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為了(liǎo)便於管理(lǐ),保證潔淨空調(tiáo)係統正常運(yùn)行,除特殊情(qíng)況外,一(yī)般宜先考慮(lǜ)采用集中(zhōng)式空(kōng)氣淨(jìng)化(huà)係統。在一(yī)些特(tè)殊場(cháng)合(hé),通(tōng)過分析,比(bǐ)較,可(kě)考慮其(qí)它係(xì)統(tǒng)形式,如(rú)分散(sàn)式係(xì)統。在劃分(fēn)潔(jié)淨(jìng)空(kōng)調(tiáo)係統時(shí),可以(yǐ)根(gēn)據室內(nèi)參數,使用時(shí)間,直流式與非(fēi)直流式等(děng)因素來(lái)劃(huá)分,同(tóng)時(shí),應充分考慮根(gēn)據潔淨度等(děng)級(jí)與容(róng)量(liáng)大(dà)小來劃(huá)分。集中式(shì)淨(jìng)化(huà)空(kōng)調係(xì)統(tǒng)與(yǔ)普通(tōng)空調(tiáo)係統(tǒng)具有(yǒu)共(gòng)性。
1,循環(huán)係統
(1)係統劃分
中效空(kōng)氣(qì)淨化係統與(yǔ)高效空氣淨化係(xì)統(tǒng),單(dān)向(xiàng)流潔淨(jìng)室係統(tǒng)與(yǔ)非(fēi)單(dān)向(xiàng)流(liú)潔淨(jìng)室係(xì)統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置(zhì)。
考慮(lǜ)到係統平(píng)衡(héng),一(yī)個(gè)係統內的末級過(guò)濾器(qì)的效(xiào)率應(yīng)相近。如果(guǒ)高效(xiào)與(yǔ)中(zhōng)效(xiào)空(kōng)氣淨化係統兩者阻(zǔ)力(lì)相差太(tài)大,合為一個(gè)係統(tǒng)時(shí)阻(zǔ)力(lì)難以(yǐ)平(píng)衡(héng)。
如(rú)果各過(guò)濾器(qì)實際風量(liáng)相差很大,隨著(zhuó)係統(tǒng)運行,則各過(guò)濾(lǜ)器阻(zǔ)力增加(jiā)速度(dù)也(yě)不(bù)同,有(yǒu)可(kě)能(néng)導致(zhì)係統失(shī)調(tiáo)。單(dān)向(xiàng)流潔淨室(shì)中的(dí)工(gōng)藝要求(qiú)精(jīng)密,室(shì)內人(rén)員少,工藝本(běn)身往往(wǎng)沒(méi)有(yǒu)多(duō)大的發熱(rè)量(liáng),為了達(dá)到很高(gāo)的潔淨度,換氣次數(shù)很大,這樣(yàng)單向流(liú)潔(jié)淨(jìng)室送風(fēng)溫差(chà)就很小。非單向流(liú)潔淨(jìng)室(shì)中的工藝一(yī)般(bān)不太精密,人員相(xiāng)對(duì)多,工藝(yì)發熱量和(hé)散(sàn)濕(shī)量也大,其(qí)換氣次數因為潔(jié)淨度(dù)不(bù)高而(ér)變小,故(gù)送風溫(wēn)差大。若(ruò)把兩者劃(huá)分為(wéi)一(yī)個係統,夏季(jì)空氣處理箱若按送(sòng)風溫差大(dà)的要(yào)求(即(jí)送風(fēng)溫度低(dī))處理(lǐ)空氣,送風溫差(chà)小的(dí)(送風溫度高)就須(xū)二次加(jiā)熱(即(jí)用加(jiā)熱量(liáng)去抵消(xiāo)冷量),因(yīn)單(dān)向流潔(jié)淨(jìng)室(shì)送風量大,其熱(rè)量消(xiāo)耗(hào)也大,不(bù)經濟。