一
，送風(fēng)潔(jié)淨度
要保(bǎo)證送(sòng)風(fēng)潔淨度符(fú)合(hé)要求，關鍵是淨化係(xì)統末(mò)級過(guò)濾(lǜ)器的(dí)性能和安裝。淨化(huà)係(xì)統末級過濾器一(yī)般(bān)采用(yòng)過濾器或(huò)亞(yà)過濾(lǜ)器。按我(wǒ)國標(biāo)準規(guī)定(dìng)過濾器(qì)效(xiào)率分四檔(dàng)：A類為(wéi)≥99.9%，B類(lèi)為(wéi)≥99.9%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0.1μm粒(lì)子)≥99.999%(亦稱(chēng)超(chāo)過濾器(qì))；亞過濾器(qì)為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率(shuài)越高，過濾器(qì)的(dí)價格(gé)也(yě)越貴(guì)。所(suǒ)以選(xuǎn)擇(zé)過濾器(qì)時(shí)應本著既要(yào)滿(mǎn)足(zú)送風(fēng)潔淨度要(yào)求，又(yòu)要(yào)考慮(lǜ)經濟合理。從(cóng)潔淨度要(yào)求考慮(lǜ)，以低(dī)級(jí)別潔(jié)淨(jìng)室(shì)選(xuǎn)用低(dī)性能過(guò)濾器(qì)
，別潔淨室選用高(gāo)性(xìng)能過(guò)濾器(qì)為(wéi)原(yuán)則。一般說來：100萬(wàn)級可選(xuǎn)用(yòng)高中效(xiào)過濾器；低(dī)於(yú)1萬(wàn)級可(kě)選用亞或A類過濾器；1萬(wàn)~100級選用(yòng)B類過(guò)濾(lǜ)器(qì)；100~1級選用C類過(guò)濾(lǜ)器。這(zhè)裏(lǐ)每(měi)個潔淨度(dù)級(jí)別(bié)似(sì)乎(hū)都(dū)有兩類(lèi)過濾器可(kě)供選(xuǎn)擇，選擇高性(xìng)能的(dí)還是(shì)低(dī)性(xìng)能的(dí)，要(yào)視具體情況(kuàng)而定(dìng)：當環(huán)境汙染嚴重，或室內(nèi)排(pái)風比例(lì)很大(dà)，或該潔(jié)淨(jìng)室(shì)特別(bié)重要，需要較大安全(quán)係(xì)數，在這些(xiē)或其中之一情況(kuàng)下，均要選擇高(gāo)一(yī)類(lèi)過濾器；反(fǎn)之可(kě)選擇較(jiào)低(dī)性(xìng)能(néng)過濾(lǜ)器。對0.1μm粒(lì)子(zǐ)要求(qiú)控製(zhì)的潔(jié)淨室(shì)，不論控製的(dí)粒(lì)子濃(nóng)度高低均要(yào)選(xuǎn)擇(zé)D類(lèi)過濾(lǜ)器(qì)。以(yǐ)上(shàng)所(suǒ)述僅從過濾(lǜ)器角(jiǎo)度出發(fā)，實(shí)際上要選擇好過(guò)濾器(qì)還要(yào)全麵(miàn)考(kǎo)慮潔淨室特(tè)性
，過(guò)濾(lǜ)器特(tè)性(xìng)和淨(jìng)化係統特性(xìng)。
要保(bǎo)證送(sòng)風潔(jié)淨度，僅(jǐn)有合格(gé)的過(guò)濾(lǜ)器是不夠的，還(huán)要(yào)保(bǎo)證：a.運輸(shū)
