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無(wú)塵(chén)室(shì)空調箱(xiāng)選(xuǎn)用注意(yì)事項

更新(xīn)時(shí)間(jiān):2016-08-16  |  點(diǎn)擊率(shuài):2194

無塵室(shì)有五個(gè)特性(xìng):
(1)耐(nài)久性(xìng)
無(wú)塵(chén)室(shì)要有符合環(huán)境(jìng),無塵(chén)室(shì)內部的清洗溶(róng)液(yè)及振(zhèn)動,設(shè)備,空(kōng)氣過(guò)濾係(xì)統的耐(nài)久材料(liào)。而(ér)耐久(jiǔ)性,同(tóng)時(shí)也(yě)依賴無塵室等級來建(jiàn)造(zào)。半導(dǎo)體(tǐ)Fabs傾向(xiàng)選(xuǎn)擇鋁,基(jī)於(yú)它(tā)的(dí)耐(nài)久(jiǔ)性,然而(ér),它不是(shì)便(biàn)宜的物(wù)質。
(2)清洗
在製(zhì)藥和生物(wù)工學工業(yè),無(wú)塵(chén)室(shì)的(dí)牆(qiáng)壁需(xū)要有(yǒu)容(róng)易被清(qīng)洗和(hé)擦拭(shì),直(zhí)到防止(zhǐ)濾(lǜ)過(guò)性病毒(dú)或細菌的汙染(rǎn)之(zhī)特(tè)性。在(zài)biotech市場,清(qīng)洗真正地是一(yī)個(gè)zui重(zhòng)要的(dí)企(qǐ)業(yè)。
(3)成本
微電(diàn)子C/R建設費可(kě)能花費到$10億(yì)。fab能(néng)更快的(dí)被建(jiàn)造起(qǐ)來(lái),產品(pǐn)也就能更(gēng)快達到這市(shì)場。許(xǔ)多半導(dǎo)體公(gōng)司的口號(hào)是較(jiào)便(biàn)宜(yí)和較好(hǎo)的(dí)。然而“錢”將成為(wéi)一(yī)個很(hěn)重要的考慮(lǜ)因素(sù)。
(4)適應(yīng)性(xìng)
一些(xiē)廠(chǎng)商(shāng)認為適應(yīng)性(xìng)可(kě)節(jié)省一(yī)筆(bǐ)金(jīn)錢(qián),而適應(yīng)性意指係統可任意移(yí)動(dòng)或(huò)改變(biàn)而(ér)不(bù)會(huì)招大(dà)的損失。C/R的擁有者(zhě)和(hé)設(shè)計者(zhě)的能力(lì)為(wéi)改變(biàn)一C/R的關(guān)鍵,所以他們(mén)從不將zui初的(dí)設計(jì)定型。
(5)維(wéi)護(hù)性(xìng)
對無(wú)塵室C/R而言,較(jiào)嚴(yán)格(gé)要求(qiú)的(dí)部(bù)分(fēn)為(wéi)地板,天花(huā)板,以(yǐ)及牆(qiáng)壁(bì)的部分。至於維(wéi)修(xiū)的(dí)問(wèn)題,對(duì)材(cái)料的選(xuǎn)擇(zé)是(shì)否(fǒu)容(róng)易清潔性(xìng)及維修(xiū)性都(dū)應有其(qí)優先級。在(zài)應用力(lì)麵,天花(huā)板(bǎn),地板及牆壁三(sān)者之(zhī)中zui重要(yào)的為天花板(bǎn),其(qí)包含HEPA及(jí)ULPA等濾網,其(qí)可過(guò)濾(lǜ)掉房(fáng)間的微粒子(zǐ),且其常會(huì)因(yīn)各(gè)個不(bù)同的需(xū)要,便(biàn)其(qí)分(fēn)開(kāi)來(lái),供應各個不同(tóng)區域的小房(fáng)間,曾有人說:若建造(zào)之預(yù)算因(yīn)某(mǒu)種(zhǒng)原因(yīn)被限(xiàn)製(zhì),除了(liǎo)少數的小錢外,其天(tiān)花(huā)板(bǎn)將趨於更貴的地步,其實(shí)天花(huā)板是(shì)一(yī)個頗復雜的係統(tǒng)其(qí)必須(xū)嚴(yán)格地過濾粒子,故(gù)其設計必(bì)須。