若按溫差(chà)小的要(yào)求處理空氣(qì),則不(bù)能(néng)滿足送(sòng)風溫差(chà)大(dà)的要求(qiú),在(zài)運(yùn)行(háng)上不經濟,在管理上(shàng)也(yě)十(shí)分麻(má)煩。除(chú)此之(zhī)外,單(dān)向(xiàng)流潔淨室(shì)係(xì)統中(zhōng),送(sòng)風牆或(huò)送風(fēng)頂棚(péng)上(shàng)滿布高效空氣(qì)過(guò)濾器,潔淨(jìng)室(shì)斷麵風速為0.3~0.5m/s,每台(tái)高效空氣(qì)過(guò)濾器至多隻用(yòng)到額(é)定風量(liáng)的(dí)一半,其阻(zǔ)力(lì)低於(yú)額(é)定阻力。而非(fēi)單(dān)向流潔淨室的送風口中高(gāo)效過濾(lǜ)器卻往往(wǎng)達到(dào)額定風量的(dí)80%以上(shàng),阻力大(dà)於前者(zhě)。這樣(yàng)兩者阻力(lì)相差(chà)100Pa以上(shàng),係統(tǒng)也難以(yǐ)平衡。對(duì)高效(xiào)空(kōng)氣(qì)過(guò)濾器來說(shuō),同樣也(yě)存(cún)在著(zhuó)阻(zǔ)力(lì)增長(cháng)速(sù)率的不(bù)一(yī)致(zhì)。若(ruò)想始終(zhōng)維持係統初(chū)狀(zhuàng)態(tài)的阻力平衡(即(jí)維持(chí)設計要求(qiú)風(fēng)量(liáng)分配(pèi)比(bǐ)),勢(shì)必增設許多(duō)調(tiáo)節閥(fá),並(bìng)在運(yùn)行過程(chéng)中不斷調(tiáo)節(jié),既(jì)麻煩(fán)也不(bù)經濟。若兩者阻力相差(chà)太大,單(dān)靠調節閥(fá)不一(yī)定(dìng)能平衡(héng),因此一(yī)般在集(jí)中式淨化空(kōng)調係(xì)統中,不允許兩者劃(huá)為一個係統。若生(shēng)產(chǎn)工藝(yì)要(yào)求(qiú)或(huò)經(jīng)分(fēn)析比(bǐ)較(jiào)後宜劃為(wéi)一(yī)個(gè)係統(例(lì)如,隻有一間單向流潔淨(jìng)室,其他均為非單向流潔(jié)淨室(shì))時,可(kě)增(zēng)設帶風(fēng)機的混合(hé)室,使單(dān)向流(liú)潔(jié)淨(jìng)室形成(chéng)小循(xún)環;或者采用(yòng)半集中式(shì)淨化(huà)空調係統,用末端裝置滿(mǎn)足各潔淨室潔(jié)淨(jìng)度要(yào)求,與集中風係統(tǒng)無關,係(xì)統運行就極(jí)為(wéi)方便。
對於(yú)某(mǒu)些(xiē)單位(wèi)(例如科研(yán)單(dān)位)用的潔(jié)淨空(kōng)調(tiáo)係統,係統(tǒng)中(zhōng)各(gè)潔(jié)淨(jìng)室同(tóng)時(shí)使用係數(shù)不(bù)高,要特別考(kǎo)慮以運行(háng)班次(cì)和(hé)使用(yòng)時間(jiān)不(bù)同(tóng)來(lái)劃(huá)分(fēn)係統,否則(zé)就(jiù)會在(zài)運行中造(zào)成很(hěn)大(dà)的浪(làng)費。
