ISO 14644明確規定此項測試(shì)，並(bìng)指(zhǐ)出特別是對於1～5級高級別潔淨室應(yīng)有效的進行(háng)此項測(cè)試(shì)。此項測試的目(mù)的(dí)是用以測(cè)定(dìng)有無受汙(wū)染的空氣從周圍具有相同或不同(tóng)靜壓(yā)的非(fēi)受(shòu)控區(qū)侵(qīn)入到潔淨區，以(yǐ)評(píng)估潔(jié)淨(jìng)室受周(zhōu)邊汙染的(dí)風險，為采取相應措施提(tí)供(gōng)依(yī)據。此項測試(shì)可采用離(lí)散(sàn)粒子(zǐ)計數器或(huò)氣溶(róng)膠光(guāng)度計。
1，使用離散粒子(zǐ)計數器測(cè)試(shì)汙染(rǎn)滲漏
（1）測(cè)量(liáng)緊靠(kào)被(bèi)評估潔淨室外部(bù)的粒子濃(nóng)度，該濃(nóng)度應(yīng)該比(bǐ)潔(jié)淨(jìng)室(shì)高出10⁴倍，並(bìng)且其(qí)濃(nóng)度(dù)至(zhì)少(shǎo)等於(yú)3.5*10⁶個(gè)待測粒徑的粒(lì)子(zǐ)。如果(guǒ)濃(nóng)度小(xiǎo)於該(gāi)值，為確保測(cè)試的可(kě)靠(kào)性應使(shǐ)用氣溶(róng)膠(jiāo)發生器(qì)生(shēng)成(chéng)氣(qì)溶膠，以提高相鄰外部空(kōng)氣中懸(xuán)浮粒子的(dí)濃度(dù)。
（2）檢(jiǎn)查通(tōng)過施(shī)工接縫(féng)或裂(liè)縫的滲漏(lòu)情況(kuàng)時，要(yào)在潔淨(jìng)室內(nèi)離待測縫隙或齧(niè)合麵(miàn)5～10cm距離(lí)上(shàng)進(jìn)行掃描(miáo)，其掃描(miáo)速(sù)度約(yuē)為5cm/s。
（3）當檢查敞(chǎng)開(kāi)門廊(láng)處(chǔ)的(dí)侵入情(qíng)況時(shí)，應在(zài)潔(jié)淨(jìng)室內距開敞門(mén)口(kǒu)0.3～3.0m的(dí)距離(lí)上測(cè)量(liáng)。
（4）記錄(lù)並報告較(jiào)所測得的外部氣溶膠(jiāo)粒子(zǐ)濃度大(dà)於10^-3倍的讀(dú)值(zhí)。
2，使(shǐ)用(yòng)氣(qì)溶(róng)膠(jiāo)光(guāng)度(dù)計測(cè)試汙染(rǎn)滲漏
按照在現(xiàn)場(cháng)檢(jiǎn)漏高效空氣過濾器時相同(tóng)的(dí)要(yào)求(qiú)，在潔(jié)淨(jìng)室(shì)或(huò)潔淨(jìng)設施處生成足(zú)夠高濃度(dù)的氣(qì)溶膠(jiāo)，使得氣溶(róng)膠光(guāng)度計(jì)在(zài)0.1%設(shè)定值時(shí)超(chāo)負荷，氣(qì)溶膠光度(dù)計在(zài)0.1%設(shè)定值(zhí)的讀(dú)值超(chāo)過0.01%就(jiù)表(biǎo)明(míng)有滲漏。
當檢查通過施工(gōng)裂縫(féng)或焊縫(féng)的(dí)滲漏情(qíng)況(kuàng)時(shí)，要(yào)在離(lí)待測縫或(huò)密封(fēng)表(biǎo)麵5～10cm的距離上掃描封閉體(tǐ)內部(bù)，掃(sǎo)描(miáo)速度(dù)約(yuē)為5cm/s。
當(dāng)檢查(chá)敞開的(dí)門廊處(chǔ)的侵(qīn)入情況(kuàng)時，在(zài)距(jù)離敞(chǎng)開(kāi)的門(mén)0.3～1m的距(jù)離上(shàng)測量(liáng)封(fēng)閉體內部的濃度。
記(jì)錄(lù)並(bìng)報告所有(yǒu)超(chāo)過氣(qì)溶膠(jiāo)光(guāng)度計(jì)0.01%標度(dù)的(dí)讀(dú)數(shù)。
3，測試報(bào)告(gào)
除去(qù)測試報(bào)告常規的各項內容(róng)外，還(huán)應(yīng)特別(bié)報告：
（1）數據采(cǎi)集方(fāng)法及相(xiāng)關細節(jié)；
（2）測量(liáng)點(diǎn)的(dí)位(wèi)置；
（3）測(cè)量(liáng)工(gōng)作在(zài)潔(jié)淨室(shì)所處何(hé)種(zhǒng)狀態(tài)下進行(háng)。