對(duì)C/R而(ér)言,其選(xuǎn)擇地板的材料(liào)也(yě)是很重要(yào)的。低(dī)廉(lián)的(dí)C/R地板(bǎn)覆(fù)蓋著一層(céng)乙(yǐ)烯(xī)基在薄板上,若太(tài)硬的地板(bǎn)覆蓋會(huì)引起(qǐ)塵埃,而(ér)太軟的地(dì)板會造(zào)成地板彎曲(qū)甚致(zhì)破裂,但並不是(shì)所有(yǒu)C/R的地(dì)板(bǎn),都會(huì)覆(fù)蓋(gài),乙(yǐ)烯(xī)基(jī)。有些地(dì)板(bǎn)是(shì)衝孔(kǒng)式(shì),格(gé)子(zǐ)式(shì),而(ér)全(quán)麵層流都(dū)是(shì)衝孔式(shì)。乙(yǐ)烯基(jī)有一作(zuò)用即脫氧(yǎng),但高濃(nóng)度(dù)乙(yǐ)烯(xī)基與其(qí)它物若混合(hé)的(dí)話將(jiāng)會有(yǒu)減低(dī)脫氧的效(xiào)果,而無(wú)塵(chén)室(shì)的(dí)牆若以鋁(lǚ)作為材(cái)料則將(jiāng)會非(fēi)常(cháng)昂貴(guì),但鋁(lǚ)卻(què)可以(yǐ)保護牆(qiáng)麵不(bù)被空氣所氧化,可(kě)是(shì)卻(què)易(yì)受酸性氣體的侵(qīn)蝕,而(ér)避(bì)免的方法是(shì)使(shǐ)用電鍍(dù),便(biàn)鋁表(biǎo)麵(miàn)增(zēng)厚,不(bù)易(yì)氧(yǎng)化,再在(zài)鋁表(biǎo)麵(miàn)上再塗上一層亮(liàng)光漆即可防(fáng)止(zhǐ)金屬氧化。
對於半導(dǎo)體(tǐ)工業(yè)而(ér)言,無塵室是一必要(yào)且(qiě)不可(kě)缺之(zhī)設(shè)備,其(qí)對空氣中(zhōng)的粒(lì)子要(yào)求(qiú)非常(cháng)之(zhī)嚴(yán)格,故對天花板,牆壁(bì),地(dì)板的要求(qiú)亦(yì)非常嚴格。地(dì)板是人員,台(tái)車(chē)及重量的(dí)運(yùn)輸(shū)。當我(wǒ)們看見(jiàn)地(dì)板磨(mó)損(sǔn)時,也(yě)就(jiù)是使(shǐ)用期已(yǐ)太久(jiǔ),快(kuài)破(pò)裂了(liǎo),不(bù)僅會(huì)使(shǐ)得(dé)清靜度的(dí)降級,也會因(yīn)地板(bǎn)的(dí)磨(mó)損而發(fā)生空氣中(zhōng)粒子的增(zēng)加(jiā)。另(lìng)外(wài),C/Rzui怕(pà)的就是(shì)粒(lì)子(zǐ)泄(xiè)漏(lòu)。天花(huā)板(bǎn)中(zhōng)的濾(lǜ)網有(yǒu)很(hěn)多(duō)種。例(lì)如層流(liú)式(shì)C/R而花(huā)板(bǎn)的組(zǔ)成組件(jiàn)包(bāo)含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組(zǔ)燈光組(zǔ)亦有可能包含(hán)空白(bái)的嵌(qiàn)板,這(zhè)類(lèi)型(xíng)的天花板優點為,放置(zhì)方式並沒有嚴格的限製(zhì)。