，安裝過(guò)程不損(sǔn)壞過(guò)濾(lǜ)器(qì)；b.安(ān)裝嚴密(mì)。要做到第(dì)a，則要(yào)求施工安裝人(rén)員(yuán)訓(xùn)練有(yǒu)素，既(jì)要(yào)有(yǒu)安(ān)裝淨化(huà)係統(tǒng)方麵的知識，又要(yào)具(jù)備較熟練的安裝技(jì)能，否(fǒu)則將(jiāng)難(nán)以保(bǎo)證不損(sǔn)壞(huài)過(guò)濾(lǜ)器。其(qí)次，安(ān)裝(zhuāng)嚴(yán)密性(xìng)問題，主(zhǔ)要取決(jué)於安(ān)裝(zhuāng)結構型式優劣(liè)，設計手冊一般推薦(jiàn)：對(duì)於(yú)單個(gè)過濾(lǜ)器采(cǎi)用(yòng)明裝(zhuāng)型式，這樣即便發生滲漏(lòu)，也(yě)不致漏到(dào)室內；用成(chéng)品送風口(kǒu)，嚴密(mì)性(xìng)也比較(jiào)容易得到保證。
二
，氣流組織
潔(jié)淨室的(dí)氣流組織(zhī)與一般空調房間(jiān)有(yǒu)所不(bù)同，它要(yào)求將zui幹淨(jìng)的(dí)空(kōng)氣首(shǒu)先(xiān)送(sòng)到操作部位，它的(dí)作(zuò)用在(zài)於限製(zhì)和減(jiǎn)少(shǎo)對(duì)加工(gōng)物(wù)的汙染(rǎn)。為此(cǐ)，在設(shè)計(jì)氣(qì)流(liú)組(zǔ)織時應考(kǎo)慮這些原則：盡(jìn)量減少(shǎo)渦流，避免(miǎn)將工作(zuò)區以(yǐ)外(wài)的汙(wū)染(rǎn)帶入(rù)工(gōng)作區；盡量(liáng)防止灰塵(chén)的(dí)二(èr)次飛揚(yáng)以減(jiǎn)少灰塵對(duì)工(gōng)件的汙(wū)染(rǎn)機(jī)會；工作(zuò)區的氣(qì)流要(yào)盡量(liáng)均(jūn)匀(yún)，且(qiě)其(qí)風速要滿(mǎn)足(zú)工(gōng)藝(yì)和衛(wèi)生要求，當氣流向回(huí)風口流動(dòng)時(shí)要使空(kōng)氣中的(dí)灰塵能有(yǒu)效的(dí)帶走。根據不同的潔(jié)淨度要求(qiú)，選擇不(bù)同(tóng)的送(sòng)
，回(huí)風方式。
不(bù)同的(dí)氣流(liú)組(zǔ)織(zhī)，各有其(qí)特點和範圍：
（1）垂直(zhí)單(dān)向流(liú)：均可(kě)獲(huò)得均匀向下氣(qì)流，便(biàn)於工(gōng)藝(yì)設(shè)備(bèi)布(bù)置，自淨能力強，可簡化人身(shēn)淨化設施等(děng)共(gòng)同設施(shī)等共同優點外，四(sì)種送風(fēng)方式(shì)還有(yǒu)其各自(zì)優缺點：滿布過(guò)濾器具有阻力(lì)低
，更換過(guò)濾器周期長等優(yōu)點，但頂(dǐng)棚(péng)結構(gòu)復雜(zá)，造價高；側(cè)布(bù)過(guò)濾(lǜ)器頂(dǐng)送(sòng)
，全孔(kǒng)板(bǎn)頂送與滿布(bù)過濾(lǜ)器(qì)頂送(sòng)的(dí)優缺(quē)點相反(fǎn)，其(qí)中全(quán)孔板頂送在(zài)係(xì)統非連(lián)續運(yùn)行(háng)時，孔板內(nèi)表(biǎo)麵易(yì)積(jī)塵(chén)，維(wéi)護(hù)不(bù)好，對潔(jié)淨度有(yǒu)些影(yǐng)響；密集散流器(qì)頂送，因需要(yào)一(yī)段混和(hé)層，所(suǒ)以(yǐ)隻(zhī)適用於4m以上高大潔淨室，其(qí)特(tè)點與(yǔ)全(quán)孔板頂送(sòng)相仿(fǎng)；對於(yú)相對(duì)兩側格柵(zhà)的(dí)板(bǎn)和(hé)相(xiāng)對(duì)兩側(cè)牆下部(bù)均匀布(bù)置回風(fēng)口的回風(fēng)方式(shì)僅適用兩(liǎng)側(cè)淨間(jiān)距小於6m的(dí)潔(jié)淨室(shì)；單(dān)側(cè)牆下(xià)部布回風口僅適(shì)用對(duì)牆間(jiān)距(jù)較小(xiǎo)(如(rú)≤<2~3m)的(dí)潔淨(jìng)室。
