氣流目檢(jiǎn)的(dí)目的(dí)是確(què)認(rèn)潔淨室(shì)或(huò)設施(shī)中氣(qì)流的(dí)空間與時(shí)間特性(xìng)，這是整個測(cè)試(shì)程序的(dí)組成部(bù)分。為(wéi)了(liǎo)有效的(dí)稀釋或(huò)排替(tì)室(shì)內空氣(qì)的懸浮汙(wū)染(rǎn)物(wù)，從而(ér)防止室內的汙染積累，以維(wéi)持(chí)其所(suǒ)需(xū)的潔淨度。因此(cǐ)，室(shì)內(nèi)合(hé)理的氣流流型，以(yǐ)及(jí)充(chōng)分的氣(qì)流(liú)流(liú)動至關重(zhòng)要。
為保(bǎo)證關(guān)鍵區(qū)域(yù)達到潔淨的水(shuǐ)平，希望(wàng)送(sòng)風(fēng)直接來自(zì)高效過濾(lǜ)器(qì)出風口，但(dàn)設(shè)備，照明(míng)燈具所(suǒ)產(chǎn)生的(dí)熱量有(yǒu)可(kě)能(néng)幹擾氣(qì)流(liú)，障礙(ài)物會(huì)妨(fáng)礙(ài)送風進入關(guān)鍵(jiàn)區；障礙(ài)物或(huò)工藝設(shè)備的外形，可(kě)使(shǐ)單向流變(biàn)成(chéng)紊流(liú)等。通過目檢(jiǎn)氣(qì)流(liú)的運動(dòng)狀(zhuàng)況，可(kě)以(yǐ)發(fā)現(xiàn)是否(fǒu)存(cún)在上(shàng)述相關情況，可以(yǐ)發(fā)現在哪(nǎ)些部(bù)位形(xíng)成了(liǎo)渦(wō)流，不利於(yú)汙染(rǎn)物(wù)排除。
1，氣(qì)流(liú)目檢(jiǎn)的(dí)方(fāng)法(fǎ)
可用(yòng)以(yǐ)下(xià)3種(zhǒng)方法(fǎ)進(jìn)行氣流目(mù)檢：
（1）示蹤(zōng)綫(xiàn)法
（2）示蹤(zōng)劑注(zhù)入法(fǎ)
（3）用(yòng)圖像處理技(jì)術(shù)檢測氣流的方(fāng)法(fǎ)
前(qián)兩(liǎng)種(zhǒng)方法實際上是用置(zhì)於流場(cháng)的(dí)纖維(wéi)示(shì)蹤，或(huò)利用引入流場(cháng)的示蹤微粒物質來目檢潔淨(jìng)室(shì)或(huò)潔(jié)淨(jìng)設(shè)施中氣流的流向(xiàng)。用攝像機(jī)，化學膜(mó)，磁盤或(huò)磁帶記錄下(xià)各不(bù)同位(wèi)置氣流(liú)的分布圖(tú)。
目檢(jiǎn)中所采用的纖(xiān)維示蹤(zōng)綫或示蹤(zōng)微(wēi)粒應(yīng)對(duì)潔(jié)淨室無汙染，同(tóng)時能確切(qiē)的(dí)跟隨(suí)，反映氣流的流綫(xiàn)。
第三種方(fāng)法適用於要(yào)求量化(huà)潔淨室(shì)或設(shè)施內氣(qì)流速(sù)度分(fēn)布的(dí)情況(kuàng)，這(zhè)種方法是(shì)基於示蹤粒子(zǐ)的計算(suàn)機(jī)圖像處(chǔ)理技(jì)術，對(duì)檢(jiǎn)測(cè)設備(bèi)的(dí)要(yào)求(qiú)較高(gāo)。
2，氣流(liú)目檢的(dí)操作(zuò)
無論采用何種(zhǒng)方法，在(zài)檢(jiǎn)測(cè)中都(dū)要(yào)格外(wài)注(zhù)意(yì)防(fáng)止操作者(zhě)幹擾正在進行(háng)考察(chá)的氣(qì)流(liú)。具體操作方法(fǎ)如(rú)下：
（1）示蹤(zōng)綫(xiàn)法(fǎ)
通(tōng)常(cháng)把(bǎ)單根尼龍纖維，絲(sī)綫或(huò)塑料薄膜帶(dài)等輕柔物(wù)質(zhì)固(gù)定在(zài)支撐杆(gān)的尖頂，並(bìng)將(jiāng)其置於氣流中或綁紮(zā)在處(chǔ)於氣流中(zhōng)的(dí)細鋼(gāng)絲網格的交(jiāo)叉(chā)點處(chǔ)，以觀(guān)察氣(qì)流的(dí)方(fāng)向和(hé)因(yīn)幹擾(rǎo)引起的(dí)氣流波動。為觀(guān)察方便，清晰，較強的照(zhào)明是必要的。
（2）示蹤劑(jì)注(zhù)入(rù)法
通(tōng)常(cháng)采(cǎi)用(yòng)的示蹤(zōng)材料如(rú)去離(lí)子(zǐ)水(shuǐ)，噴霧法或(huò)化學法生成乙醇(chún)/正(zhèng)二醇(chún)等材料的示蹤(zōng)粒(lì)子(zǐ)。要(yào)求示(shì)蹤(zōng)劑對環(huán)境(jìng)，特別是(shì)對潔淨室(shì)及(jí)設備表(biǎo)麵無汙(wū)染(rǎn)，同時(shí)便(biàn)於形成(chéng)合適(shì)的粒子尺(chǐ)寸。過小(xiǎo)液滴(dī)尺(chǐ)寸不(bù)利於(yú)圖像處(chǔ)理技(jì)術(shù)的(dí)圖(tú)像(xiàng)質(zhì)量(liáng)，過大的液(yè)滴尺(chǐ)寸又(yòu)可能在運(yùn)動過程(chéng)中受(shòu)重(zhòng)力和(hé)其他力作用的影響(xiǎng)而(ér)偏(piān)離(lí)氣流(liú)流(liú)綫。測試(shì)中(zhōng)靠(kào)高強度光源在隨(suí)氣(qì)流(liú)運動的(dí)示(shì)蹤(zōng)粒子表麵(miàn)形成的反(fǎn)射，便(biàn)於測試(shì)者用眼睛觀(guān)察或(huò)用(yòng)設(shè)備(bèi)形(xíng)成圖(tú)像，來(lái)判(pàn)定(dìng)氣流(liú)的(dí)方向和均(jūn)匀(yún)性。