C/R之(zhī)牆壁還(huán)有一(yī)種(zhǒng)是(shì)以薄(báo)鋼製成,但必(bì)須在表(biǎo)層塗上(shàng)一層(céng)保(bǎo)護層,否(fǒu)則亦會腐蝕(shí),它並(bìng)不(bù)容(róng)易(yì)電(diàn)鍍,而(ér)在表層(céng)塗(tú)上的保(bǎo)護層(céng)會變得易碎,很容易(yì)剝(bāo)落(là),但(dàn)若選(xuǎn)擇高質量的不鏽(xiù)鋼(gāng),就不(bù)必(bì)塗上保護(hù)層(céng),而使用(yòng)玻(bō)璃作的C/R會使得房間的光綫大增,以及美(měi)觀,但(dàn)必(bì)須塗上(shàng)一抗紫外(wài)綫(xiàn)的障(zhàng)礙(ài)物。
無塵室(shì)用空(kōng)調箱選(xuǎn)用(yòng)時應(yīng)注(zhù)意(yì)的事項(xiàng)
對每個(gè)工(gōng)程師或設(shè)計師而言,選用(yòng)清(qīng)淨(jìng)室(shì)的空(kōng)調係統(tǒng)大概是(shì)zui復(fù)雜的問題之一,因為(wéi)清(qīng)淨室(shì)之(zhī)空調條(tiáo)件(jiàn)要(yào)比(bǐ)平(píng)常(cháng)的空(kōng)調(tiáo)區間來(lái)的復雜(zá)且較嚴格(gé),人(rén)都用於醫院(yuàn),藥品製造,精(jīng)密(mì)電(diàn)子零(líng)件製造場等。
(一)就*法令而言
各個(gè)國家*對(duì)清淨(jìng)式的設(shè)計條(tiáo)件要(yào)求不同(tóng),應(yīng)注(zhù)意設計時(shí)*之時令(líng)。設計清淨室(shì)之(zhī)AHU應府(fǔ)合(hé)FDA法規或 EPA排(pái)放(fàng)空(kōng)氣(qì)法則(zé)。IAQ已(yǐ)漸漸(jiàn)被重視(shì),設(shè)計時應注意(yì)IAQ之法規。視(shì)使用場合而定,過濾方法又(yòu)可分成機械(xiè)過(guò)濾(lǜ)法(fǎ)與化學(xué)過(guò)濾法(fǎ)。初級(jí)過(guò)濾(lǜ),中級(jí)過(guò)濾,過(guò)濾(lǜ)與無(wú)菌的(dí)環(huán)境(jìng)以(yǐ)機械(xiè)過濾法(fǎ)即(jí)能(néng)達成(chéng)。為(wéi)達到排(pái)氣之(zhī)環(huán)境(jìng)要求化學洗(xǐ)滌(dí)器(qì),焚(fén)化爐(lú)或(huò)更(gēng)多的機(jī)械(xiè)及化學過(guò)濾設備必需被應(yīng)用。活性(xìng)碳(tàn)或(huò)高錳酸鹽能有(yǒu)效(xiào)達到(dào)化學過(guò)濾的要(yào)求(qiú)。
(二)就(jiù)成本而言(yán)
在一(yī)些外(wài)表特(tè)殊的(dí)建(jiàn)築物(wù)中(zhōng),那些增加的設(shè)計和設(shè)備使(shǐ)用的費用在(zài)長(cháng)期的利益(yì)中須作(zuò)正(zhèng)確的判斷。在一些(xiē)特別(bié)的應(yīng)用(yòng)上(shàng),通常(cháng)都習慣(guàn)設(shè)計兩(liǎng)至(zhì)三次(cì)的(dí)過(guò)濾以(yǐ)達到所(suǒ)要(yào)求(qiú)的狀態。傳統的清淨室若遇上要求較為嚴(yán)格的部(bù)份時,設計必須有許多額外加價(jià)的部(bù)份。清淨(jìng)室應盡量避(bì)免停機的(dí)現象,在建造(zào)的成本(běn)裏(lǐ)必(bì)須注(zhù)意耐久性及可*度。