高效空氣(qì)過濾(lǜ)器本體(tǐ)在進(jìn)入現(xiàn)場(cháng)前(qián)，生產廠家應按規定(dìng)進行性(xìng)能實驗檢測（如DOP測試(shì)等(děng)），並提供合(hé)格證(zhèng)(性能實驗結(jié)果)。對於(yú)5級(jí)(100級(jí))以上潔(jié)淨室所(suǒ)使(shǐ)用的高效空(kōng)氣過濾器，在(zài)現場(cháng)應(yīng)再次進行(háng)高效空氣過濾器本(běn)體的(dí)性能檢(jiǎn)測，同時(shí)進行檢(jiǎn)漏試(shì)驗以確(què)認高(gāo)效(xiào)空(kōng)氣(qì)過濾(lǜ)器是否正確安裝(zhuāng)。在大規模集成電(diàn)路生(shēng)產的超潔(jié)淨技(jì)術中(如(rú)0.1um，1級(jí))，由於(yú)新風(fēng)量往往(wǎng)僅(jǐn)是(shì)循(xún)環(huán)風(fēng)量(liáng)的百分(fēn)之幾(jī)，經過(guò)稀釋(shì)上風側(cè)也(yě)變成(chéng)6級(1000級(jí))的程(chéng)度(dù)。在這種情況(kuàng)下，就必(bì)須重(zhòng)新(xīn)考慮(lǜ)采(cǎi)用(yòng)DOP檢漏試驗。
1，檢測要求
（1）一般(bān)采(cǎi)取(qǔ)粒子計數(shù)器(qì)法(fǎ)進(jìn)行檢漏(lòu)，被檢高效(xiào)空氣(qì)過濾(lǜ)器(qì)必(bì)須(xū)已(yǐ)檢(jiǎn)測過風(fēng)量，並(bìng)在設計(jì)風速的(dí)80%～120%進行。
（2）對於被檢高效(xiào)空氣(qì)過濾(lǜ)器上風側的微粒(lì)濃度符合下列(liè)要求：
對(duì)受控(kòng)微粒(lì)≥0.5um的(dí)濃(nóng)度(dù)，必(bì)須大於等於3.5*104pc/L
對(duì)受(shòu)控(kòng)微(wēi)粒≥0.1um的濃(nóng)度，必(bì)須大(dà)於等於(yú)3.5*106～3.5*107pc/L
2，檢測方法
采用掃描(miáo)法(fǎ)對(duì)高(gāo)效空氣過濾器安(ān)裝接縫和主斷(duàn)麵進(jìn)行(háng)檢(jiǎn)測(cè)，監測(cè)點(diǎn)應距被(bèi)測表(biǎo)麵20～30mm，測頭以(yǐ)5～20mm/s的(dí)速度(dù)移動，對(duì)被檢過(guò)濾(lǜ)器整個(gè)斷(duàn)麵，封(fēng)膠(jiāo)頭和安(ān)裝框架(jià)處(chǔ)進行掃描(miáo)。粒子計數器(qì)的(dí)小采樣量大於1L/min。
3，檢測設(shè)備(bèi)
（1）光散(sàn)射粒子(zǐ)計(jì)數器
其工作原理是(shì)利(lì)用空(kōng)氣中(zhōng)的微粒(lì)對光(guāng)綫的散(sàn)射(shè)現(xiàn)象(xiàng)，將采樣空(kōng)氣中微粒的(dí)光脈衝(chōng)信(xìn)號轉(zhuǎn)換(huàn)為相應的電(diàn)脈衝(chōng)信(xìn)號(hào)來(lái)測定微粒(lì)的(dí)顆(kē)粒數，利(lì)用微粒的光散(sàn)射強度與微粒(lì)粒徑的(dí)平方成正(zhèng)比(bǐ)的(dí)關(guān)係，測量微(wēi)粒(lì)粒(lì)徑(jìng)大(dà)小(xiǎo)。光散射粒子計(jì)數器一(yī)般(bān)由氣路(lù)係統(tǒng)，光學(xué)係(xì)統，電路係(xì)統(tǒng)和(hé)電(diàn)源(yuán)等(děng)部分(fēn)組(zǔ)成(chéng)。
（2）激(jī)光粒(lì)子計(jì)數(shù)器(qì)
其(qí)工作原理與光散射粒子(zǐ)計(jì)數器基本相(xiāng)同(tóng)，但因采用了(liǎo)比光散射(shè)粒子計(jì)數(shù)器(qì)強(qiáng)100倍的氦(hài)-氖(nǎi)激(jī)光(guāng)光(guāng)源(yuán)，所(suǒ)以微(wēi)粒粒徑的檢測範圍達(dá)0.1μm。
（3）凝(níng)聚(jù)核(hé)粒(lì)子計(jì)數器
它(tā)是利用飽(bǎo)和蒸汽讓微小粒(lì)子凝聚為大(dà)粒(lì)徑粒子(zǐ)，進(jìn)行微(wēi)粒(lì)粒子濃度(dù)測定。工(gōng)作(zuò)原(yuán)理為(wéi)：采(cǎi)樣(yàng)空氣中的(dí)微(wēi)粒，經過溫度為35℃的飽和(hé)管，然後(hòu)在溫度為(wéi)10℃的(dí)凝聚管(guǎn)內(nèi)由(yóu)媒介液(yè)進(jìn)行凝(níng)聚(jù)，直至(zhì)增(zēng)大(dà)到能(néng)夠檢測到(dào)散射光(guāng)的粒徑為(wéi)止(zhǐ)，其(qí)他部(bù)分(fēn)與(yǔ)一般(bān)光(guāng)散射(shè)粒子計數器相同。
4，合(hé)格標準
GB 50591-2010《潔(jié)淨(jìng)室施(shī)工(gōng)及驗收(shōu)規(guī)範(fàn)》中規定(dìng)，由高效(xiào)空氣(qì)過濾(lǜ)器下風側(cè)泄露(lòu)濃(nóng)度換(huàn)算成的(dí)透過率(shuài)來衡量是否合格，其合格標(biāo)準如下(xià)：
對於高效(xiào)空氣(qì)過濾器(qì) K′=c2/c1*100%≤2K
對於超高(gāo)效空(kōng)氣過濾器 K′=c2/c1*100%≤3K
式(shì)中(zhōng)，K為過(guò)濾器(qì)出廠時(shí)檢(jiǎn)測合(hé)格的透(tòu)過率(shuài)；
K′為(wéi)過濾器(qì)的泄露濃度(dù)換算成(chéng)的透過率；
c1為過(guò)濾器(qì)上風(fēng)側含塵濃度；
c2為過(guò)濾(lǜ)器下(xià)風側(cè)含塵濃(nóng)度(dù)。
當(dāng)前位(wèi)置：