隨(suí)著技術(shù)的快速發展(zhǎn)和生活(huó)環境的變化
，新(xīn)的過濾(lǜ)媒質(zhì)
，技術(shù)和氣(qì)流設計(jì)辦(bàn)法(fǎ)出現
，用戶(hù)可以在重要(yào)的環境(jìng)中
，在越(yuè)來(lái)越嚴(yán)格(gé)的(dí)空氣質量要(yào)求(qiú)下
，提高過(guò)濾效(xiào)率
，有效地控製成(chéng)本(běn)。到目前(qián)為(wéi)止(zhǐ)
，空氣處(chǔ)理和(hé)調(tiáo)節在潔淨(jìng)室的運行(háng)成本(běn)中占(zhān)的(dí)比例。研(yán)究(jiū)人(rén)員發現(xiàn)高達40%的潔淨室(shì)運(yùn)行成本和zui初(chū)投入成本(běn)與單(dān)位小(xiǎo)時的室內換(huàn)氣(qì)量有(yǒu)關
，10~30%的(dí)費用用(yòng)於送(sòng)風(fēng)
，目(mù)的(dí)是增加(jiā)空氣(qì)在(zài)潔(jié)淨(jìng)室(shì)中的“清掃”作用。
對空氣過濾器來說
，過(guò)濾效(xiào)率(shuài)越高(gāo)
，捕獲(huò)粒子就(jiù)越(yuè)多
，空(kōng)氣過(guò)濾(lǜ)器耗能(néng)也(yě)就(jiù)越高。這充(chōng)分說明(míng)了(liǎo)過濾(lǜ)器壓降與(yǔ)粒(lì)子(zǐ)清(qīng)掃(sǎo)效率之間(jiān)的(dí)關係。的辦法是(shì)一方(fāng)麵保持(chí)或提高過濾器材料(liào)的過濾效(xiào)率
，另一(yī)方麵(miàn)減小空氣(qì)流動(dòng)的阻力(lì)並(bìng)降低(dī)施加(jiā)在(zài)過濾器上的(dí)壓降(jiàng)
，從而節約(yuē)運行成本(běn)。
在許(xǔ)多(duō)應(yīng)用(yòng)中
，空氣過濾(lǜ)器過(guò)濾器廠(chǎng)商(shāng)被(bèi)迫(pò)不斷提高過濾效(xiào)率(shuài)
，使其(qí)遠(yuǎn)遠超(chāo)出(chū)合(hé)理水(shuǐ)平。同時
，越(yuè)來越多(duō)的(dí)zui終(zhōng)用戶(hù)開始關(guān)注與運(yùn)行(háng)空氣(qì)淨(jìng)化係(xì)統(tǒng)有關的(dí)電力(lì)成本(běn)。所(suǒ)以
，找到過濾(lǜ)效率(shuài)與成(chéng)本之(zhī)間(jiān)的(dí)平衡(héng)點是當務之(zhī)急。
1
，重新評審(shěn)已有的(dí)行業(yè)標準和(hé)監(jiān)管(guǎn)標準(zhǔn)
主要針對流量(liáng)和換氣量。關鍵(jiàn)問題(tí)是(shì)：標(biāo)準要求(qiú)端末HEPA過濾(lǜ)器以(yǐ)90FPM的速度(dù)運行(háng)或進行測試(shì)是毫無的(dí)
，因(yīn)為(wéi)室(shì)內平(píng)均流速(sù)太高會造成(chéng)紊(wěn)流並(bìng)形成渦(wō)流
，所以在半(bàn)導(dǎo)體行(háng)業(yè)中的(dí)ISO1級或2級潔淨(jìng)室(shì)基(jī)本(běn)都(dū)使用75FPM的流(liú)速。使潔(jié)淨(jìng)室(shì)或過濾器流(liú)速(sù)保(bǎo)持(chí)在(zài)90FPM不(bù)僅會(huì)引(yǐn)起嚴(yán)重(zhòng)的紊流
，還會(huì)使(shǐ)汙染(rǎn)物揚起
，散(sàn)布在整個清(qīng)潔室(shì)中(zhōng)的可(kě)能性提高(gāo)。實(shí)際(jì)上(shàng)
，過濾速度較(jiào)低(dī)的過濾器(qì)的表現要強於速(sù)度較(jiào)高(gāo)的(dí)
