潔(jié)淨(jìng)室四(sì)大技術要(yào)素(sù)：
從潔(jié)淨(jìng)室的(dí)建(jiàn)造，使用(yòng)和(hé)維護而言(yán)，潔淨室(shì)有(yǒu)四(sì)大技術(shù)要(yào)素：
A，潔(jié)淨室(shì)的淨化空(kōng)調係統(tǒng)至少(shǎo)應(yīng)有粗(cū)效，中(zhōng)效和過(guò)濾(lǜ)器(qì)三級過(guò)濾措施(shī)。尤其(qí)是(shì)在終端應有過(guò)濾(lǜ)器(qì)（HEPA）或(huò)超過(guò)濾器（ULPA）。
B，潔淨室送(sòng)風(fēng)應(yīng)有足(zú)夠的空調（消(xiāo)除(chú)室(shì)內餘熱(rè)，餘濕(shī)）和淨化（保持潔淨(jìng)度(dù)）送(sòng)風量(liáng)。其送風(fēng)量(liáng)不(bù)僅能消(xiāo)除室內的餘熱(rè)和餘濕，保(bǎo)證室內的溫(wēn)度和(hé)相(xiāng)對濕度(dù)，同(tóng)時(shí)還(huán)能消除或稀釋室(shì)內的(dí)粒子(zǐ)汙(wū)染(rǎn)，保(bǎo)證室內的潔(jié)淨(jìng)度要(yào)求。
C，潔(jié)淨(jìng)室(shì)必(bì)須(xū)建立和(hé)維持(chí)必(bì)要的相對(duì)壓差（正(zhèng)壓或負(fù)壓）。
D，潔(jié)淨(jìng)室應(yīng)有(yǒu)合(hé)理(lǐ)的氣(qì)流(liú)流型，以保證其室內的潔淨(jìng)度和(hé)溫，濕(shī)度(dù)等參(cān)數(shù)。
潔(jié)淨(jìng)室(shì)的分(fēn)類：
潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)分(fēn)類一般按(àn)氣流(liú)流型來分，還(huán)可按使(shǐ)用(yòng)用途(tú)和(hé)主要(yào)控製(zhì)對象來分。
A，潔淨(jìng)室按氣(qì)流(liú)流(liú)型(xíng)分(fēn)類(lèi)
潔淨室(shì)按氣流流型來分類(lèi)可(kě)分為(wéi)單向(xiàng)流潔淨(jìng)室，非單向流(liú)潔淨室(shì)，混(hùn)合流潔(jié)淨(jìng)室和(hé)矢(shǐ)流潔淨室。
a，單向(xiàng)流潔(jié)淨室(shì)
單(dān)向流潔淨(jìng)室的(dí)淨化(huà)原理是活塞擠(jǐ)壓原理，是潔(jié)淨氣(qì)流(liú)將(jiāng)室內(nèi)產(chǎn)生的(dí)粒子(zǐ)由一(yī)端向(xiàng)另(lìng)一端以(yǐ)活(huó)塞(sāi)型式擠壓(yā)出去(qù)，用潔淨氣(qì)流充(chōng)滿潔淨(jìng)室。單向流潔(jié)淨(jìng)室又可(kě)分(fēn)為垂(chuí)直單向(xiàng)流(liú)潔淨室和水(shuǐ)平(píng)單向流潔淨(jìng)室(shì)。
①垂(chuí)直單向流潔淨室(shì)是在其吊頂上(shàng)滿(mǎn)布（≥80%）空(kōng)氣(qì)過(guò)濾器（或(huò)FFU），經其過濾的(dí)潔淨氣(qì)流(liú)從(cóng)吊頂用活(huó)塞(sāi)型式(shì)以(yǐ)一(yī)定的(dí)速(sù)度(dù)，把室(shì)內(nèi)的(dí)汙(wū)染粒子向地麵(miàn)擠壓，被擠壓(yā)的汙染空氣通過地(dì)板格柵排(pái)出(chū)潔淨(jìng)室，這樣不(bù)斷(duàn)地進(jìn)行循(xún)環(huán)運行來實現潔(jié)淨(jìng)室的(dí)高潔淨(jìng)度(dù)。垂(chuí)直單向(xiàng)流潔淨室可(kě)創造高(gāo)的(dí)潔(jié)淨度(dù)（1級~5級）但是，它的初投資高，運(yùn)行(háng)費高。
