壓值(zhí)是指門窗(chuāng)全(quán)部關(guān)閉(bì)狀(zhuàng)態下(xià)，室(shì)內(nèi)靜壓(yā)大於室外靜(jìng)壓(yā)的(dí)數值。它(tā)是通(tōng)過淨化(huà)係(xì)統(tǒng)送(sòng)風量(liáng)大於(yú)回風量和(hé)排風(fēng)量(liáng)的方法(fǎ)來達到。為(wéi)了(liǎo)保(bǎo)證潔(jié)淨室正壓(yā)值(zhí)，送風(fēng)，回風和排風機聯鎖，係統開啟時(shí)先(xiān)啟動送風機(jī)，再(zài)啟(qǐ)動回(huí)風(fēng)機和(hé)排風(fēng)機；係統(tǒng)關(guān)閉時先關(guān)排(pái)風(fēng)機(jī)，再關回風機和(hé)送風(fēng)機(jī)，以防止(zhǐ)潔淨室(shì)在(zài)係統開啟(qǐ)和(hé)關閉時(shí)受到汙染。
維持(chí)潔淨(jìng)室正(zhèng)壓所需(xū)的風量主(zhǔ)要根(gēn)據維護(hù)結構密閉性好壞(huài)來(lái)確(què)定(dìng)。我國(guó)潔淨室建設初(chū)期由於圍護(hù)結(jié)構密閉(bì)性較差(chà)，要維(wéi)持≥5Pa的(dí)正壓(yā)就要(yào)2~6次/h送(sòng)風(fēng)量；目前維(wéi)護結(jié)構密(mì)閉性已大(dà)為(wéi)提高，維(wéi)持同(tóng)樣(yàng)的(dí)正壓(yā)隻要(yào)1~2次(cì)/h送風量；維持(chí)≥1OPa也(yě)隻(zhī)要(yào)2~3次/h送風量。
我國設(shè)計(jì)規(guī)範規(guī)定：不(bù)同(tóng)等級的潔(jié)淨(jìng)室以及潔淨區和(hé)非(fēi)潔(jié)淨區之(zhī)間的靜壓差(chà)應不(bù)小(xiǎo)於(yú)0.5mmH2O（~5Pa），潔淨區與(yǔ)室(shì)外(wài)的靜壓差(chà)應(yīng)不(bù)小(xiǎo)於1.OmmH2O（~l0Pa）。該值似(sì)偏低(dī)，原(yuán)因有(yǒu)三：1.正壓(yā)是(shì)表(biǎo)示潔淨(jìng)室抑製通過門(mén)窗(chuāng)縫隙(xì)汙(wū)染室內(nèi)空氣(qì)的能(néng)力(lì)，或(huò)在(zài)短時間(jiān)打(dǎ)開(kāi)門(mén)窗時使滲(shèn)入室(shì)內(nèi)的(dí)汙染(rǎn)物減少到(dào)zui低限(xiàn)度的能力(lì)，正壓(yā)大(dà)小表示抑製(zhì)汙染能力的(dí)強(qiáng)弱(ruò)，當然(rán)不(bù)是正壓越(yuè)大越(yuè)好(hǎo)（後(hòu)麵將談到）。2.正壓所需的風(fēng)量(liáng)有限，5Pa正壓(yā)與10Pa正(zhèng)壓(yā)所(suǒ)需風量僅差(chà)約(yuē)1次/h，何(hé)樂(lè)而(ér)不為(wéi)呢?顯(xiǎn)然正壓值低限取(qǔ)l0Pa更(gēng)*些。3.美國聯邦(bāng)標準(zhǔn)（FS209A~B）規定:當(dāng)所有出(chū)入口關閉時(shí)，潔(jié)淨(jìng)室與(yǔ)任(rèn)何(hé)相(xiāng)鄰的低潔(jié)淨(jìng)度(dù)區域(yù)之間的(dí)zui低正(zhèng)壓差為0.05英寸水柱（12.5Pa），這(zhè)數值已(yǐ)被(bèi)許多國家采(cǎi)用(yòng)。