潔淨室(shì)內(nèi)正(zhèng)壓是(shì)靠(kào)送,回風(fēng)間(jiān)差值風(fēng)量(liáng)在(zài)室(shì)內無組織滲(shèn)漏(lòu)來保持的(dí),室內正壓值相當於這些風量(liáng)從室(shì)內縫隙滲漏時(shí)的(dí)阻(zǔ)力。從(cóng)整個空(kōng)氣(qì)係(xì)統(tǒng)平(píng)衡角(jiǎo)度上講(jiǎng),這些無(wú)組(zǔ)織(zhī)滲漏風量與(yǔ)係統排(pái)風量(liáng)之和(hé),等(děng)於(yú)進(jìn)入係(xì)統的新(xīn)風量。對(duì)同一係統(tǒng)而(ér)言(yán),所維持(chí)的正壓(yā)值越高(gāo),所(suǒ)需(xū)新風(fēng)量也(yě)越(yuè)多,加(jiā)上(shàng)有(yǒu)些(xiē)行(háng)業(如(rú)電(diàn)子(zǐ)元件(jiàn)等)有較大(dà)的(dí)排(pái)風量,這(zhè)樣(yàng)係(xì)統(tǒng)需要補充(chōng)很大新風(fēng)量,一般都(dū)大大超(chāo)過(guò)衛(wèi)生要(yào)求所需新(xīn)風(fēng)量,這就增加了新風過(guò)濾(lǜ)和處理(lǐ)負擔。如果選用(yòng)半(bàn)集中式淨(jìng)化(huà)空調(tiáo)係(xì)統,可采用全新風(fēng)集(jí)中送風(fēng);如果采(cǎi)用集中式淨化空(kōng)調係(xì)統,可根據上(shàng)述原則劃分為幾(jī)個小係(xì)統。
(2)新(xīn)風(fēng)集中(zhōng)處(chǔ)理係(xì)統(tǒng)
若(ruò)生產工(gōng)藝(yì)需要各小係統(tǒng)同(tóng)時運行(háng),這(zhè)時可以將各係(xì)統的新(xīn)風量集中處理(lǐ),然後送到各(gè)小(xiǎo)係(xì)統(tǒng)空氣(qì)處理(lǐ)箱(xiāng)再(zài)進(jìn)行(háng)處理,這樣經(jīng)過(guò)集(jí)中處(chǔ)理過(guò)的新風,參數穩定(dìng),減(jiǎn)輕(qīng)了(liǎo)各小係統空(kōng)氣處理負擔(dān),有(yǒu)利(lì)於穩(wěn)定潔淨室內空(kōng)氣參數,也便(biàn)於(yú)集中(zhōng)管(guǎn)理新風過(guò)濾器。
新風集中(zhōng)處理(lǐ)係(xì)統(tǒng)一(yī)般(bān)隻(zhī)經過粗效和(hé)中效空(kōng)氣過濾器(qì)過(guò)濾(可(kě)采用三級過(guò)濾),如下(xià)圖所(suǒ)示(shì)。根據(jù)所(suǒ)處(chǔ)地(dì)區及(jí)能源(yuán)情況,可以(yǐ)同時進行預(yù)熱(rè)或(huò)預冷(lěng)處理。新風(fēng)集(jí)中(zhōng)處(chǔ)理係統往往采用(yòng)獨立(lì)的新(xīn)風(fēng)機,壓(yā)入式供(gōng)給(gěi)各(gè)小係統,這樣各小(xiǎo)係統(tǒng)新風(fēng)量得以(yǐ)保證(zhèng),有利於(yú)各係統間新(xīn)風量(liáng)分配和調節,也不(bù)會(huì)因(yīn)係(xì)統(tǒng)一(yī),二次回(huí)風量調節(jié)等原(yuán)因(yīn)而(ér)引起新風量的變化(huà)。如(rú)果需要,新(xīn)風機(jī)也可兼做值班(bān)風(fēng)機用,這樣既(jì)可維持(chí)室內一定正壓,又(yòu)可防止室內(nèi)夏季因室(shì)外空(kōng)氣滲入引起結露,冬季也可進(jìn)行值(zhí)班供暖(nuǎn)。