為防止汙(wū)染物透過圍(wéi)護(hù)結(jié)構(gòu)縫(féng)隙(xì)侵入(rù)潔淨室，潔淨(jìng)室(shì)及潔(jié)淨(jìng)設施(shī)的圍護結構應有良(liáng)好(hǎo)的氣(qì)密(mì)性，同時(shí)和不清(qīng)潔(jié)的(dí)周邊環(huán)境(jìng)要維(wéi)持一定的(dí)正壓差(chà)。潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)正(zhèng)壓是靠(kào)送(sòng)風_{與(yǔ)回風(fēng)和排風的(dí)差值實(shí)現的。
當潔淨(jìng)室相對(duì)於周(zhōu)邊環(huán)境(jìng)具有的正壓差，則(zé)通(tōng)過(guò)潔淨(jìng)室的縫(féng)隙，開孔外溢的(dí)氣(qì)流(liú)量為：}                    （式一）
此(cǐ)時(shí)，潔(jié)淨(jìng)室(shì)相對周圍的正(zhèng)壓為(wéi)：
（式二）
式中，為空(kōng)氣(qì)流(liú)過(guò)縫(féng)隙或(huò)孔口的(dí)局(jú)部阻(zǔ)力係(xì)統；
          為空氣(qì)流(liú)過(guò)縫隙(xì)或孔(kǒng)口的(dí)流速，m/s；
         為空氣密度，kg/m³。
由式二(èr)可(kě)得：

則維持正(zhèng)壓(yā)時(shí)的泄漏(lòu)風(fēng)量(liáng)為(wéi)：

（式三）
式(shì)中，為(wéi)縫(féng)隙或孔口的過(guò)流麵積，m²。
由(yóu)式三(sān)可(kě)知(zhī)維(wéi)持(chí)的(dí)正壓值越高，縫(féng)隙(xì)或孔口的(dí)合計(jì)麵積越(yuè)大(dà)，則(zé)泄(xiè)漏風(fēng)量(liáng)也越多(duō)。過(guò)多(duō)的無效(xiào)泄漏風(fēng)量(liáng)將增大(dà)受控環境的能耗(hào)，因此應(yīng)關注其氣(qì)密性(xìng)，在(zài)維(wéi)持必要壓(yā)差(chà)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)減低其(qí)泄(xiè)漏(lòu)風量(liáng)。值得(dé)注(zhù)意的是(shì)，根(gēn)據上述分析，在進(jìn)行潔(jié)淨室(shì)壓差(chà)檢測之前，必(bì)須(xū)先驗證在(zài)潔(jié)淨室或(huò)潔淨設(shè)施正常(cháng)工(gōng)作(zuò)時(shí)，應該關閉的門全(quán)部(bù)關閉條件(jiàn)下的(dí)送風量與回(huí)風量，排風量(liáng)是(shì)否(fǒu)與(yǔ)規(guī)定(dìng)風量(liáng)相(xiāng)符。在此(cǐ)前提(tí)下，再(zài)逐一測定封閉(bì)的潔淨室(shì)和周圍(wéi)附(fù)屬環境(jìng)之(zhī)間，周(zhōu)圍附屬(shǔ)環(huán)境(jìng)與(yǔ)外(wài)部(bù)環境間的壓(yā)差。如無周(zhōu)圍(wéi)的(dí)附屬環境，則測(cè)定與記錄下封閉的潔淨室與外(wài)部環境之間的(dí)壓差。
通(tōng)常使用電子微壓計，傾(qīng)斜式(shì)微(wēi)壓(yā)計(jì)或機(jī)械式壓(yā)差計(jì)來(lái)測(cè)定區間(jiān)的壓(yā)差(chà)。
按照 GB50073-2001《潔(jié)淨廠房驗收(shōu)規範》的規(guī)定(dìng)：不同(tóng)等級潔(jié)淨(jìng)室(shì)及潔(jié)淨區(qū)與非潔淨區(qū)之(zhī)間的壓差(chà)應不小(xiǎo)於5Pa，潔(jié)淨區(qū)與(yǔ)室(shì)外的壓差(chà)應不(bù)小於10Pa。
國內行業(yè)標(biāo)準 JGJ71-90《潔(jié)淨(jìng)室施工及驗收(shōu)規範》除與GB 50073-2001的(dí)規定相同(tóng)外(wài)，並(bìng)對(duì)ISO 5級(jí)以上(shàng)的單向流(liú)潔(jié)淨室(shì)有(yǒu)如下規定：潔(jié)淨度高於(yú)5級的(dí)單(dān)向流潔淨(jìng)室(shì)在(zài)開(kāi)門狀(zhuàng)態下(xià)，在出(chū)入口的(dí)室內側(cè)0.6m處(chǔ)不應(yīng)測出超(chāo)過室內級別(bié)上限(xiàn)的(dí)濃(nóng)度。