在風門調(tiáo)整(zhěng)上,設計(jì)者(zhě)設計(jì)時,對(duì)溫度及濕(shī)度的(dí)要求(qiú)不(bù)同,就像是(shì)在設計人們的(dí)居住環(huán)境一般(bān)。在(zài)居(jū)住環(huán)境(jìng)中,停(tíng)機期和溫(wēn)濕(shī)度(dù)上(shàng)的要求(qiú)較放置(zhì)設(shè)備上來得高。所(suǒ)以(yǐ)質量(liáng)上及所(suǒ)提供的服(fú)務成(chéng)果是(shì)不能忽(hū)視(shì)的(dí)。在特(tè)殊的清淨(jìng)室(shì)傳送或接(jiē)收的(dí)設備,在錯誤修改(gǎi)應(yīng)用(yòng)上(shàng)費用是(shì)比(bǐ)較昂(áng)貴的(dí),且若(ruò)不能(néng)與(yǔ)設計圖上一樣(yàng),可能(néng)會(huì)無法執行。在(zài)設(shè)計特殊的(dí)清(qīng)淨(jìng)室時(shí),建築的(dí)成本中包括運轉成(chéng)本,而(ér)運(yùn)轉(zhuǎn)成本又包(bāo)括須能持(chí)續運轉的馬達成(chéng)本及修(xiū)護成本。成本的(dí)歸(guī)納有裝置費(fèi),持(chí)續(xù)運轉(zhuǎn)費(fèi),維修(xiū)費。計算運轉成(chéng)本(běn)必(bì)須考慮(lǜ)到能(néng)量的消(xiāo)耗及效率的(dí)高低。就率或新(xīn)機台啟動前(qián),會先引進(jìn)外氣(qì),這樣(yàng)對旋轉(zhuǎn)的原動力,交流(liú)板(bǎn),排(pái)氣的管(guǎn)路和(hé)空氣(qì)回(huí)流(liú)混(hùn)合(hé)係統中(zhōng),長(cháng)期(qī)使(shǐ)用(yòng)可(kě)保持(chí)較(jiào)高(gāo)的效率(shuài)。在操作上(shàng)和持(chí)續運轉(zhuǎn)費用上必須考慮是否提高整(zhěng)個的(dí)設備費用。
(三(sān))就(jiù)工作(zuò)參(cān)數設(shè)定而言
*的溫度(dù),濕度噪音(yīn),振動及運作(zuò)的(dí)環(huán)境要求下,大部(bù)份將影(yǐng)響(xiǎng)到設備的選(xuǎn)用。就某(mǒu)些實例而言(yán),溫(wēn)濕(shī)度(dù)的(dí)設定(dìng)點在(zài)可(kě)接受(shòu)的範圍(wéi)內必(bì)須(xū)要(yào)維(wéi)持在一個(gè)長時期或(huò)較(jiào)完整的(dí)環(huán)境(jìng)及過(guò)程。清(qīng)淨(jìng)室的(dí)加熱力法可(kě)用熱水(shuǐ),水(shuǐ)蒸氣(qì)瓦斯和(hé)電能,可(kě)用冰水(shuǐ),乙(yǐ)醇(chún)或冷媒冷卻(què)。使(shǐ)用(yòng)水(shuǐ)蒸氣(qì),注射器,噴霧器(qì)及滲透的方法可以加濕。當(dāng)評(píng)估加濕(shī)的(dí)來源時,特別要(yào)注意(yì)的(dí)是加(jiā)濕過程和加(jiā)濕(shī)的方法(fǎ)是(shì)否(fǒu)保證(zhèng)清(qīng)潔(jié)。典(diǎn)型的清(qīng)淨(jìng)室通風(fēng)管(guǎn)理裝(zhuāng)置(zhì)使用(yòng)一個有吸收(shōu)力或吸附力(lì)的物質(zhì)去(qù)除(chú)大氣(qì)中(zhōng)的(dí)濕(shī)氣或(huò)使(shǐ)用低溫乙醇螺管係統(tǒng)去濕。