無塵車間的溫(wēn)濕(shī)度(dù)主要是根據您的加工工(gōng)藝要求(qiú)來確定(dìng)，在(zài)滿足加(jiā)工(gōng)工藝的(dí)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)，首(shǒu)先應該考(kǎo)慮(lǜ)人的舒適感。隨(suí)著空(kōng)氣(qì)潔淨度要求(qiú)的提高(gāo)，工(gōng)藝對溫(wēn)濕度的(dí)要求(qiú)也(yě)越(yuè)來越高(gāo)，必(bì)須(xū)達(dá)到一定的(dí)溫濕度(dù)等(děng)級。例(lì)如在大(dà)規模(mó)集(jí)成電路(lù)生產(chǎn)的光刻(kè)曝(pù)光(guāng)工藝(yì)中(zhōng)，作(zuò)為掩(yǎn)膜板材料(liào)的玻璃(lí)與矽片(piàn)的熱膨脹(zhàng)係數的差要求越來越小(xiǎo)。直(zhí)徑100um的(dí)矽片(piàn)，溫度上升1度，就(jiù)引起了0.24um綫性膨脹，所以(yǐ)必須有±0.1度的(dí)恒(héng)溫，同時要(yào)求(qiú)濕(shī)度值一般較低，因(yīn)為(wéi)人出汗(hàn)以後，對產(chǎn)品將有(yǒu)汙(wū)染(rǎn)，特別是怕鈉的(dí)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)車間(jiān)，這(zhè)種車間不(bù)宜超過25度。濕(shī)度過高產生的(dí)問題(tí)更(gēng)多。相對(duì)濕(shī)度(dù)超過(guò)55%時，冷卻(què)水(shuǐ)管(guǎn)壁(bì)上會(huì)結露，如(rú)果發(fā)生在(zài)精密裝置或(huò)電路中，就(jiù)會引起各種事故。
對於大(dà)部分潔淨空(kōng)間(jiān)，為了防(fáng)止(zhǐ)外(wài)界(jiè)汙(wū)染侵入(rù)，需要保(bǎo)持內部(bù)的壓(yā)力(靜(jìng)壓)高於(yú)外(wài)部的(dí)壓力(靜壓)。壓力差的維(wéi)持一(yī)般(bān)應符(fú)合(hé)以(yǐ)下原則：
1，潔淨度級別(bié)高的空間的(dí)壓力要高(gāo)於相鄰(lín)的潔(jié)淨(jìng)度(dù)級別(bié)低(dī)的空間(jiān)的(dí)壓力。
2，相通(tōng)潔淨(jìng)室(shì)之間(jiān)的(dí)門要(yào)開(kāi)向潔淨度級別高的(dí)房間(jiān)。
3，潔淨空間(jiān)的壓力要高於(yú)非(fēi)潔淨空間的(dí)壓力(lì)。
壓(yā)力差的維持(chí)依(yī)靠(kào)新(xīn)風(fēng)量(liáng)，這個新風量(liáng)要(yào)能補(bǔ)償(cháng)在(zài)這一(yī)壓力差(chà)下(xià)從縫(féng)隙漏(lòu)泄(xiè)掉的(dí)風(fēng)量(liáng)。所以壓力差的物理意義(yì)就是(shì)漏泄(或滲(shèn)透)風量通過潔(jié)淨室的(dí)各種縫隙時(shí)的(dí)阻力。
對於亂流(liú)潔(jié)淨室(shì)由於(yú)主(zhǔ)要靠空氣的(dí)稀(xī)釋作用來減(jiǎn)輕室內汙染的程度(dù)，所以主要(yào)用換(huàn)氣次(cì)數這一概念(niàn)，而不(bù)直接用速(sù)度的(dí)概念，不過對室內(nèi)氣流速度(dù)也有(yǒu)如下(xià)要求(qiú)：
1，送(sòng)風(fēng)口(kǒu)出口(kǒu)氣流速度不宜太大(dà)，和單(dān)純(chún)空(kōng)調房(fáng)間相比(bǐ)，要(yào)求(qiú)速度衰(shuāi)減更快，擴散(sàn)角度更(gēng)大。
2，吹(chuī)過水(shuǐ)平(píng)麵(miàn)的(dí)氣(qì)流速(sù)度(例如側送(sòng)時(shí)回流速度)不宜(yí)太大，以(yǐ)免吹起表麵(miàn)微(wēi)粒(lì)重返(fǎn)氣流(liú)，而(ér)造成再汙染，這一速度(dù)一般不宜(yí)大(dà)幹0.2m/s。