如(rú)果(guǒ)生產工(gōng)藝(yì)並不要求各小係統(tǒng)同(tóng)時(shí)運行(即同(tóng)時使用係數不(bù)高(gāo)),就不必強調(tiáo)新(xīn)風(fēng)集中處(chǔ)理(lǐ)。若(ruò)對各(gè)小係(xì)統(tǒng)間(jiān)新(xīn)風量調整(zhěng)等(děng)問題考(kǎo)慮不全(quán),往往會(huì)因(yīn)某個(gè)係(xì)統停(tíng)或開而影(yǐng)響其(qí)它係統之間(jiān)原(yuán)有(yǒu)的新(xīn)風量平衡(héng)。由(yóu)以上分(fēn)析(xī)可(kě)知,各(gè)係統(tǒng)的(dí)新(xīn)風(fēng)量(liáng)變(biàn)化,會(huì)引(yǐn)起係統內正壓(yā)的變(biàn)化,破(pò)壞原有的潔(jié)淨室之間,潔淨室與外(wài)界(jiè)之(zhī)間的(dí)階(jiē)梯式(shì)正壓差,從(cóng)而(ér)引起(qǐ)整(zhěng)個係(xì)統的參數波動。這時若各(gè)係(xì)統分(fēn)別單(dān)獨處(chǔ)理新風(fēng),則更有(yǒu)好處。如(rú)某係統(tǒng)新(xīn)風(fēng)量過大(dà),可單獨(dú)設置新風處(chǔ)理(lǐ)箱(xiāng),專送該(gāi)係統。

(3)新風量和(hé)排風量(liáng)的(dí)控製(zhì)
潔淨(jìng)空(kōng)調(tiáo)係(xì)統的(dí)新(xīn)風(fēng)量是很(hěn)大的,而且(qiě)這些被空調熱濕(shī)處理(lǐ)和淨化(huà)處(chǔ)理(lǐ)過(guò)的新風(fēng)幾乎(hū)是不能(néng)回收(shōu)的。維(wéi)持(chí)新風量(liáng)正壓的風量是必(bì)須(xū)保證的(dí),但(dàn)是(shì)實(shí)際運行(háng)的(dí)排風(fēng)量(liáng)與(yǔ)設(shè)計(jì)排風(fēng)量(liáng)往往(wǎng)差(chà)異(yì)很大,隨著(zhuó)實際(jì)運行時(shí)排風裝置停,開或(huò)風量(liáng)變(biàn)化,往(wǎng)往(wǎng)引起(qǐ)室內(nèi)正壓值的變化(huà)。為維(wéi)持(chí)室內(nèi)合(hé)適的(dí)正壓(yā),多餘(yú)風量靠壓(yā)力控製(zhì)裝(zhuāng)置(如(rú)餘壓閥)排放,其(qí)浪費是(shì)很大(dà)的。因此(cǐ),如在(zài)係統設計(jì)時,考慮係統的(dí)新風(fēng)量(liáng)通過(guò)中(zhōng)央控製裝置與(yǔ)排(pái)風(fēng)裝置連(lián)鎖,則可(kě)根(gēn)據排(pái)風裝(zhuāng)置(zhì)實(shí)際排(pái)風量(liáng),調節(jié)新風(fēng)引入(rù)量(liáng),以降低(dī)新風負荷(hé)。如果設置(zhì)餘(yú)壓閥(fá),則其應(yīng)布置在(zài)潔(jié)淨氣流(liú)的下風側。
