潔淨室(shì)是工(gōng)業生(shēng)產(chǎn)中的(dí)重(zhòng)要組成(chéng)部(bù)分(fēn)，半導(dǎo)體，平(píng)麵液(yè)晶顯示(shì)器(qì)，光電(diàn)子和(hé)生物(wù)醫(yī)藥(yào)都需(xū)要(yào)潔淨的生產車(chē)間，通常潔(jié)淨(jìng)室是指空(kōng)間空(kōng)氣懸浮粒(lì)子濃渡被(bèi)控(kòng)製(zhì)在(zài)規(guī)定(dìng)界(jiè)限內(nèi)的(dí)房(fáng)間(jiān)或限定空(kōng)間(jiān)，這塵埃粒(lì)子(zǐ)的粒(lì)徑(jìng)越小和被限定(dìng)的粒(lì)數(shù)越小，潔淨(jìng)度便越高。靜(jìng)電對(duì)於潔(jié)淨(jìng)室(shì)來(lái)說無疑(yí)是(shì)一大(dà)危(wēi)害，主(zhǔ)要(yào)表現於(yú)靜(jìng)電(diàn)放(fàng)電(diàn)，噪聲(shēng)，電擊人體(tǐ)等危害，如何控(kòng)製潔淨室的靜(jìng)電，幾點靜電(diàn)控製辦(bàn)法參考(kǎo)如(rú)下(xià)：
1，靜(jìng)電控(kòng)製的基本(běn)原則(zé)
（1）確定(dìng)靜(jìng)電控(kòng)製級別。
（2）盡(jìn)量減少(shǎo)靜電(diàn)荷的產(chǎn)生(shēng)。
（3）泄放(fàng)和中和的辦法加速靜電荷消散，防(fáng)止靜電積累。
（4）保(bǎo)護產(chǎn)品不(bù)受(shòu)ESD的(dí)損壞。
2，確(què)定靜電(diàn)控製(zhì)的(dí)級別(bié)
（1）元(yuán)器件(jiàn)，組件(jiàn)和(hé)設備靜(jìng)電敏(mǐn)感度分級。
1級：易遭(zāo)受(shòu)0-1999V靜電電壓損(sǔn)壞的(dí)。
2級(jí)：易遭受(shòu)2000-3999V靜(jìng)電(diàn)電(diàn)壓(yā)損(sǔn)壞(huài)的。
3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損(sǔn)壞的。而(ér)敏(mǐn)感靜電(diàn)壓大於16000V的，便(biàn)不必采取(qǔ)防靜(jìng)電措施。
（2）靜(jìng)電(diàn)防護工作(zuò)區(qū)的分級
A級：允許對地靜電(diàn)電位不(bù)超(chāo)過(guò)±100V。
B級：允許(xǔ)對(duì)地靜(jìng)電(diàn)電位不超(chāo)過±1000V。
實際工程(chéng)中是分靜電電位不(bù)超(chāo)過100V，500V，1000V等對應(yīng)元器(qì)件，組件(jiàn)和(hé)設備靜電(diàn)敏感(gǎn)電(diàn)壓的3級。
3，盡量(liáng)減(jiǎn)小(xiǎo)靜電(diàn)荷的產生(shēng)
這(zhè)是控(kòng)製靜電三(sān)步(bù)曲(qū)的(dí)*步，在這淨(jìng)化(huà)工作環(huán)境中，的措施：
（1）盡(jìn)量采(cǎi)用(yòng)性(xìng)質(zhì)相似器材，減少在接觸摩(mó)擦(cā)分離過(guò)程(chéng)中(zhōng)產(chǎn)生靜電(diàn)電荷。
（2）盡量采(cǎi)用導靜電(diàn)型(xíng)或靜電耗散(sàn)型材料的器材，減少(shǎo)接(jiē)觸摩擦分離過程產(chǎn)生(shēng)積(jī)累靜(jìng)電荷。
（3）盡量(liáng)采(cǎi)用減少(shǎo)接觸摩擦分(fēn)離(lí)而(ér)產(chǎn)生(shēng)靜電荷的(dí)生產(chǎn)流程。
4，泄放和(hé)中(zhōng)和
這(zhè)是控製(zhì)靜(jìng)電三(sān)步(bù)曲的(dí)第二步，在微電子生產的淨(jìng)化室中zui通(tōng)常(cháng)的措(cuò)施(shī)是接(jiē)地，采(cǎi)用(yòng)導電性或(huò)耗散(sàn)性材(cái)料泄放靜電(diàn)荷，以及(jí)離(lí)子(zǐ)化(huà)消電器(qì)中和靜電荷。
（1）接(jiē)地