②水平單向流潔(jié)淨室是在(zài)其一(yī)麵牆上(shàng)滿布(bù)（≥80%）空氣過(guò)濾器，被其過濾(lǜ)的潔淨(jìng)空氣以(yǐ)一定的速(sù)度(dù)用活(huó)塞型式(shì)將汙(wū)染(rǎn)粒子(zǐ)擠壓(yā)到對(duì)麵(miàn)的回風牆，由回風牆排(pái)出(chū)潔(jié)淨(jìng)室，這(zhè)樣不斷(duàn)循(xún)環來(lái)實(shí)現高的(dí)潔淨度等級。水(shuǐ)平單(dān)向流可創(chuàng)造5級(jí)的潔(jié)淨度等級。其(qí)初投資(zī)與(yǔ)運行費用(yòng)也低於垂直(zhí)單向流潔淨室。水(shuǐ)平單向流潔淨(jìng)室與(yǔ)垂(chuí)直(zhí)單(dān)向(xiàng)流潔(jié)淨(jìng)室比(bǐ)較(jiào)，其(qí)大(dà)的區別是(shì)垂直單向流氣(qì)流(liú)是由吊頂天花(huā)流向地麵，所有工作(zuò)麵全部(bù)被潔(jié)淨的氣流(liú)覆蓋。而(ér)水(shuǐ)平單向流(liú)潔淨室(shì)的氣(qì)流(liú)是(shì)由(yóu)送風(fēng)牆流(liú)向(xiàng)回(huí)風牆，因此(cǐ)，氣流(liú)在(zài)工作麵(miàn)潔(jié)淨度高(gāo)，後麵(miàn)的工作(zuò)麵的(dí)潔淨(jìng)度會越來(lái)越差。
b，非單(dān)向流潔淨室(shì)
非(fēi)單(dān)向流潔(jié)淨室(shì)的淨(jìng)化原理是(shì)稀(xī)釋原理(lǐ)。是用(yòng)一定(dìng)量的潔(jié)淨空氣來(lái)充淡(dàn)稀釋(shì)室內產生的汙(wū)染粒子(zǐ)。潔淨空氣量越多(duō)稀(xī)釋(shì)後的潔淨度就越高(gāo)。因(yīn)此潔(jié)淨(jìng)的(dí)送風量（換氣(qì)次(cì)數）不同(tóng)，室(shì)內空(kōng)氣的潔淨(jìng)度(dù)等級也(yě)不(bù)相同(tóng)。在(zài)“規範”中規(guī)定：6級(jí)潔淨室的(dí)換(huàn)氣次數為50~60次/時；7級潔(jié)淨(jìng)室(shì)的(dí)換氣次數為(wéi)15~25次/時；8級(jí)和(hé)9級(jí)潔(jié)淨(jìng)室的換(huàn)氣次數(shù)為10~15次/時(shí)。潔淨度級(jí)別不(bù)同其初投資和運(yùn)行(háng)費也(yě)不(bù)相(xiāng)同。常用的非單向(xiàng)流潔淨室的(dí)氣流(liú)流型主要有頂送(sòng)下回，頂(dǐng)送下(xià)側回和頂送頂回(huí)。
c，混(hùn)合(hé)流潔(jié)淨室(shì)
混合(hé)流潔(jié)淨室(shì)是(shì)將垂直單向流和非(fēi)單向流兩種(zhǒng)型式的氣(qì)流組(zǔ)合(hé)在一(yī)個潔(jié)淨(jìng)室中。混合(hé)流潔(jié)淨室可大大(dà)壓(yā)縮(suō)垂直單向(xiàng)流的麵積(jī)，隻將(jiāng)其應用(yòng)在(zài)必要的(dí)關鍵工序和(hé)關鍵(jiàn)部(bù)位(wèi)中(zhōng)，用大麵積的非(fēi)單向(xiàng)流(liú)來替(tì)代(dài)垂直單向(xiàng)流(liú)。這(zhè)樣(yàng)不僅大(dà)大地節省(shěng)建造投資而且(qiě)也(yě)大大(dà)地節(jié)省(shěng)了運(yùn)行(háng)費(fèi)用。這(zhè)種混合(hé)流潔淨室目前(qián)廣(guǎng)泛(fàn)地(dì)應用在(zài)微電子(zǐ)（超大規模(mó)集(jí)成(chéng)電(diàn)路）的(dí)光電子(zǐ)（液(yè)晶顯示器(qì)LCD，等離子PDP，發(fā)光二極管(guǎn)LED和薄膜晶體(tǐ)管(guǎn)有源矩(jǔ)陣(zhèn)液(yè)晶顯示(shì)器TFT-LCD）等大麵(miàn)積高潔淨(jìng)度(dù)等級(jí)的電子工業潔(jié)淨廠房中。
d，矢(shǐ)流潔(jié)淨室