（2）水平單(dān)向(xiàng)流(liú)：隻(zhī)在(zài)*工作區(qū)達(dá)到100級潔淨(jìng)度，當空氣(qì)流向(xiàng)另一(yī)側(cè)的過程(chéng)中含塵(chén)濃度逐漸升高，所(suǒ)以僅(jǐn)適(shì)用於同(tóng)一(yī)房(fáng)間工藝(yì)過(guò)程有不同(tóng)潔淨度要(yào)求的潔(jié)淨室(shì)；送風(fēng)牆局(jú)部布過(guò)濾器較(jiào)滿布水平(píng)送可減少過濾器用量，節(jié)約初投(tóu)資，但局(jú)部(bù)區域有(yǒu)渦(wō)流(liú)。
（3）亂流(liú)型(xíng)氣(qì)流：孔板(bǎn)頂送和(hé)密集散流器頂送(sòng)的特(tè)點(diǎn)與(yǔ)前(qián)述相同：側送的優(yōu)點易於管(guǎn)道(dào)布置，無(wú)需(xū)技(jì)術夾層，造價(jià)低(dī)，有利於(yú)舊廠(chǎng)房(fáng)改(gǎi)造，缺點(diǎn)是(shì)工作(zuò)區風速(sù)較大(dà)，下風(fēng)側(cè)比(bǐ)上風(fēng)側含塵(chén)濃(nóng)度高(gāo)；過(guò)濾器風口頂送具(jù)有係統(tǒng)簡單
，過(guò)濾器後無管(guǎn)道(dào)
，潔淨氣流直接送達(dá)工(gōng)作(zuò)區等優點(diǎn)，但(dàn)潔(jié)淨氣流擴散(sàn)緩慢(màn)，工作(zuò)區氣流較均(jūn)匀；不(bù)過當均匀地(dì)布(bù)置(zhì)多(duō)個(gè)風口或采用帶擴散板地(dì)過濾(lǜ)器風口(kǒu)時(shí)，也(yě)可使得工作區(qū)氣(qì)流較均匀；但(dàn)在(zài)係(xì)統非連續運行(háng)地情況下，擴散板易積塵(chén)。
以(yǐ)上論述均屬於(yú)較(jiào)理(lǐ)想(xiǎng)狀態，也是(shì)國家(jiā)有關(guān)規範(fàn)
，標(biāo)準(zhǔn)或設(shè)計手冊所推(tuī)薦(jiàn)。實際工(gōng)程(chéng)中(zhōng)或受限於(yú)客(kè)觀條件，或由於設(shè)計(jì)者(zhě)地(dì)主觀原因而未(wèi)設計好(hǎo)氣流組織(zhī)，常(cháng)見的有：垂(chuí)直單向流采取(qǔ)相鄰兩(liǎng)側牆下部回(huí)風(fēng)，局部(bù)百級采用(yòng)上送上(shàng)回(huí)(即局(jú)部送風口(kǒu)下(xià)未加下垂圍簾(lián))，亂流(liú)型(xíng)潔(jié)淨室(shì)采(cǎi)用過濾器風(fēng)口頂(dǐng)送(sòng)上回或(huò)單側(cè)下回(huí)(對(duì)牆間距較(jiào)大(dà))等(děng)，這(zhè)些氣(qì)流組(zǔ)織方式經實測，其(qí)潔(jié)淨度大多(duō)數都達(dá)不到(dào)設計(jì)要求。由(yóu)於現(xiàn)行規(guī)範(fàn)規定(dìng)空態(tài)或靜態驗收，個別的(dí)這(zhè)類潔(jié)淨室在空態或靜態(tài)下勉強(qiáng)達(dá)到(dào)設(shè)計的潔淨(jìng)度級別(bié)，但抗汙染幹擾能力(lì)很低，一旦潔淨室進入工作狀態就達不到(dào)要求。正確的(dí)氣(qì)流(liú)組(zǔ)織(zhī)局(jú)部區域應設(shè)圍簾下垂至工(gōng)作區(qū)高度，10萬級也不(bù)應采用上送上回(huí)。還(huán)有(yǒu)目(mù)前(qián)大(dà)多數工廠(chǎng)生產(chǎn)的帶擴散板的送(sòng)風口，其擴散板(bǎn)都隻是(shì)裝飾(shì)性孔板(bǎn)而不(bù)起擴(kuò)散氣(qì)流(liú)作(zuò)用(yòng)。
