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1,認證的(dí)目的和程(chéng)序
潔(jié)淨室工程在(zài)設(shè)計,建造和驗收投入使(shǐ)用後,為(wéi)確保(bǎo)潔淨室使用(yòng)過(guò)程(chéng)中始終能保持(chí)規(guī)定(dìng)的空氣潔(jié)淨(jìng)度(dù)等(děng)級和綜合性(xìng)能參數(shù)要求,防止由於(yú)潔淨室投(tóu)入(rù)使用後的維護(hù)管理(lǐ)不當(dāng)或潔淨室(shì)工(gōng)作(zuò)人員誤操作以及(jí)潔淨空調(tiáo)係(xì)統長(cháng)期運(yùn)轉使(shǐ)空氣(qì)過濾器性能(néng)變(biàn)化(huà),或(huò)者是潔(jié)淨(jìng)室周(zhōu)圍環(huán)境的突發變(biàn)化(huà)如因房屋(wū)拆遷(qiān),潔(jié)淨室內生(shēng)產工藝調(tiáo)整,突發性(xìng)大(dà)氣(qì)塵汙染甚至沙塵暴的(dí)侵(qīn)襲等(děng)各(gè)類(lèi)因索(suǒ)而影響潔(jié)淨(jìng)室的性能(néng)參數,所以投(tóu)入運(yùn)行後潔淨(jìng)室的(dí)日(rì)常監測和定期的綜合性(xìng)能檢測是十分必要的工(gōng)作,通過(guò)檢測(cè)以認(rèn)證潔淨室的綜合性能是否符(fú)合設(shè)計要(yào)求或(huò)產品(pǐn)生產所需的綜(zōng)合(hé)性能參(cān)數要求(qiú)。
(1)潔淨室的(dí)綜合(hé)性(xìng)能(néng)檢測目(mù)的(dí)
通過對空(kōng)氣(qì)潔淨度等(děng)級等方麵的監(jiān)測,記錄(lù),掌(zhǎng)握以下內容:
1)確定(dìng)正常(cháng)運行(háng)。
2)掌(zhǎng)握(wò)能量(liáng)使用情況。
3)發現異常現象並維(wéi)修。
4)查(chá)明發生汙(wū)染的(dí)原因,測定相關數(shù)據。
5)產品(pǐn)質量相關的(dí)資(zī)料。
6)潔淨室的(dí)缺點(運行(háng)上的(dí)缺(quē)點等)。
(2)潔(jié)淨室的認(rèn)證(zhèng)程序
1)由業(yè)主(zhǔ)委(wěi)托專(zhuān)門檢(jiǎn)測(cè)認證單位承擔(dān)潔淨(jìng)室(shì)的(dí)認(rèn)證工作(zuò)。。委托(tuō)可(kě)以(yǐ)是一次性(xìng)的(dí)也(yě)可以是階段(duàn)性的,如(rú)一(yī)年的委托合(hé)約,在(zài)在雙方(fāng)的合(hé)約中應(yīng)明(míng)確委(wěi)托(tuō)認證的(dí)內容(róng),測(cè)試(shì)要求(含(hán)時間間隔(gé)等(děng)),檢測(cè)認證報告內(nèi)容和要(yào)求,認(rèn)證(zhèng)檢測的(dí)進度安排(pái),各方的責任(包括保密(mì)要求等(děng))。
2)認證檢測用儀器(qì)儀表(biǎo)必須(xū)在(zài)標定使(shǐ)用的(dí)有效(xiào)期內(nèi)。
3)認(rèn)證檢測之(zhī)前,潔(jié)淨室的(dí)各功(gōng)能係(xì)統應達(dá)到穩定(dìng)運行,並(bìng)由(yóu)業(yè)主(zhǔ)提供(gōng)穩(wěn)定運行的有關記錄(lù)。
4)按(àn)合約要(yào)求(qiú)逐項(xiàng)進行檢(jiǎn)測,並作詳細記錄。記錄應該清晰,並(bìng)有必要的實測(cè)狀況(kuàng)和(hé)有關問題(tí)的(dí)說(shuō)明(míng)。
5)給(gěi)出認證檢測(cè)報告,並(bìng)明(míng)確說明潔(jié)淨(jìng)室(shì)是否符合規(guī)定要(yào)求及各項綜合性(xìng)能(néng)參數(shù)或(huò)計(jì)算結果。若檢(jiǎn)測結果超過(guò)規定(dìng)的(dí)範圍,說(shuō)明該(gāi)潔淨室(shì)不(bù)合格,檢測認證(zhèng)單位(wèi)應(yīng)提供(gōng)分析(xī)意(yì)見(jiàn)和(hé)改(gǎi)進(jìn)的(dí)建(jiàn)議,由業主或業主委(wěi)托(tuō)有(yǒu)關(guān)單(dān)位進行(háng)改(gǎi)進,*,之後應進行再(zài)認(rèn)證。
