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電(diàn)子潔淨室(shì)的設計(jì)特(tè)點(diǎn)有(yǒu)如下(xià):
1,平麵由(yóu)工(gōng)藝決(jué)定(dìng),電(diàn)子工業潔淨廠房(fáng)的工(gōng)藝(yì)布(bù)局應適應(yīng)電(diàn)子產品發展的靈(líng)活性,滿(mǎn)足產(chǎn)品(pǐn)生產(chǎn)工(gōng)藝(yì)改造(zào)和擴大(dà)生(shēng)產的需求。
2,主體結(jié)構宜采(cǎi)用大(dà)空間及大跨度柱(zhù)網,不宜(yí)采用內(nèi)牆承重體(tǐ)係(xì)。
3,大(dà)型電(diàn)子(zǐ)工(gōng)業(yè)潔(jié)淨(jìng)廠房常采(cǎi)用上(shàng)技(jì)術(shù)夾(jiā)層(céng),下技術夾層這(zhè)種“夾(jiā)心(xīn)”式多層構造。
4,應(yīng)考慮(lǜ)大(dà)型生產(chǎn)工(gōng)藝設備的(dí)安(ān)裝,維修要(yào)求,設置(zhì)必(bì)要的運輸(shū)通道和不影(yǐng)響潔淨(jìng)生產(chǎn)環(huán)境的安(ān)裝(zhuāng)口(kǒu)或檢修(xiū)口。
5,電子工(gōng)業潔(jié)淨室按二級(jí)耐(nài)火等(děng)級(jí)設計。
6,特種(zhǒng)氣(qì)體的(dí)儲存和分配間(jiān)應有(yǒu)耐(nài)火(huǒ)隔(gé)牆(qiáng)與潔(jié)淨室(shì)(區(qū))分開,該牆耐火極限不(bù)低(dī)於(yú)1H。有毒(dú)的(dí)矽烷或其(qí)混合物(wù)氣瓶存區至(zhì)少三(sān)麵(miàn)是敞開(kāi)的(dí),氣(qì)瓶(píng)與周圍構築(zhù)物(wù)或圍欄之間(jiān)的(dí)距(jù)離(lí)應大於3M,儲存(cún)區設(shè)置(zhì)的雨篷(péng)應不低於(yú)3.5M。
7,電子工(gōng)業潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)裝(zhuāng)飾(shì)材(cái)料不(bù)得(dé)采(cǎi)用釋放(fàng)對(duì)電子產品有(yǒu)影響(xiǎng)物質的材料。
8,電子工業(yè)潔淨室(shì)允許設空氣(qì)吹淋(lín)室(shì),這(zhè)是(shì)和(hé)一般生物(wù)潔(jié)淨(jìng)室不同(tóng)的。吹(chuī)淋室應(yīng)與(yǔ)潔(jié)淨工(gōng)作服更衣室相(xiāng)鄰。單(dān)人吹(chuī)淋室按大(dà)班人數為(wéi)30人(rén)一(yī)間設(shè)計,當(dāng)工作(zuò)人員(yuán)超過5人時(shí),應設(shè)旁(páng)門(mén),當人數(shù)太(tài)多(duō)或(huò)為(wéi)了縮短(duǎn)通過時間,也可設遂道式吹淋(lín)室(shì)。
9,對於高(gāo)級別(bié)潔(jié)淨室(shì),為了(liǎo)盡可(kě)能不影響(xiǎng)氣流的單向性,平行性,照明燈(dēng)具(jù)采(cǎi)用(yòng)淨化淚珠形燈具。
10,電子(zǐ)工(gōng)業(yè)潔(jié)淨室(shì)常(cháng)要根據生(shēng)產工藝要(yào)求(qiú)設(shè)置防靜電(diàn)環(huán)境,以(yǐ)便抑(yì)製靜電(diàn)的產生(shēng),將已產生(shēng)的靜電迅速,安全(quán)的排除。
11,電(diàn)子工業潔(jié)淨(jìng)室(shì)友有(yǒu)對防微振的特殊要求,在廠(chǎng)地(dì)環境(jìng)上(shàng)應避開(kāi)振動(dòng)源。