三
，送(sòng)風量或風速(sù)
足夠的通風換(huàn)氣量是為了(liǎo)稀釋和排(pái)除室(shì)內(nèi)汙染空氣，根據(jù)不同(tóng)的潔(jié)淨度(dù)要(yào)求，當潔(jié)淨室淨高較高時(shí)，適(shì)當(dāng)增加換氣(qì)次數(shù)。其中，100萬級潔(jié)淨(jìng)室的通風量是按(àn)高中(zhōng)效淨化係(xì)統(tǒng)考慮，其餘均按淨(jìng)化(huà)係統考(kǎo)慮；當(dāng)10萬(wàn)級(jí)潔淨室過濾(lǜ)器(qì)集中(zhōng)布(bù)置(zhì)在機房或係統末端采(cǎi)用亞過(guò)濾器(qì)時，可適當提(tí)高(gāo)換(huàn)氣(qì)次數(shù)10-20%。
對(duì)於(yú)上述通(tōng)風量(liáng)推(tuī)薦數值認(rèn)為：單(dān)向流潔淨(jìng)室通(tōng)過(guò)房間截麵(miàn)風(fēng)速偏(piān)低(dī)，亂流(liú)型(xíng)潔淨室是有較(jiào)充分安全係數(shù)的推薦(jiàn)值(zhí)。垂直(zhí)單(dān)向(xiàng)流(liú)≥0.25m/s，水平(píng)單向流≥0.35m/s，在(zài)空態或(huò)靜態下檢(jiǎn)測潔淨度，雖然(rán)能達(dá)到要求(qiú)，但(dàn)抗(kàng)汙染能力(lì)較差(chà)，一旦室(shì)內(nèi)進入工作(zuò)狀(zhuàng)態(tài)，潔淨度(dù)就可(kě)能達不(bù)到要(yào)求(qiú)，這類實(shí)例已不(bù)屬於(yú)個別(bié)；同時(shí)，我國通(tōng)風機係列(liè)中尚(shàng)未有較適(shì)合(hé)淨化(huà)係統用的(dí)風(fēng)機，一(yī)般設(shè)計者又往往對係統(tǒng)空氣阻(zǔ)力未作準確計算，或未(wèi)注意到所(suǒ)選用的風(fēng)機是否處於(yú)特性曲綫上(shàng)比較(jiào)有利的(dí)工作點，使(shǐ)得係統在投入(rù)運(yùn)行後不久，風(fēng)量(liáng)或(huò)風速(sù)就達(dá)不到設計值。美國(guó)聯邦標準(FS209A~B)在1987年(nián)10月(yuè)27日(rì)之(zhī)前一直這樣(yàng)規定(dìng)：單向(xiàng)流(liú)潔(jié)淨室通(tōng)過潔(jié)淨室(shì)截麵的氣(qì)流(liú)速度通常保(bǎo)持在9Oft/min(0.45m/s)，在整個房(fáng)間無幹擾的(dí)條件下，其(qí)速度不均匀度在士(shì)20%以(yǐ)內，氣流(liú)速度任何明(míng)顯的下降(jiàng)都(dū)會(huì)增(zēng)加(jiā)自(zì)淨(jìng)時間和工作位(wèi)置之間(jiān)汙(wū)染(rǎn)影(yǐng)響的(dí)可能(néng)性(1987年10月FS209C頒布(bù)之後(hòu)對含塵(chén)濃(nóng)度以外(wài)的所(suǒ)有參數指標均(jūn)未作規(guī)定(dìng))。為此，適(shì)當提高目(mù)前國內對單向流速(sù)度的(dí)設(shè)計值(zhí)，效果還(huán)是比(bǐ)較好的。亂(luàn)流型潔(jié)淨(jìng)室(shì)是有較(jiào)充分安(ān)全係(xì)數的推(tuī)薦(jiàn)值，但許多(duō)設計者仍不(bù)放心(xīn)，在(zài)做具體(tǐ)設(shè)計時將(jiāng)10萬級潔淨(jìng)室(shì)通風(fēng)量(liáng)加大到(dào)20~25次(cì)/h，1萬級加大到30~40次(cì)/h，1000級加(jiā)大到(dào)60~70次(cì)/h，這樣(yàng)做不僅(jǐn)加大了設備(bèi)容(róng)量(liáng)