2,認(rèn)證內(nèi)容及測試(shì)方(fāng)法
(1)為(wéi)了保(bǎo)證(zhèng)潔淨(jìng)室或潔淨區運行中(zhōng)始(shǐ)終符(fú)合要求,潔(jié)淨(jìng)室(區(qū))認(rèn)證檢測的基本內容包(bāo)含(hán)空(kōng)氣潔淨(jìng)度等(děng)級(jí),靜(jìng)壓差和(hé)風速,風量(liáng)的(dí)測(cè)定。《潔淨(jìng)廠房(fáng)設(shè)計規(guī)範》規(guī)定(dìng):空(kōng)氣潔淨度(dù)等級≤5級(jí),空氣潔淨度(dù)等(děng)級(jí)認證測試(shì)長時間(jiān)間(jiān)隔為6個(gè)月;空氣(qì)潔淨(jìng)度(dù)等級(jí)>5級,空氣潔(jié)淨度等級認證測試長(cháng)時(shí)間間(jiān)隔(gé)為(wéi)12個月(yuè);靜壓差和風(fēng)量(liáng)(風速)認證(zhèng)測(cè)試長時間(jiān)為12個(gè)月(yuè)。
(2)潔(jié)淨室(shì)檢(jiǎn)測認(rèn)證(zhèng)洽商(shāng)選(xuǎn)擇(zé)的測(cè)試內(nèi)容(róng)。由(yóu)於(yú)各行各業的(dí)產品生產(chǎn)工藝或潔(jié)淨室(shì)的(dí)實(shí)際使用情(qíng)況的不(bù)同,潔(jié)淨(jìng)室(shì)(區(qū))認證(zhèng)檢(jiǎn)測(cè)時(shí)不是所有的檢(jiǎn)測項目都(dū)是(shì)必測的檢測內(nèi)容,應(yīng)按具(jù)體潔(jié)淨(jìng)室的(dí)實際情況,由業主與(yǔ)專門認證單位協商確定(dìng),潔淨室(shì)(區)洽(qià)商選擇的測試(shì)要(yào)求如下(xià):過濾器(qì)泄(xiè)漏,氣流(liú)流型(xíng),自淨時間,汙染泄漏,照度,微(wēi)振的長(cháng)檢測間隔時間(jiān)為24個月(yuè);溫度,相對濕度(dù),噪聲的(dí)長檢測間(jiān)隔(gé)時(shí)間為12個月。
對於(yú)有微振要(yào)求(qiú)的潔淨(jìng)室(區),如集成電路生產(chǎn)用潔淨(jìng)室,在潔淨(jìng)室工(gōng)程(chéng)投(tóu)產(chǎn)運(yùn)行(háng)時應進行微振測試,在潔淨室(shì)使(shǐ)用過程中(zhōng)是(shì)否進行(háng)檢測(cè),檢(jiǎn)測(cè)時間間隔(gé)多長,應根據實(shí)際運行(háng)情(qíng)況(kuàng)確(què)定,但當潔淨室(shì)(區)內(nèi)或(huò)周(zhōu)圍環境(jìng)的振動(dòng)狀況(kuàng)有變(biàn)化時,則(zé)應即(jí)時進行檢測(cè)。
3,認證(zhèng)報告(gào)及(jí)內容(róng)
若認證(zhèng)測試結果(guǒ)在(zài)規(guī)定(dìng)值之(zhī)內,說明該潔淨室符合(hé)規定(dìng)要求,若測試結果超(chāo)出(chū)規(guī)定(dìng)值,說(shuō)明該(gāi)潔淨(jìng)室(shì)不符合要求(qiú)須(xū)進行改進(jìn),在改進(jìn)完成後應進(jìn)行再認(rèn)證。
每(měi)次(cì)認證(zhèng)測(cè)試(shì)或再認證(zhèng)測(cè)試(shì)應(yīng)做(zuò)記錄(lù),並(bìng)提交綜(zōng)合性(xìng)能合格與(yǔ)不合(hé)格的綜(zōng)合報告(gào),報應包(bāo)括(kuò)以下內容:
(1)測試(shì)機構(gòu)的名稱,地址。
(2)測(cè)試(shì)日期(qī)和(hé)測試(shì)者(zhě)簽名。
(3)執行標(biāo)準的名稱編(biān)號(hào)及出版(bǎn)日(rì)期。
(4)被測(cè)試的潔淨室或潔淨區的(dí)地址(zhǐ),平(píng)麵(miàn)及(jí)采樣(yàng)點(diǎn)的(dí)特定(dìng)編(biān)號(hào)及(jí)坐(zuò)標(biāo)圖(tú)。