，過濾器的沿麵(miàn)流速與潔(jié)淨室的(dí)性能(néng)無關(guān)。真正重要的(dí)是室(shì)內的微(wēi)粒濃度和通(tōng)過(guò)空(kōng)氣傳播(bō)的生物負荷水(shuǐ)平在運行(háng)過程(chéng)中保(bǎo)持不(bù)變(biàn)。另外(wài)
，設(shè)計(jì)出可(kě)以達到“適(shì)當(dāng)”流(liú)速和(hé)換氣率(shuài)的係統(tǒng)非常重要。一(yī)開始在過(guò)濾(lǜ)器上(shàng)投入比較(jiào)高成本和長期的電力(lì)運(yùn)行成本同樣重要(yào)。許多潔淨室建造(zào)時(shí)根(gēn)本沒考慮到(dào)可能需要(yào)更(gēng)多的電力(lì)和因此增加的產品生(shēng)產成本。一味(wèi)增加(jiā)過濾(lǜ)器數量的(dí)後果就是你不(bù)得不考慮利潤(rùn)空間(jiān)是(shì)否能夠支撐(chēng)越(yuè)來(lái)越(yuè)高的初始(shǐ)成本和更高(gāo)的運行成本。
2
，小(xiǎo)型(xíng)化趨勢
隨著進入納(nà)米技(jì)術生產階段
，生產空(kōng)間和(hé)生產設備(bèi)的(dí)尺寸越做越(yuè)小(xiǎo)
，需要(yào)保(bǎo)持清(qīng)潔(jié)的空間也(yě)更小更幹淨。故可(kě)通過各(gè)種方法來(lái)增加靈活性(xìng)和節(jié)約(yuē)成本。許(xǔ)多公(gōng)司一方(fāng)麵希(xī)望得到(dào)更(gēng)有效的潔(jié)淨室
，另(lìng)一(yī)方麵也在積(jī)極尋(xún)找通(tōng)過降(jiàng)低功耗來削減(jiǎn)運(yùn)行(háng)成(chéng)本的方法(fǎ)。而正(zhèng)確(què)設計空氣流動
，減(jiǎn)少清(qīng)潔(jié)區(qū)域需(xū)要(yào)的(dí)清潔空氣總量
，是(shì)降(jiàng)低zui初(chū)成本和(hé)運行成本(běn)的有(yǒu)效方法(fǎ)。隨著(zhuó)HEPA和ULPA的(dí)過(guò)濾(lǜ)效率不斷(duàn)提高
，用(yòng)戶(hù)對(duì)過(guò)濾效(xiào)率的要(yào)求卻在下降(jiàng)。現如今的用(yòng)戶(hù)更注(zhù)重分(fēn)析在(zài)潔(jié)淨(jìng)室中(zhōng)不同(tóng)區域(yù)內(nèi)實(shí)際需(xū)要(yào)的過濾水平(píng)。一個(gè)重(zhòng)要的(dí)趨勢就(jiù)是不再使用大(dà)空間潔(jié)淨(jìng)
，取(qǔ)而代之的(dí)是(shì)在工廠(chǎng)中設置(zhì)清潔(jié)區域
，保證(zhèng)潔(jié)淨(jìng)區(qū)域內(nèi)保持(chí)空(kōng)氣質(zhì)量(liáng)達到優良水(shuǐ)平。使(shǐ)用這種方法(fǎ)降低了(liǎo)需要過濾的空(kōng)氣總(zǒng)量
，也就降低了運(yùn)行(háng)成本。此外
，設備和過(guò)濾(lǜ)器廠商(shāng)正在努力(lì)研(yán)製性能更強(qiáng)
，更(gēng)省電(diàn)而(ér)且體(tǐ)積更小的(dí)送(sòng)風機。氣流通過過(guò)濾器進入房(fáng)間時(shí)形成(chéng)壓(yā)降
，這必(bì)須(xū)靠(kào)送(sòng)風機和空(kōng)氣調節(jié)設(shè)備來恢復。隻要(yào)稍(shāo)微降(jiàng)低(dī)壓(yā)降(jiàng)就可(kě)減少一(yī)部分(fēn)電(diàn)費(fèi)開(kāi)支(zhī)
，特別是(shì)用(yòng)於風機的電費開(kāi)支