，加(jiā)大了(liǎo)初(chū)投資(zī)，也增(zēng)加了(liǎo)日(rì)後(hòu)維(wéi)護(hù)管(guǎn)理(lǐ)費用(yòng)，實際上也(yě)沒(méi)有必要這(zhè)樣(yàng)做。在編(biān)製我國空(kōng)氣(qì)潔淨技(jì)術措施[7]時(shí)曾(zēng)調查(chá)測定(dìng)了國(guó)內(nèi)100多個潔淨室(shì)，許多(duō)潔淨(jìng)室(shì)還(huán)是(shì)在(zài)動態下檢測(cè)的，結果(guǒ)表(biǎo)明：10萬(wàn)級(jí)≥10次(cì)/h
，1萬(wàn)≥20次/h
，1000級(jí)≥50次/h通(tōng)風(fēng)量(liáng)即(jí)可(kě)滿足(zú)要求。美國(guó)聯(lián)邦(bāng)標(biāo)準(FS2O9A~B)規定(dìng):非單向(xiàng)流潔淨室(shì)(10萬級
，1萬級(jí))，室(shì)高8~l2ft(2.44~3.66m)，通(tōng)常考慮(lǜ)全(quán)室(shì)至(zhì)少每(měi)3分鐘換氣一(yī)次(cì)(即(jí)20次/h)。因(yīn)此，設計(jì)規範的規(guī)定(dìng)已(yǐ)經(jīng)考(kǎo)慮(lǜ)了較(jiào)大的富(fù)裕(yù)係數，設計者(zhě)*可以(yǐ)放心(xīn)地按照通風(fēng)量推薦(jiàn)值選用。
四(sì)
，靜壓(yā)差
潔淨(jìng)室維(wéi)持一定(dìng)的正壓是(shì)保(bǎo)證潔(jié)淨室(shì)不(bù)受或少(shǎo)受(shòu)汙(wū)染
，以(yǐ)維持設(shè)計潔淨度(dù)等級*地(dì)條(tiáo)件之(zhī)一(yī)。即便(biàn)是(shì)負壓(yā)潔淨(jìng)室，它(tā)也(yě)必須有不(bù)低(dī)於(yú)它潔淨(jìng)度級別(bié)地相(xiāng)鄰房間(jiān)或套間維(wéi)持一定地(dì)正壓，負壓潔淨室的潔(jié)淨度才(cái)能得以維持(chí)。
潔淨(jìng)室正(zhèng)壓值是(shì)指(zhǐ)門窗(chuāng)全(quán)部關閉(bì)狀態(tài)下，室(shì)內(nèi)靜壓大(dà)於室(shì)外(wài)靜(jìng)壓(yā)的(dí)數值。它是通過淨化(huà)係(xì)統送(sòng)風(fēng)量(liáng)大於(yú)回風量(liáng)和排(pái)風(fēng)量的(dí)方法來(lái)達到。為(wéi)了保證潔淨(jìng)室(shì)正壓值(zhí)，送(sòng)風(fēng)
，回風和(hé)排(pái)風機聯(lián)鎖(suǒ)，係統(tǒng)開(kāi)啟時(shí)先啟(qǐ)動送(sòng)風機，再啟動回風機和(hé)排風(fēng)機(jī);係(xì)統關閉(bì)時先關排風機(jī)，再關回風機和送(sòng)風機，以(yǐ)防止潔(jié)淨室在(zài)係統(tǒng)開(kāi)啟(qǐ)和關(guān)閉時(shí)受(shòu)到汙染。