潔(jié)淨(jìng)室(shì)應設一個獨立靜(jìng)電接地係(xì)統（包括(kuò)地麵接地金屬(shǔ)網支(zhī)係(xì)統(tǒng)，生產(chǎn)綫(xiàn)工作(zuò)站接(jiē)地(dì)支係(xì)統(tǒng)），以便室(shì)內所(suǒ)有設(shè)備金(jīn)屬(shǔ)外殼，移(yí)動(dòng)設備的金(jīn)屬支架(jià)，防靜電器材等(děng)安(ān)全，有效地將靜(jìng)電(diàn)荷泄(xiè)放至(zhì)大(dà)地。工作人員(yuán)的(dí)帶(dài)電則(zé)通(tōng)過手腕帶(dài)接(jiē)地，以及通(tōng)過防(fáng)靜電(diàn)鞋(xié)或(huò)腳跟(gēn)帶再經防靜電地麵向(xiàng)大地泄放。地(dì)麵(miàn)，牆麵(miàn)，頂棚，隔(gé)斷等是硬接地(dì)，設備外(wài)殼(ké)，移(yí)動(dòng)設(shè)備（車(chē)，椅(yǐ)，貨架等(děng)），工作(zuò)台等(děng)則屬(shǔ)軟接地。
（2）離子(zǐ)化肖電(diàn)器
潔淨(jìng)室中生產組(zǔ)裝(zhuāng)的元器件，PCB，生產(chǎn)綫(xiàn)，工作站上(shàng)總是難(nán)免(miǎn)存在一些不能(néng)接地(dì)的絕(jué)緣導(dǎo)體和(hé)絕(jué)緣(yuán)介質材(cái)料（例(lì)如(rú)大多(duō)數普通塑(sù)料(liào)）。在(zài)某些環境(jìng)下(xià)，離子(zǐ)化(huà)消電器常用來局部消(xiāo)散這些(xiē)物(wù)體上的靜電荷，而(ér)更經常(cháng)的是(shì)借助(zhù)於空氣離(lí)子(zǐ)化(huà)來中(zhōng)和在絕緣(yuán)介質上(shàng)和孤(gū)立(lì)導體上(shàng)的所(suǒ)帶靜(jìng)電電荷(hé)。
（3）導靜(jìng)電和(hé)靜(jìng)電(diàn)耗散(sàn)材(cái)料
導(dǎo)靜電材料和靜(jìng)電(diàn)耗(hào)散材(cái)料由(yóu)於(yú)其具(jù)有(yǒu)導(dǎo)靜電(diàn)性(xìng)，也是很(hěn)好的靜(jìng)電(diàn)荷泄(xiè)放(fàng)材料，而且比(bǐ)金屬導(dǎo)體泄(xiè)放更具(jù)有安全性，通(tōng)常(cháng)被(bèi)采用(yòng)做地(dì)板(bǎn)，牆(qiáng)麵(miàn)，工作(zuò)台，周轉(zhuǎn)容(róng)器，鑷子，刷(shuā)子等防(fáng)靜電(diàn)器(qì)材。
5，防(fáng)止ESD，保護產(chǎn)品
這是(shì)控(kòng)製靜(jìng)電的三步(bù)曲(qū)中zui後一步(bù)。在微電子生產(chǎn)的淨化(huà)室中，為阻(zǔ)止(zhǐ)ESD發生在靜電(diàn)敏(mǐn)感(gǎn)元器(qì)件或組件，PCB上，一(yī)種方法是(shì)對(duì)元(yuán)器件(jiàn)和(hé)組(zǔ)件提供(gōng)合適(shì)的(dí)接地或分路(lù)以“消散”掉產品上(shàng)存在(zài)的(dí)靜電荷(hé)；另(lìng)一種方(fāng)法是(shì)用恰當的包(bāo)裝方法(fǎ)和(hé)材料(liào)來(lái)處(chǔ)理(lǐ)靜(jìng)電敏感器件的包裝和輸運。這些(xiē)材料可有效(xiào)地(dì)屏(píng)蔽(bì)電荷侵(qīn)入產品(pǐn)以(yǐ)及減少(shǎo)產(chǎn)品在(zài)包(bāo)裝(zhuāng)箱中(zhōng)移動(dòng)而產生靜(jìng)電荷(hé)。上，半(bàn)導體，平(píng)麵液晶(jīng)顯示器，光電(diàn)子發展(zhǎn)很(hěn)快，集成度越(yuè)來(lái)越(yuè)高，芯片(piàn)綫(xiàn)徑越來越細(xì)，對防(fáng)靜(jìng)電(diàn)要求越(yuè)來越高。美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控製大(dà)綱，對SSD靜電敏感(gǎn)性(xìng)分類已作(zuò)了(liǎo)些修改。