潔淨空調(tiáo)係(xì)統(tǒng)的空(kōng)氣(qì)處(chǔ)理(lǐ)流(liú)程與(yǔ)一般空調係(xì)統大(dà)同小異。由於其(qí)處(chǔ)理的風量很大,相(xiāng)對(duì)來(lái)說(shuō)送風溫差小,如果(guǒ)生(shēng)產(chǎn)工藝流(liú)程(chéng)中不(bù)產(chǎn)生有害物,或有害物能通過(guò)排風(fēng)裝置(zhì)有效排走,應該(gāi)在(zài)保證新鮮空氣(qì)量及正壓(yā)的(dí)條(tiáo)件下(xià),盡量(liáng)利(lì)用回風(fēng)。尤其(qí)是單向(xiàng)流潔淨(jìng)室的(dí)係(xì)統送(sòng)風量更(gēng)大(dà),其流程必定(dìng)是(shì)采用(yòng)二次(cì)回(huí)風(fēng)係(xì)統,頁(yè)且(qiě)二次(cì)回(huí)風(fēng)量(liáng)很大(dà)。如果(guǒ)采(cǎi)用半(bàn)集中(zhōng)式係(xì)統(tǒng)或全(quán)分(fēn)散式係統(tǒng),雖可以(yǐ)避(bì)免大(dà)量(liáng)送回風量(liáng)往返輸(shū)送(sòng),但這些風量卻(què)要(yào)靠安(ān)放在室內(nèi)或(huò)鄰室的(dí)大風機或(huò)多台風(fēng)機(jī)提供,其(qí)噪(zào)聲和振動(dòng)必須處(chǔ)理好。
(4)帶(dài)“短循環"的(dí)係統
“短循環"或小(xiǎo)循(xún)環"的(dí)方案(àn),是一種比較(jiào)經濟的方(fāng)法,即在潔淨室附近(jìn)增設一(yī)台風機,使大量(liáng)的二次回(huí)風不(bù)經空調箱直(zhí)接循環(huán)。這一方(fāng)案(àn)使(shǐ)一(yī)次(cì)回(huí)風和新(xīn)風負擔熱濕負(fù)荷,而使(shǐ)大量的對消除(chú)熱(rè)濕負荷(hé)不起作(zuò)用的二(èr)次(cì)回風(fēng)就近(jìn)循(xún)環,這(zhè)樣不但(dàn)節(jié)約了輸(shū)送能(néng)耗(hào),而且降(jiàng)低了(liǎo)用(yòng)來(lái)抵(dǐ)消這(zhè)部分風(fēng)機(jī)輸(shū)送動(dòng)力(lì)所(suǒ)轉(zhuǎn)化(huà)的熱(rè)量(liáng)的冷(lěng)負荷(hé)。這種方案(àn)多用(yòng)於潔淨室距(jù)集(jí)中機房(fáng)較(jiào)遠(yuǎn),輸(shū)送風(fēng)道較(jiào)長,或各潔(jié)淨室(shì)潔(jié)淨度,含菌(jūn)量要求(qiú)不(bù)一,差別較大(dà)的係統(tǒng)。因風(fēng)機(jī)離潔淨(jìng)室近(jìn),對(duì)潔淨(jìng)室噪聲和隔振處(chǔ)理(lǐ)不利。
如果係(xì)統中各潔(jié)淨室(shì)的熱(rè),濕(shī)及(jí)塵(chén)負荷(hé)不(bù)大,也不產(chǎn)生(shēng)有(yǒu)害(hài)氣體,或有(yǒu)害氣體(tǐ)能有(yǒu)效排走(zǒu),即(jí)在高級別(bié)潔(jié)淨室的(dí)汙(wū)染物對低(dī)級別潔淨室(shì)無(wú)汙染的場(cháng)合(hé),可(kě)以采用串聯運方(fāng)式。潔淨(jìng)空氣先送入高(gāo)級(jí)別(bié)的潔淨室,高級別潔淨室(shì)排(pái)出(chū)的氣流直(zhí)接(jiē)進(jìn)入低級別的潔(jié)淨(jìng)室(shì),對低級(jí)別潔淨室內(nèi)的(dí)汙(wū)染物進行(háng)稀釋淨化,各室之間的間隔采(cǎi)用多孔(kǒng)板(bǎn)壁,各室(shì)逐(zhú)個串聯,汙染空(kōng)氣(qì)通(tōng)過回風(fēng)回到(dào)空調(tiáo)機房(fáng)進行處理重復利用,另(lìng)一部(bù)分(fēn)排(pái)出(chū)室(shì)外(wài);排(pái)出室外部(bù)分,由新風(fēng)係(xì)統補(bǔ)充。這種係統可(kě)以縮小空(kōng)調設備,空(kōng)調(tiáo)機(jī)房(fáng)及(jí)風道斷麵,降低成(chéng)本(běn),節約能源和降低運行(háng)費用。

