維(wéi)持(chí)潔(jié)淨(jìng)室的靜壓(yā)差(chà)在(zài)規(guī)定的範圍內，可以有效(xiào)控製潔(jié)淨(jìng)室(shì)的交叉(chā)汙(wū)染。通(tōng)常所(suǒ)說的正(zhèng)壓(yā)潔淨室和(hé)負壓(yā)潔(jié)淨室，其(qí)實是(shì)反(fǎn)應它(tā)與相鄰(lín)空間(jiān)的壓(yā)力(lì)差ΔP，如果ΔP＞0，該潔淨室(shì)就(jiù)是正(zhèng)壓(yā)潔(jié)淨室(shì)；若ΔP＜0，則為(wéi)負(fù)壓潔淨室。所(suǒ)以，潔(jié)淨室的靜壓(yā)沒(méi)有(yǒu)太大意義(yì)，我們要控製的是(shì)潔(jié)淨室(shì)與相鄰潔淨室或室外的壓力(lì)差(chà)。
1，檢測要求
（1）靜壓差(chà)的(dí)檢測須(xū)在(zài)潔淨(jìng)區內(nèi)的所(suǒ)有門全部關閉的(dí)情況下(xià)進行。
（2）測試順(shùn)序(xù)應在潔(jié)淨室平麵上由(yóu)潔淨(jìng)度(dù)高的潔(jié)淨室到(dào)潔淨度低的潔淨(jìng)室（或走(zǒu)廊）依次(cì)進行(háng)，一直(zhí)檢(jiǎn)測(cè)到(dào)直通(tōng)室外的房間(jiān)。
（3）測(cè)管口應(yīng)設(shè)在(zài)潔淨室(shì)內沒(méi)有(yǒu)氣流影響(xiǎng)的(dí)地(dì)方，測(cè)管口平(píng)麵應與(yǔ)氣(qì)流方(fāng)向平行(háng)。
2，測量(liáng)儀器(qì)
采(cǎi)用YJB-150補償微壓計(jì)或微差壓力計(jì)，儀器靈(líng)敏(mǐn)度(dù)由(yóu)被測(cè)環境壓(yā)差控製精度而定(dìng)，宜小(xiǎo)於(yú)0.1Pa，規範要求靈敏度不應低(dī)於(yú)2.1Pa。
3，測(cè)試(shì)方(fāng)法
（1）關閉(bì)所(suǒ)有(yǒu)的(dí)門。
（2）用微差壓力計，根據預(yù)先設計的(dí)測定順(shùn)序(xù)測量各潔淨室之間，潔淨(jìng)室與(yǔ)潔(jié)淨(jìng)走(zǒu)廊(láng)之(zhī)間，潔淨(jìng)室與非潔(jié)淨室之(zhī)間(jiān)及(jí)非潔(jié)淨(jìng)室與室(shì)外的壓差(chà)。
（4）上(shàng)述(shù)所測(cè)數值(zhí)分別標注在已畫好(hǎo)的測試平麵(miàn)圖上。
4，合(hé)格標(biāo)準
按(àn)上(shàng)述(shù)測試平麵圖所標注的(dí)壓差數據，分(fēn)別與(yǔ)設計(jì)或工(gōng)藝要(yào)求(qiú)的壓差(chà)值對(duì)比。若實(shí)測壓差大於(yú)或等於要求(qiú)的(dí)壓差值，則(zé)判(pàn)定(dìng)為合格；但(dàn)實測(cè)壓差值(zhí)不宜超(chāo)出標準要求(qiú)的壓(yā)差太多，否則會(huì)產生噪(zào)聲(shēng)且(qiě)影響開(kāi)關門，嚴重時(shí)還(huán)會在開關(guān)門時(shí)影響氣流(liú)組織(zhī)。