一(yī)，基本(běn)參數
1，潔淨度
潔(jié)淨(jìng)度是(shì)潔(jié)淨室(shì)的重要基(jī)本(běn)的技(jì)術(shù)指標(biāo)。其(qí)單位是
：單(dān)位(wèi)體積的空(kōng)氣中粒(lì)徑不小於某一尺(chǐ)度的微粒個數。尤其(qí)是(shì)微(wēi)電子(zǐ)行業對(duì)於潔淨(jìng)室的要求(qiú)較(jiào)高(gāo)。
2，微生物濃(nóng)度(dù)
微生(shēng)物濃(nóng)度(dù)是(shì)潔淨室的(dí)另一項重(zhòng)要(yào)技術指標。其(qí)單位(wèi)是(shì)
：單位(wèi)體(tǐ)積的空氣中微生物個(gè)數(shù)。生(shēng)物(wù)工(gōng)程(chéng)行業對於(yú)微生物濃度的要求較(jiào)高
，其次(cì)是(shì)醫療(liáo)，製(zhì)藥(yào)，食品，飲(yǐn)料(liào)，化妝品等行業(yè)。空(kōng)氣中的(dí)微(wēi)生(shēng)物(wù)是(shì)空(kōng)氣微(wēi)粒的一部(bù)分
，確(què)切(qiē)的說是危害較(jiào)大(dà)的(dí)一部分。通常(cháng)測定的(dí)是(shì)空氣中細(xì)菌(jūn)的濃度(dù)。
3，溫(wēn)度(dù)
溫(wēn)度(dù)是(shì)基(jī)本(běn)的(dí)工作條件(jiàn)
，幾乎(hū)所(suǒ)有的潔淨室對(duì)於(yú)溫度都(dū)有明確的(dí)要(yào)求。溫度(dù)會(huì)影(yǐng)響植體(tǐ)的(dí)尺度
，從(cóng)而(ér)影響加工(gōng)的(dí)度
，從而影響加工的度(dù)
，所以(yǐ)精密(mì)加工對(duì)於溫度有(yǒu)相當(dāng)嚴格的要求(qiú)。溫(wēn)度(dù)會影(yǐng)響儀器(qì)的參數
，從(cóng)而(ér)產生測定(dìng)誤差
，所以(yǐ)精(jīng)密測量儀器對(duì)於溫度的(dí)要(yào)求也(yě)較高。
4，濕度(dù)
濕(shī)度(dù)也是(shì)基本的(dí)工(gōng)作(zuò)條(tiáo)件
，幾(jī)乎所有的潔淨(jìng)室(shì)對於濕度(dù)都(dū)有(yǒu)明確(què)的要求。濕(shī)度過大會(huì)使(shǐ)許多物質發生化學反應
，從而(ér)影響產(chǎn)品(pǐn)質(zhì)量
，甚(shèn)至(zhì)使設備失(shī)效(xiào)
，產(chǎn)品報(bào)廢。濕度(dù)過低(dī)又(yòu)會(huì)使許多物(wù)質(zhì)脫(tuō)水變形
，失去原(yuán)有的(dí)功(gōng)能。
5，風速(sù)與風量
足(zú)夠的風速與(yǔ)風(fēng)量(liáng)是(shì)潔淨(jìng)度(dù)的保證(zhèng)
，過大的風速(sù)與風量不僅浪(làng)費能量(liáng)
，而(ér)且有時(shí)會(huì)影響正(zhèng)常(cháng)的工(gōng)作。
6，氣壓與壓差
正常的氣壓(yā)是正(zhèng)常工作的(dí)基本條(tiáo)件。必(bì)要的壓差是控(kòng)製漏氣(qì)方向的(dí)手段(duàn)。微(wēi)電子行業的(dí)潔淨室為了保證潔(jié)淨度
，不(bù)允(yǔn)許低潔淨度的(dí)空氣(qì)向高潔淨度區(qū)域泄(xiè)露(lòu)。病毒(dú)實(shí)驗(yàn)室(shì)或傳(chuán)染病(bìng)房(fáng)不允許室內空氣(qì)向(xiàng)室(shì)外(wài)泄(xiè)露。
7，噪聲(shēng)
過(guò)大的噪聲(shēng)不(bù)僅會(huì)影(yǐng)響(xiǎng)正(zhèng)常(cháng)的(dí)工作
，而(ér)且(qiě)會影響人(rén)員(yuán)的身體(tǐ)健康
，降(jiàng)低(dī)噪(zào)聲(shēng)是(shì)潔淨(jìng)度的(dí)一(yī)項基本(běn)要求(qiú)。
8，照度(dù)
適(shì)當(dāng)的照(zhào)度(dù)是正常工作的(dí)必(bì)要(yào)條(tiáo)件。
二，特殊參數
1，振動
振動會影(yǐng)響(xiǎng)儀(yí)器設備的(dí)穩定性(xìng)
，從而影(yǐng)響(xiǎng)儀(yí)器(qì)的(dí)準(zhǔn)確度
，還會影(yǐng)響(xiǎng)設備(bèi)的加工度
，所以有(yǒu)些潔淨室(shì)需要控製振(zhèn)動。
2，靜電(diàn)
靜電有(yǒu)許多危害(hài)
，特(tè)別容易損(sǔn)壞(huài)微(wēi)電子元件(jiàn)
，所以微電(diàn)子(zǐ)行(háng)業(yè)采取(qǔ)相應的防護(hù)措施
，預(yù)防靜電的產生或者使(shǐ)產(chǎn)生(shēng)的靜電(diàn)能(néng)夠及時(shí)泄(xiè)漏
，以減少靜電對(duì)電子行(háng)業(yè)所(suǒ)造(zào)成(chéng)的(dí)損(sǔn)失。
3，有害氣(qì)體(tǐ)濃(nóng)度(dù)
有害氣體的種類繁多
，有的(dí)會(huì)損害(hài)人(rén)體健康(kāng)
，有(yǒu)的(dí)會影響產品(pǐn)質量(liáng)和產品合格率(shuài)
，所(suǒ)以(yǐ)潔淨度需要(yào)控製有害氣(qì)體(tǐ)濃度(dù)。
4，輻(fú)射強度(dù)
X射綫(xiàn)，Y射(shè)綫，電磁波等(děng)輻射對(duì)人(rén)體(tǐ)有較大的(dí)的損(sǔn)害(hài)
，有時(shí)對(duì)生(shēng)產設(shè)備或產品(pǐn)也有損(sǔn)害(hài)。