12,電子(zǐ)工業(yè)潔(jié)淨室除有(yǒu)一般(bān)給(gěi)排水要求(qiú)外(wài),對(duì)超(chāo)大規格集(jí)成(chéng)電路的用(yòng)水(shuǐ)也(yě)有(yǒu)標(biāo)準。
電(diàn)子潔淨(jìng)室(shì)的環境(jìng)參數:
參(cān)數(shù) | 數(shù) 值 | 說 明 |
截麵(miàn)風速/(M/S) | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔(jié)淨度1-3級(jí)(ISO)潔(jié)淨室 潔淨(jìng)度4-5級(ISO)潔淨室(shì) |
換(huàn)氣次數/(次/H) | 50-60 15-25 10-15 | 潔淨度(dù)6級(ISO)潔淨室 潔淨(jìng)度7級(ISO)潔淨室(shì) 潔(jié)淨度8-9級(jí)(ISO)潔淨(jìng)室 |
靜(jìng)壓差/Pa | >5 >10 | 不(bù)同等級(jí)潔(jié)淨(jìng)室之間以及潔淨室(shì)與(yǔ)非潔淨(jìng)室(shì) 之間(jiān)潔(jié)淨室與室(shì)外(wài)之(zhī)羊(yáng) |
溫度(dù)/℃ | 18-22 16-20 按具體(tǐ)工程項目(mù)要求(qiú)24-26 26-28 按具體工(gōng)程項目要求(qiú) | 工藝無要求時(shí)的生產(chǎn)環境 人員(yuán)淨化及(jí)生活(huó)用(yòng)房 工(gōng)藝有(yǒu)要求時的生產環(huán)境 工藝(yì)無要(yào)求(qiú)時的(dí)生(shēng)產(chǎn)環(huán)境 人(rén)員淨化及生活用(yòng)房 工藝(yì)有(yǒu)要求時(shí)的生產環境(jìng) |
相對(duì)濕(shī)度(dù)/% 冬 夏 | 30-50 按具(jù)體(tǐ)工程項目要(yào)求 50-70 按(àn)具體工(gōng)程項(xiàng)目要(yào)求(qiú) | 工藝(yì)無要(yào)求時的生產環境(jìng) 工(gōng)藝有要(yào)求(qiú)時的生(shēng)產環(huán)境 工藝(yì)無(wú)要(yào)求(qiú)時的(dí)生(shēng)產(chǎn)環(huán)境(jìng) 工藝(yì)有要求(qiú)時(shí)的(dí)生產環境(jìng) |
新(xīn)風量/[M3/(人(rén).H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單(dān)向流(liú)及單(dān)向流與(yǔ)非單向流並存的(dí)潔淨(jìng)室 |
照(zhào)度/lX | 300-500 200-300 | 非(fēi)單向(xiàng)流(liú)潔(jié)淨室主要(yào)生產(chǎn)用房(fáng)(有低(dī)照度(dù)要求的如光(guāng)刻,顯示(shì)器(qì)件等除(chú)外(wài)) 其它用(yòng)房 |
照度(dù)均匀(yún)度 | 0.7 | |
靜電表麵電(diàn)阻率(shuài) | 1*105—1*1010 | 一(yī)級標(biāo)準(zhǔn)為1*105—1*107 |
靜電(diàn)體積(jī)電(diàn)阻(zǔ)率 | 1*104-1*109 | |
地麵(miàn)對地(dì)的漏(lòu)泄電(diàn)阻(zǔ) | *105-1*108 | |
靜電(diàn)壓(yā) | <50(45%相對濕度) | 4級(jí)(ISO)以(yǐ)上(shàng)潔淨(jìng)室(shì) |
振(zhèn)動(dòng)速(sù)度 振(zhèn)動加速(sù)度 振幅 相對(duì)位移量 | 根據(jù)工藝(yì)或精密(mì)設備(bèi),儀器儀(yí)表(biǎo)特性確(què)定(dìng)或參照國標《隔(gé)振設計規範》 | |
電磁(cí)幹擾(rǎo) | 4級(jí)(ISO)以上潔淨(jìng)室,當(dāng)潔淨室靠近高壓(yā)輸配電設(shè)施時(shí)尤為重(zhòng)要(yào) |