(5)分散式空調係統(tǒng)
如(rú)果是對原有建(jiàn)築進(jìn)行潔(jié)淨(jìng)係統改造,則應根據(jù)生產工藝(yì)要求(qiú)和現有建(jiàn)築(zhù)的具體(tǐ)情況,因(yīn)地製宜,不必強(qiáng)求(qiú)正規(guī)的空氣處(chǔ)理(lǐ)流程(chéng)。由於集中式淨(jìng)化空調(tiáo)係統的管道(dào)截(jié)麵(miàn)大,占用空間大,還需要(yào)一個(gè)麵(miàn)積(jī)較(jiào)大(dà)的專用機房(fáng),現有(yǒu)的(dí)建(jiàn)築難以適應(yīng),而且改(gǎi)造(zào)工(gōng)程中土建(jiàn)工(gōng)作量很(hěn)大,施工(gōng)周(zhōu)期長(cháng)。因此,大多數(shù)改造工(gōng)程(chéng)采(cǎi)用半(bàn)集中式和全分(fēn)散式淨(jìng)化空調(tiáo)係統。如原(yuán)有廠房內有空(kōng)調(tiáo)係統(tǒng)時,可在原空調(tiáo)係統(tǒng)內增設過(guò)濾(lǜ)設(shè)備,並(bìng)通過(guò)提高風(fēng)機轉速(sù),增設不同局部淨化設備(bèi)來滿足(zú)潔淨係統改(gǎi)造要(yào)求。
(6)直(zhí)流式(shì)係(xì)統
如(rú)果生產工(gōng)藝(yì)過(guò)程(chéng)中散(sàn)發(fā)出大量有(yǒu)害物,又(yòu)無(wú)法用(yòng)局部排風(fēng)有(yǒu)效排走(zǒu)時(shí),潔淨(jìng)空調(tiáo)係(xì)統不(bù)能利用(yòng)其回風,隻能采(cǎi)用直流(liú)式係(xì)統。大(dà)量(liáng)經空(kōng)調熱(rè)濕(shī)處(chǔ)理(lǐ)和淨(jìng)化處理過(guò)的(dí)空(kōng)氣,隨(suí)排(pái)風(fēng)排(pái)到室(shì)外,浪(làng)費了大(dà)量的(dí)冷量(liáng)或(huò)熱量(liáng),在有條件的地方,應(yīng)在排風口處設置(zhì)熱(rè)回(huí)收裝置,回(huí)收排氣中(zhōng)的能量(liáng)。如(rú)室內(nèi)產生(shēng)危害(hài)性(xìng)很大(dà)的(dí)汙染物(wù)質(zhì)(如(rú)放(fàng)射(shè)性(xìng)塵(chén)埃),為防(fáng)止對室外空氣造成(chéng)汙染,向(xiàng)室外排(pái)風需經高效過濾(lǜ)器過濾。對(duì)於高放(fàng)射性塵埃,必(bì)須采用雙級高(gāo)效(xiào)過(guò)濾器串(chuàn)聯排(pái)風。工業潔(jié)淨(jìng)廠房生(shēng)產(chǎn)工(gōng)藝過程(chéng)中產生的氣(qì)體如(rú)果(guǒ)是有害氣體,排放(fàng)處(chǔ)理要(yào)根(gēn)據有(yǒu)害氣體(tǐ)的(dí)性質(zhì),對其(qí)進行水浴(yù),吸收(shōu),吸附或其(qí)它化(huà)學處理(lǐ)。總(zǒng)之,隻有(yǒu)在萬不得已的(dí)情況下(xià)才采用直(zhí)流式係(xì)統(tǒng),應盡(jìn)量(liáng)采用(yòng)局部排風(fēng)。不僅(jǐn)要能使有害(hài)物盡快有效的排(pái)走,而且還要通(tōng)過減少局部(bù)排風的操作口麵積(jī)或采(cǎi)用(yòng)密閉(bì)罩等(děng)措(cuò)施來減少(shǎo)排風(fēng)量。