維(wéi)持潔淨室(shì)正(zhèng)壓(yā)所需的(dí)風量(liáng)主要根據維護結構(gòu)密(mì)閉性(xìng)好(hǎo)壞(huài)來(lái)確定(dìng)。我國(guó)潔淨室(shì)建(jiàn)設初期(qī)由於圍護(hù)結構(gòu)密(mì)閉性較(jiào)差(chà)，要(yào)維(wéi)持≥5Pa的正(zhèng)壓就要(yào)2~6次/h送(sòng)風量(liáng)；目前(qián)維護(hù)結(jié)構密閉(bì)性(xìng)已大為(wéi)提(tí)高，維(wéi)持同樣的正壓隻要(yào)1~2次(cì)/h送風(fēng)量(liáng);維持≥1OPa也(yě)隻要(yào)2~3次/h送風量。
我國(guó)設計(jì)規(guī)範規(guī)定：不同(tóng)等(děng)級的潔淨(jìng)室以及潔淨區和(hé)非(fēi)潔淨(jìng)區(qū)之間(jiān)的靜(jìng)壓差(chà)應(yīng)不(bù)小於(yú)0.5mmH2O(~5Pa)，潔淨(jìng)區(qū)與(yǔ)室外的(dí)靜(jìng)壓差(chà)應(yīng)不小(xiǎo)於(yú)1.OmmH2O(~l0Pa)。該(gāi)值似偏低，原因(yīn)有三(sān)：1.正壓是表示潔淨室抑(yì)製(zhì)通過門(mén)窗(chuāng)縫(féng)隙汙染室內(nèi)空(kōng)氣(qì)的能力，或在短(duǎn)時間打開(kāi)門窗時使滲入(rù)室(shì)內的汙(wū)染物減少(shǎo)到zui低(dī)限度的(dí)能力(lì)，正壓大(dà)小表示(shì)抑製汙染能(néng)力的強(qiáng)弱，當(dāng)然不是正(zhèng)壓(yā)越大越(yuè)好(hǎo)(後(hòu)麵(miàn)將談(tán)到(dào))。2.正(zhèng)壓所需的風量(liáng)有限(xiàn)，5Pa正(zhèng)壓(yā)與10Pa正(zhèng)壓所(suǒ)需(xū)風(fēng)量(liáng)僅差(chà)約(yuē)1次/h，何(hé)樂而(ér)不為呢?顯(xiǎn)然(rán)正壓值低限(xiàn)取l0Pa更*些。3.美國聯邦(bāng)標(biāo)準(FS209A~B)規定(dìng)；當所(suǒ)有(yǒu)出入口關(guān)閉(bì)時(shí)，潔(jié)淨室與任何(hé)相鄰的(dí)低潔淨度區(qū)域(yù)之(zhī)間(jiān)的(dí)zui低正壓(yā)差(chà)為0.05英寸(cùn)水(shuǐ)柱(12.5Pa)，這數值已被許(xǔ)多(duō)國家采用。但(dàn)潔淨室的正(zhèng)壓(yā)值(zhí)並非(fēi)越大越好(hǎo)，根(gēn)據實際工(gōng)程(chéng)檢測表明(míng)：當正(zhèng)壓值≥30Pa時(shí)，開(kāi)門就比(bǐ)較困(kùn)難(nán)，當(dāng)正壓值≥50~70Pa時，門(mén)窗縫(féng)隙(xì)就(jiù)會(huì)發出(chū)哨(shào)音，體弱者或有某(mǒu)種(zhǒng)不適應症者(zhě)不(bù)適(shì)感(gǎn)覺。可是國(guó)內和國外(wài)許(xǔ)多國(guó)家(jiā)的(dí)有關(guān)規範(fàn)或標(biāo)準均(jūn)未(wèi)規(guī)定正壓的上限(xiàn)值(zhí)，這樣(yàng)的結果許多(duō)單位都隻(zhī)求下(xià)限值滿足(zú)要求(qiú)，而(ér)不管上限(xiàn)值達(dá)到多少(shǎo)，在(zài)筆(bǐ)者(zhě)遇(yù)到的實際(jì)潔淨(jìng)室(shì)中(zhōng)正壓值(zhí)有高(gāo)達100Pa以(yǐ)上，造成很不好的效(xiào)果。實(shí)際上調整(zhěng)正壓並不是一件很(hěn)難(nán)的事，把(bǎ)它控(kòng)製在(zài)一定範(fàn)圍內(nèi)是(shì)*可(kě)能的。