溫濕度設(shè)定後,就必須(xū)考慮(lǜ)空(kōng)氣(qì)流(liú)量參數(shù)是(shì)否滿(mǎn)足(zú)所需。典(diǎn)型的清淨(jìng)室必(bì)須維持(chí)在大氣(qì)常壓(yā)下(xià)。因(yīn)此(cǐ)房(fáng)內之壓力及(jí)體積之(zhī)值(zhí)必須適當(dāng)予(yú)以控製。風(fēng)扇(shàn)的噪(zào)音與震(zhèn)動(dòng)必須被考慮上(shàng)去(qù)。適(shì)當(dāng)的裝配器材及馬達(dá)轉速(sù)可(kě)避免(miǎn)不必(bì)要(yào)的噪音和(hé)振(zhèn)動(dòng)。風扇結(jié)構可使用皮帶驅動(dòng)或直接驅(qū)動。風速控(kòng)製及(jí)可變頻率(shuài)控製(zhì)可(kě)以(yǐ)依(yī)體(tǐ)積需要來決(jué)定噪音(yīn)及振動(dòng)的(dí)限度。zui普(pǔ)通的(dí)減(jiǎn)振(zhèn)方(fāng)法為(wéi)裝置彈(dàn)簧基(jī)座(zuò),固(gù)定基座及將空調(tiáo)箱遠(yuǎn)離。常用(yòng)的聲(shēng)音衰減器(qì)有可(kě)動(dòng)式地(dì)板,緩衝(chōng)機(jī)和風(fēng)扇彎(wān)曲度及(jí)伸(shēn)縮度(dù)控(kòng)製(zhì)。聲(shēng)音(yīn)衰減器隔(gé)離風(fēng)扇(shàn)和設(shè)計成(chéng)薄的特性,可降(jiàng)低幾(jī)度(dù)音階結(jié)合(hé)。除了粒子的控(kòng)製之(zhī)外(wài),特別要考(kǎo)慮(lǜ)的有(a)帶細(xì)菌(jūn)的操作(zuò)過程(chéng)(b)腐蝕物或(huò)有(yǒu)毒的化(huà)學物品(c)揮(huī)發性(xìng)或(huò)易(yì)爆發(fā)的藥劑(jì)(d)還有室(shì)內及(jí)排氣(qì)的空氣質量(liáng)(e)安(ān)全(quán)(f)設備壽(shòu)命和保(bǎo)養能(néng)力等。
(四)就(jiù)建(jiàn)築(zhù)考(kǎo)慮方麵(miàn)
空間(jiān)的(dí)使用率會影響(xiǎng)AHU的實(shí)際(jì)大(dà)小。保養(yǎng)門(mén)和(hé)通路儀(yí)表(biǎo)板的位置必須(xū)謹慎地決定,特別是(shì)位(wèi)於(yú)小空間(jiān)的設備。應防止(zhǐ)表(biǎo)麵(miàn)凝結,除(chú)了涉及濕氣(qì)作用(yòng)和(hé)凝(níng)結(jié)在設(shè)備(bèi)的(dí)外(wài)部(bù)之外,濕氣(qì)對於空氣傳遞(dì)設(shè)備(bèi)內(nèi)部構成要素(sù)也(yě)有(yǒu)不(bù)利的影響,混(hùn)氣對(duì)內部構成也有不利影響(xiǎng),將使壽命縮(suō)短,成本(běn)提高。濕(shī)氣(qì)作(zuò)用將(jiāng)會散布弊病和汙(wū)染(rǎn)物,便得效率低(dī)的(dí)令(líng)人害怕。減低建築(zhù)物的(dí)腐蝕物質(zhì)和鋁,不(bù)鏽鋼(gāng)或塗上一層(céng)合(hé)金,可(kě)以使(shǐ)用上(shàng)列物質使清淨室壽(shòu)命增加。設(shè)計(jì)設備空間時,應(yīng)保留適當的(dí)通路(lù),以備打掃或(huò)維(wéi)修用(yòng)。對於(yú)銅(tóng)製的,不鏽鋼製和鋁(lǚ)製的(dí)盤(pán)管,應注(zhù)意(yì)那(nà)種場合適用那(nà)些盤管(guǎn)。