，而(ér)這正是大部(bù)分潔(jié)淨(jìng)室運(yùn)營(yíng)商(shāng)的(dí)主(zhǔ)要支出。在選(xuǎn)擇過濾(lǜ)器時應優先(xiān)選擇(zé)滿(mǎn)足過濾效率要(yào)求和壓降zui小的(dí)過濾器(qì)。在衡(héng)量(liáng)過濾器的價格和性能時
，效率(shuài)和壓降是關鍵(jiàn)。其它因素(sù)決定整個HEPA和(hé)ULPA過(guò)濾(lǜ)器的(dí)采集(jí)效率。其(qí)中(zhōng)包括空氣過濾
，速(sù)度
，微(wēi)粒牲(shēng)和過(guò)濾器(qì)媒(méi)質特征。總的說來(lái)
，采集效率會隨著(zhuó)過(guò)濾(lǜ)速(sù)度的降低和(hé)微粒(lì)尺寸的增大而提高。此外(wài)
，采集(jí)效率(shuài)會隨(suí)著(zhuó)過濾器的灰塊和密(mì)度的增(zēng)加而提高。
3
，延(yán)長過(guò)濾(lǜ)器(qì)壽命(mìng)
從多方麵(miàn)來(lái)講
，延長(cháng)過濾(lǜ)器(qì)的(dí)壽命(mìng)都(dū)是(shì)人(rén)們考(kǎo)慮(lǜ)的(dí)重(zhòng)點。靜(jìng)電充電(diàn)是(shì)現(xiàn)在過(guò)濾器媒(méi)質使(shǐ)用的一種技術(shù)
，它(tā)可以(yǐ)提高微(wēi)粒過濾(lǜ)器的容(róng)量(liáng)和壽命(mìng)。它的(dí)優勢(shì)在於可以在(zài)特(tè)定的產品中在(zài)HEPA過(guò)濾器(qì)上進行(háng)靜電充電
，通過一些(xiē)顯著的
，可以統(tǒng)計數量的辦(bàn)法來降低(dī)成本(běn)
，增(zēng)強性能
，而(ér)過濾(lǜ)器(qì)廠商除(chú)了增強性能成本之外還(huán)需要提(tí)供關於實際(jì)運行成(chéng)本的數據(jù)。目前市場上(shàng)有許多(duō)靜(jìng)電(diàn)過濾器係統(tǒng)
，它們(mén)采用柵(zhà)格(gé)而不(bù)是(shì)直接攔截(jié)的(dí)辦(bàn)法通(tōng)過(guò)過濾器(qì)媒質(zhì)來(lái)捕獲(huò)空氣(qì)微粒(lì)
，但在(zài)潔淨(jìng)室(shì)行業中(zhōng)
，由(yóu)於開放(fàng)柵格技術的緣(yuán)故(gù)
，它們(mén)主(zhǔ)要還隻是作(zuò)預過(guò)濾器(qì)係(xì)統(tǒng)使用。還(huán)可以使(shǐ)用更(gēng)加有效(xiào)的空(kōng)氣(qì)預(yù)過(guò)濾(lǜ)技(jì)術來充分(fēn)發(fā)揮它(tā)的作(zuò)用
，這既(jì)不(bù)會(huì)增(zēng)加(jiā)空氣靜(jìng)壓
，也(yě)不(bù)會增(zēng)加(jiā)電費(fèi)支出(chū)
，也就(jiù)是說靜電作(zuò)用(yòng)不(bù)會顯(xiǎn)著增加電費上的(dí)開(kāi)支(zhī)。不僅(jǐn)含(hán)塵(chén)量(liáng)增(zēng)加
，不(bù)斷(duàn)*的靜電沉積技(jì)術還能延(yán)長過濾(lǜ)器壽(shòu)命並(bìng)且減少過濾器維護(hù)。對(duì)製(zhì)藥
，醫(yī)療(liáo)設備(bèi)和(hé)其它(tā)受管製(zhì)的公司(sī)來說(shuō)
，隻要HEPA過(guò)濾器的荷載量和氣流(liú)限(xiàn)製在他(tā)們的(dí)運行標(biāo)準之(zhī)下就(jiù)不用更換HEPA過(guò)濾器。因為(wéi)更(gēng)換過(guò)濾器(qì)不(bù)僅(jǐn)會增加成本
，而且會中斷生產
，需要預(yù)先安(ān)排好停(tíng)工(gōng)時間
，進(jìn)行重(zhòng)新(xīn)清(qīng)潔(jié)
，重新(xīn)認(rèn)證(zhèng)和(hé)重新確(què)認。