1，振動(dòng)儀(yí)
振動(dòng)儀(yí)主要是用(yòng)於測(cè)定(dìng)潔淨(jìng)室(shì)地基的(dí)振動，一(yī)般靈敏(mǐn)度較(jiào)高，量(liáng)程較小，多數屬(shǔ)於(yú)微(wēi)米級(jí)。振(zhèn)動儀(yí)的(dí)主要(yào)參數(shù)是振(zhèn)幅(fú)和(hé)頻(pín)率。
2，氣(qì)體濃度測試儀
氣體濃度(dù)測試儀(yí)是一個(gè)大(dà)類(lèi)，不(bù)同的(dí)氣(qì)體有(yǒu)不同(tóng)的(dí)測試儀器(qì)，同一(yī)種(zhǒng)氣(qì)體也有不同的(dí)測試(shì)儀器(qì)，不(bù)同(tóng)的(dí)濃(nóng)度往(wǎng)往(wǎng)需(xū)要不同的測(cè)試(shì)儀器，所(suǒ)以隻能(néng)具體問題(tí)具體(tǐ)分析(xī)。概(gài)括的(dí)講，氣體濃(nóng)度測(cè)試方法分(fēn)為(wéi)兩(liǎng)大(dà)類：
一類是使用直讀(dú)儀(yí)器，也(yě)就(jiù)是使(shǐ)用(yòng)能直接讀出(chū)氣(qì)體濃度數(shù)值的儀器。這(zhè)種(zhǒng)儀器一般是由化學傳(chuán)感器和數字顯示係(xì)統(tǒng)組成(chéng)，現場檢測(cè)，直接讀(dú)出氣體濃(nóng)度(dù)。這種(zhǒng)儀(yí)器的(dí)特點(diǎn)是(shì)使用(yòng)方便(biàn)，速(sù)度快，但往往靈(líng)敏(mǐn)度不高，壽命(mìng)較短。
另一(yī)類是(shì)采樣後用儀器分析(xī)，也就是(shì)先用(yòng)采樣器(qì)采(cǎi)取氣(qì)體樣(yàng)品，帶回(huí)實(shí)驗(yàn)室(shì)後用儀(yí)器進行分析，獲(huò)得氣體(tǐ)濃(nóng)度的數據。采(cǎi)樣的方(fāng)式分為兩大(dà)類(lèi)：一類是直接(jiē)采取被(bèi)檢(jiǎn)測的(dí)氣體(tǐ)；另一類是將需要(yào)檢測(cè)的(dí)氣(qì)體吸收到用(yòng)化(huà)學試(shì)劑(jì)配製(zhì)的液體(tǐ)中(zhōng)，有(yǒu)時吸收液(yè)還要經(jīng)過一係(xì)列(liè)的(dí)化(huà)學(xué)處理(lǐ)，才能送入儀器(qì)中分析(xī)。此類(lèi)測試(shì)方法的特點(diǎn)是操(cāo)作(zuò)比較(jiào)麻(má)煩(fán)，速(sù)度較(jiào)慢，但(dàn)一(yī)般靈敏度(dù)較高(gāo)，可靠性(xìng)較強(qiáng)。
3，氣溶膠(jiāo)發生(shēng)器
氣(qì)溶膠發生器實(shí)際(jì)上是一(yī)種(zhǒng)能向(xiàng)氣體中(zhōng)發散(sàn)顆(kē)粒(lì)物的設備。潔淨(jìng)行業(yè)習慣將含(hán)有顆粒物(wù)的氣體稱為氣溶(róng)膠，所以將向(xiàng)氣體中發(fā)散(sàn)顆粒(lì)物的設(shè)備稱(chēng)為氣(qì)溶膠發生(shēng)器(qì)。如果(guǒ)發散顆(kē)粒物是標準的則稱(chēng)為(wéi)“標準顆粒發(fā)霧器(qì)”。能夠製(zhì)造標準顆粒(lì)，並且直(zhí)接將(jiāng)標準顆粒發散(sàn)到(dào)超(chāo)淨氣體中(zhōng)的設備(bèi)稱為“標準顆粒發生器”。
4，靜電(diàn)測(cè)試儀
靜電測(cè)試儀有許多種類，例(lì)如(rú)靜(jìng)電電壓(yā)計(jì)，高阻電阻(zǔ)計，充電板(bǎn)監測(cè)儀等(děng)。
5，顯微鏡
顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)是(shì)檢測(cè)顆粒(lì)尺度(dù)直觀的(dí)儀器(qì)，所(suǒ)以標準(zhǔn)顆粒盡量使用顯微(wēi)鏡(jìng)進(jìn)行(háng)標定(dìng)。顯(xiǎn)微鏡的種(zhǒng)類繁(fán)多(duō)，比較可(kě)靠的是光學顯(xiǎn)微(wēi)鏡和電(diàn)子顯(xiǎn)微鏡。
（1）光(guāng)學顯微鏡(jìng)
光(guāng)學(xué)顯微(wēi)鏡(jìng)有三(sān)大類(lèi)：一類是(shì)生物(wù)顯(xiǎn)微鏡(jìng)。其特點是光(guāng)綫(xiàn)透(tòu)過樣(yàng)品成(chéng)像，可以(yǐ)理(lǐ)解為是透射式光學顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)。主要應用(yòng)於(yú)生(shēng)物，醫(yī)學行(háng)業(yè)，所(suǒ)以稱為生(shēng)物顯(xiǎn)微鏡。二類(lèi)是(shì)金相(xiāng)顯微鏡，特點是使用(yòng)樣(yàng)品的反(fǎn)射光成像，可以理(lǐ)解為是(shì)反(fǎn)射式(shì)光學(xué)顯微鏡(jìng)。主要應用於(yú)冶(yě)金，機械行業，所(suǒ)以稱為(wéi)金相顯(xiǎn)微鏡。三類是岩相(xiāng)顯微鏡(jìng)，特點(diǎn)是使用偏振光成(chéng)像，可以(yǐ)理解為(wéi)是(shì)偏振光(guāng)學顯(xiǎn)微鏡(jìng)。主要應用(yòng)於岩(yán)石(shí)，礦(kuàng)物行業(yè)，所以稱(chēng)為岩相顯微鏡。
