一，地(dì)板(bǎn)電(diàn)阻檢測(cè)步(bù)驟(zhòu)
：
檢(jiǎn)測(cè)目的
：測定潔淨(jìng)室地(dì)板(bǎn)的接地電阻(zǔ)值(zhí)。
檢(jiǎn)測儀(yí)器設備(bèi)
：3M型701 5磅(bàng)帶導電(diàn)橡(xiàng)膠(jiāo)電極(jí)檢測儀
檢測條(tiáo)件(jiàn)
：靜態(tài)
平均(jūn)值
：0.1～10MΩ（ ISO 4級潔淨室與(yǔ)更衣室）
檢測(cè)步(bù)驟(zhòu)
：
1，預檢查(chá)測試點在整(zhěng)個潔(jié)淨室(shì)範圍內隨(suí)機(jī)選(xuǎn)擇。
2，在檢測過程中測試電壓為100V並持續15s。
3，接(jiē)地(dì)電(diàn)阻(zǔ)的(dí)測量方法為將電極組(zǔ)件(jiàn)置(zhì)於(yú)所選擇的地板。電阻(zǔ)計(jì)的另一頭接到(dào)合適(shì)的接地(dì)點。
4，將電(diàn)極(jí)放(fàng)置在所選地板(bǎn)的(dí)中(zhōng)心(xīn)位(wèi)置(zhì)，讀(dú)值(zhí)並(bìng)記錄2次。
5，潔(jié)淨室(shì)的(dí)平均接(jiē)地電阻(zǔ)由記錄(lù)的(dí)數(shù)據計(jì)算得(dé)出(chū)。
二，氣(qì)流(liú)平行度檢(jiǎn)測(cè)步驟(zhòu)
檢(jiǎn)測(cè)目(mù)的(dí)
：驗證潔(jié)淨室氣流平行(háng)度（僅針對ISO 4級(jí)單向(xiàng)流潔(jié)淨室）
檢(jiǎn)測(cè)裝置(zhì)
：單絲飄帶(dài)，測(cè)量卷(juàn)尺，指(zhǐ)針(zhēn)，支(zhī)架。
檢測(cè)條(tiáo)件(jiàn)
：靜態(tài)
大角(jiǎo)度(dù)偏(piān)差
：≤14°
大(dà)允(yǔn)許(xǔ)距離
：≤31cm
檢(jiǎn)測(cè)步驟
：
1，將單(dān)絲飄帶(dài)懸(xuán)掛(guà)在(zài)過濾器(qì)表麵(miàn)，其位置(zhì)分布大(dà)致反(fǎn)映房(fáng)間(jiān)氣(qì)流場。
2，使用(yòng)測量卷尺或(huò)直尺(chǐ)，量度並記(jì)錄距地麵(miàn)1m處(chǔ)的(dí)垂直偏差。