矢(shǐ)流潔淨室是用圓弧(hú)形空(kōng)氣過(guò)濾器(qì)構(gòu)成的圓(yuán)弧(hú)形送風(fēng)裝置(zhì)，經(jīng)圓弧形(xíng)過(guò)濾(lǜ)器(qì)送(sòng)出(chū)的氣流(liú)是放射形的潔(jié)淨(jìng)氣流，流綫(xiàn)不產(chǎn)生交叉，灰(huī)塵粒(lì)子(zǐ)也是被(bèi)放射(shè)形氣流帶到(dào)回風口，回風(fēng)口設在對(duì)麵牆(qiáng)的(dí)下側(cè)。矢(shǐ)流潔淨室(shì)可(kě)用較(jiào)少量(liáng)的潔淨(jìng)送風(fēng)來(lái)實(shí)現(xiàn)較(jiào)高(gāo)潔淨(jìng)度(dù)級(jí)別（5級(jí)）的潔淨室(shì)。這種(zhǒng)氣(qì)流(liú)流型(xíng)在美(měi)國和日(rì)本(běn)較多（在日本(běn)稱(chēng)為(wéi)對角(jiǎo)流），而我國(guó)在(zài)工程(chéng)中應用較少(shǎo)。
B，潔(jié)淨(jìng)室按(àn)用途(tú)和主(zhǔ)要控(kòng)製(zhì)對(duì)象分類(lèi)
按(àn)使(shǐ)用用途和主要(yào)控製(zhì)對象(xiàng)潔淨室又可分為工業(yè)潔淨(jìng)室(shì)，生(shēng)物潔(jié)淨室和(hé)生物安全實(shí)驗室。
a，工業潔(jié)淨室
工(gōng)業潔淨室(shì)的(dí)主要(yào)控製(zhì)對(duì)象是灰塵(chén)粒(lì)子。它(tā)廣泛應用於電(diàn)子工(gōng)業(yè)，光電(diàn)子工(gōng)業(yè)，機械(xiè)化(huà)工工業(yè)，光學工業，航(háng)天(tiān)事業等。在電(diàn)子(zǐ)工業中微(wēi)電子（集成電路）工業對潔淨室的潔淨(jìng)度級(jí)別要(yào)求高。而(ér)且(qiě)，隨(suí)著微(wēi)電子(zǐ)技術的(dí)不斷發(fā)展，集(jí)成度(dù)的(dí)不斷(duàn)提高，光刻綫寬的不(bù)斷變小(xiǎo)對(duì)潔淨(jìng)室潔(jié)淨度(dù)等(děng)級(jí)的要求也越來(lái)越高(gāo)。根據(jù)半導(dǎo)體工業協(xié)會（SIA）對(duì)未來(lái)集(jí)成電路發(fā)展(zhǎn)趨勢，以及(jí)對潔淨生產(chǎn)環(huán)境(jìng)中塵(chén)粒控製(zhì)的(dí)趨勢預(yù)測(cè)可以看(kàn)到微電子工(gōng)業對潔淨室(shì)潔(jié)淨度的(dí)要求(qiú)。
b，生物潔(jié)淨室(shì)
生物潔淨室主要的控製對象是微生物，病(bìng)菌(jūn)等活(huó)的有(yǒu)生(shēng)命的(dí)粒子(zǐ)，是不(bù)斷地生長，繁殖的粒子(zǐ)。它所(suǒ)產生的汙染(rǎn)不僅(jǐn)僅是(shì)微生(shēng)物(wù)本身，而(ér)且(qiě)，還有新陳(chén)代(dài)謝(xiè)產生(shēng)的二次汙染。生物潔淨室主要應(yīng)用在醫(yī)療(liáo)，製(zhì)藥，食品(pǐn)，生物(wù)工程，實驗動物飼(sì)養以(yǐ)及生物安全等(děng)行業之(zhī)中。
c，生(shēng)物安(ān)全實驗室
生(shēng)物(wù)安全(quán)實驗室是(shì)研究對人(rén)，動(dòng)物，環境等(děng)有害感染性的微生物，病菌，病毒等的特(tè)殊環(huán)境(jìng)條(tiáo)件(jiàn)。因此，生物安(ān)全實驗室，必(bì)須作到(dào)安全，不僅要保護實驗(yàn)研(yán)究對象(xiàng)，使(shǐ)實驗得(dé)到真實(shí)可靠(kào)的(dí)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和(hé)結果，而更重要的(dí)是保(bǎo)護實驗(yàn)操作人(rén)員和周(zhōu)圍的環境，使(shǐ)實(shí)驗(yàn)人員和(hé)周圍環(huán)境都能得(dé)到可靠(kào)的(dí)安全保障。根(gēn)據(jù)世(shì)界衛生組織（WHO）的標準，可將感染微生(shēng)物的(dí)危險(xiǎn)度(dù)等(děng)級依(yī)它們的危險(xiǎn)程度不同劃(huá)分為4個(gè)不同的級(jí)別。而且(qiě)不(bù)同(tóng)危險度等(děng)級(jí)的(dí)生物安(ān)全(quán)實(shí)驗室也(yě)要有(yǒu)相對(duì)應的生物(wù)安全(quán)水(shuǐ)平(píng)。