光(guāng)學(xué)顯(xiǎn)微鏡的(dí)優點是(shì)：放大倍數(shù)穩定，操作比(bǐ)較簡單；缺點是(shì)：放(fàng)大倍(bèi)數(shù)，分辨力(lì)都(dū)不高，不(bù)能用(yòng)於測(cè)定(dìng)小(xiǎo)的(dí)顆粒。光學顯(xiǎn)微(wēi)鏡一(yī)般隻(zhī)能看到不(bù)小於0.5um的(dí)顆(kē)粒，能夠檢(jiǎn)測(cè)不(bù)小(xiǎo)於(yú)5um的直徑。對(duì)於小顆(kē)粒(lì)需要使用(yòng)電(diàn)子顯(xiǎn)微鏡。
（2）電子顯微鏡
電子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡(jìng)就是使(shǐ)用電子成(chéng)像的顯微鏡。電(diàn)子(zǐ)顯微(wēi)鏡有(yǒu)許多(duō)種類(lèi)，其中(zhōng)常(cháng)用(yòng)和比(bǐ)較成熟(shú)的(dí)有兩大(dà)類(lèi)：透(tòu)射(shè)電(diàn)子顯微鏡和(hé)掃(sǎo)描電子顯(xiǎn)微鏡(jìng)。
1）透射電子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡。透(tòu)射(shè)電(diàn)子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡的(dí)成像(xiàng)原理(lǐ)類似於生(shēng)物顯微鏡，隻是用電子代替(tì)了可(kě)見(jiàn)光，用電磁透鏡代(dài)替了(liǎo)玻璃透(tòu)鏡(jìng)。透射電(diàn)子(zǐ)顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)可以(yǐ)將物體(tǐ)放(fàng)大上(shàng)百萬倍(bèi)，可以(yǐ)看到小(xiǎo)於1nm的物(wù)體(tǐ)，用於測量(liáng)顆粒物綽(chuò)綽有(yǒu)餘。用顯微(wēi)鏡測量(liáng)物(wù)體的(dí)尺度，需要有長(cháng)度(dù)標(biāo)準(zhǔn)器具，長(cháng)度標(biāo)準器具(jù)的(dí)形(xíng)狀(zhuàng)和分度(dù)需要穩(wěn)定(dìng)。然而(ér)透(tòu)射電子(zǐ)顯微(wēi)鏡是使用電子透過樣品(pǐn)成像，電子的穿(chuān)透(tòu)能力(lì)很差，即(jí)使(shǐ)是(shì)10萬伏(fú)電壓(yā)加速(sù)的電子，也不(bù)能穿(chuān)透100nm厚(hòu)的(dí)物體(tǐ)。厚度小於(yú)100nm的物(wù)體非常(cháng)柔嫩，即(jí)使是鋼鐵或(huò)礦石，也會像(xiàng)塑料薄膜(mó)那樣隨風漂浮，其(qí)形狀和尺度都不穩定。因此(cǐ)，直(zhí)到(dào)現在還沒有(yǒu)合理(lǐ)合(hé)法可供透(tòu)射(shè)電子顯微(wēi)鏡使用的(dí)長(cháng)度標(biāo)準(zhǔn)器(qì)具(jù)，所以還不具備用透射電(diàn)子(zǐ)顯(xiǎn)微(wēi)鏡(jìng)測(cè)量標準顆(kē)粒尺度的充分(fēn)條件。
2）掃描電(diàn)子顯(xiǎn)微(wēi)鏡。掃(sǎo)描(miáo)電(diàn)子顯微鏡(jìng)有點像(xiàng)金相顯(xiǎn)微鏡，成像電子(zǐ)不穿過(guò)樣(yàng)品(pǐn)。掃描電(diàn)子顯微鏡是用高(gāo)能(néng)電(diàn)子照射樣品(pǐn)，激發樣品發射二(èr)次(cì)電子(zǐ)，利用(yòng)二次電子成像。由(yóu)於二次電(diàn)子的(dí)能量(liáng)較小，運動(dòng)的速(sù)度較(jiào)慢(màn)，不能像(xiàng)金(jīn)相顯微鏡或(huò)透(tòu)射(shè)電子顯(xiǎn)微鏡(jìng)那樣(yàng)聚(jù)焦成(chéng)像(xiàng)，隻能通(tōng)過逐點掃(sǎo)描(miáo)，點點對應(yīng)成(chéng)像(xiàng)。掃描電子顯微(wēi)鏡的放(fàng)大(dà)倍數(shù)和分辨力雖然沒(méi)有透射(shè)電子顯微鏡高，但是(shì)也能放大幾(jī)十萬倍(bèi)，可(kě)以看(kàn)到(dào)幾個(gè)納米(mǐ)的物體，用(yòng)於(yú)測量大於10nm的顆(kē)粒物(wù)是可(kě)行(háng)的(dí)。更重要的是(shì)：掃(sǎo)描(miáo)電(diàn)子(zǐ)顯(xiǎn)微鏡(jìng)可以觀(guān)察很厚(hòu)的樣(yàng)品，容易(yì)製(zhì)造(zào)長(cháng)度(dù)標準器具。已有合(hé)理合法的供(gōng)掃描電(diàn)子顯微鏡使用(yòng)的長(cháng)度標準器具。