（3）用圖像(xiàng)處理技術檢(jiǎn)測氣流(liú)的方(fāng)法
采用上(shàng)述示蹤劑注(zhù)入(rù)法(fǎ)得到的在攝(shè)像機或(huò)膜(mó)上的(dí)粒(lì)子圖像數(shù)據(jù)，用(yòng)配置(zhì)有(yǒu)適用接口的(dí)計算機，通(tōng)過記(jì)錄(lù)相關資料(liào)數(shù)字的處(chǔ)理軟(ruǎn)件，在計算(suàn)機(jī)屏(píng)幕上可(kě)觀看氣流(liú)特(tè)性，還(huán)在所(suǒ)觀測(cè)氣(qì)流(liú)中可輔(fǔ)以激光(guāng)光(guāng)源等裝置以提(tí)高(gāo)其空(kōng)間分辨率。
3，關(guān)於氣流(liú)流(liú)型的測點布(bù)置
ISO 14644等(děng)相(xiāng)關標(biāo)準對測(cè)點(diǎn)布(bù)置(zhì)未(wèi)作規(guī)定(dìng)，建議由用(yòng)戶與供(gōng)應商(shāng)協商，選(xuǎn)擇測量點的(dí)數(shù)目和位置(zhì)，測(cè)試(shì)點或平麵位置定(dìng)在臨界(jiè)工作平麵(miàn)內。如(rú)果(guǒ)要評估氣(qì)流方(fāng)向(xiàng)的(dí)均匀(yún)性，則(zé)宜選擇(zé)較(jiào)多的測點(diǎn)。因此(cǐ)，一般由測試單位按常(cháng)規提(tí)出方案，征(zhēng)得用(yòng)戶(hù)和供應商，承(chéng)包商認(rèn)同即可。
國內行業標(biāo)準JGJ71-90《潔淨室(shì)施(shī)工及驗收規(guī)範》中，作了(liǎo)如(rú)下規(guī)定：
（1）垂直單向流潔(jié)淨(jìng)室(shì)選擇(zé)縱(zòng)，橫剖麵各1個，以(yǐ)及(jí)距(jù)地麵高度0.8m，1.5m的(dí)水平麵各(gè)1個(gè)；水平單(dān)向(xiàng)流潔淨(jìng)室選(xuǎn)擇縱(zòng)剖麵(miàn)和工作區(qū)高(gāo)度水平麵各(gè)1個(gè)，以(yǐ)及距(jù)送，回風(fēng)牆麵0.5m和房(fáng)間(jiān)中(zhōng)心(xīn)處(chǔ)3個橫(héng)剖(pōu)麵。所有(yǒu)麵上的測點間(jiān)距均(jūn)為0.2～1m。
（2）亂流潔(jié)淨室選擇通過代(dài)表(biǎo)性送風(fēng)口(kǒu)中心(xīn)的(dí)縱，橫(héng)剖(pōu)麵和(hé)工(gōng)作(zuò)區(qū)高(gāo)度的(dí)水(shuǐ)平麵各(gè)1個。剖(pōu)麵(miàn)上(shàng)測點間(jiān)距(jù)為(wéi)0.2～0.5m，水平麵上測點間(jiān)距為0.5～1m，兩個(gè)風(fēng)口之(zhī)間(jiān)的(dí)中(zhōng)心(xīn)綫(xiàn)上應(yīng)有(yǒu)測(cè)點(diǎn)。
4，測(cè)試報(bào)告
按(àn)照用(yòng)戶(hù)與(yǔ)供應(yīng)商(shāng)，承包商的協議(yì)，在報告中應提(tí)供以下資料(liào)和(hé)數(shù)據：
（1）測試單位(wèi)的名(míng)稱(chēng)，通信(xìn)資料，測試人(rén)姓(xìng)名，測試(shì)日期(qī)；
（2）所(suǒ)測潔(jié)淨室或(huò)設施名稱(chēng)及毗鄰(lín)區(qū)域(yù)的名(míng)稱，測(cè)試點坐標；
（3）參照(zhào)的相關標準編(biān)號，版本日期(qī)，的性能標準(zhǔn)及潔淨室(shì)所處(chǔ)狀(zhuàng)態(tài)；
（4）由雙方(fāng)認可(kě)的，所采用的測試方法(fǎ)與常(cháng)規方法(fǎ)不(bù)同(tóng)之處或(huò)特殊條件(jiàn)；
（5）測試儀(yí)器(qì)的名(míng)稱及其校準(zhǔn)狀態；
（6）測試(shì)類型，目(mù)檢方法和(hé)測試條件(jiàn)；
（7）目(mù)檢點位置(zhì)；
（8）按規(guī)定記錄的(dí)圖像(xiàng)，采用(yòng)圖像處(chǔ)理技術或速度分(fēn)布(bù)測量(liáng)時，各(gè)次(cì)測量(liáng)的原(yuán)始(shǐ)數據。