2,排(pái)風係統
對(duì)潔淨空(kōng)調係(xì)統(tǒng)來說(shuō),減少排(pái)風,盡量利用(yòng)回風(fēng),比(bǐ)普通空調(tiáo)係統(tǒng)具(jù)有(yǒu)更大的技(jì)術經濟意義。需排(pái)風的工藝設(shè)備宜(yí)布置在潔淨(jìng)室(shì)下風(fēng)側(cè)。
應根據不(bù)同(tóng)的排風(fēng)對象(xiàng)選擇(zé)排風(fēng)係統(tǒng),具體(tǐ)如下:
(1)無(wú)機排(pái)風濕(shī)式處(chǔ)理
以使(shǐ)用(yòng)無(wú)機藥品的(dí)化學(xué)通(tōng)風的(dí)排(pái)風為主,平時僅(jǐn)排(pái)出(chū)空(kōng)氣(qì),混有藥(yào)品氣體(tǐ)的特殊作業環境排(pái)風時用(yòng)這(zhè)種(zhǒng)係(xì)統(tǒng)。強腐蝕(shí)性,強酸(suān)性(xìng)氣體混(hùn)合(hé)時要(yào)用(yòng)聚氯(lǜ)乙烯板材(cái)製作風道(dào),末(mò)端(duān)用濕式處(chǔ)理(lǐ)(洗滌(dí)器)將有害(hài)氣體(tǐ)溶(róng)於溶(róng)液(yè)再(zài)排(pái)到空氣(qì)中(zhōng),風(fēng)道(dào)中途水平管上(shàng)要設排(pái)水(shuǐ)口(kǒu)。
(2)有機(jī)排風幹(gān)式處理
用(yòng)於(yú)乙醇,三(sān)氯(lǜ)乙烯(xī)等(děng)溶劑(jì)或(huò)光刻膠處(chǔ)理等,管材用聚氯(lǜ)乙烯會被溶解,故(gù)用(yòng)不鏽鋼(gāng)。末(mò)端為幹式(shì)處理,通過(guò)活性炭(tàn)過(guò)濾器,吸附有機溶劑(jì)。
(3)特(tè)殊排(pái)風(fēng)濕(shī)式(shì)處理
用於(yú)氫(qīng),甲烷等爆(bào)炸性(xìng)氣體(tǐ)的(dí)排風(fēng),末(mò)端(duān)是(shì)濕式(shì)排(pái)風,溶(róng)於水再排出。管材(cái)用聚氯(lǜ)乙烯(xī)或不鏽鋼(gāng)。甲(jiǎ)烷和(hé)空氣接(jiē)觸有燃燒危(wēi)險(xiǎn),所以(yǐ)即使用聚氯(lǜ)乙(yǐ)烯(xī)管(guǎn),其末端還(huán)必(bì)須(xū)用金屬(shǔ)管;製(zhì)膜(mó)(也包括外延)工序(xù)用氯氣(qì)很多(duō),不鏽鋼管長期使用也會腐(fǔ)蝕。
(4)泵(bèng)的(dí)排風(fēng)濕(shī)處理
工藝裝置(zhì)內(nèi)的(dí)排(pái)風和泵(bèng)的(dí)排風,由於(yú)會積油,不要和可產生火星(xīng)的(dí)排風連(lián)在(zài)一(yī)起。
(5)熱排風濕處理
氧化裝置,燒結爐(lú)的(dí)散(sàn)熱(rè)排(pái)風(fēng)屬該(gāi)類型(xíng),可(kě)熱回(huí)收。